公开(公告)号：US10131991B2

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：US12895305

申请日：2010-09-30

申请人： Jeffrey W. Elam ,  Joseph A. Libera

发明人： Jeffrey W. Elam ,  Joseph A. Libera

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/40

摘要： A method of preparing light transmitting conducting metal oxide (TCO) films using atomic layer deposition (ALD) of a metal precursor multiple oxidizing reactants. The multiple metal oxidizing reactants may be selected to enhance growth of the TCO film. In a particular embodiment, an indium oxide TCO film is prepared using a cyclopentadienyl indium precursor and a combination of water and oxygen.

公开(公告)号：US09139905B2

公开(公告)日：2015-09-22

申请号：US13032395

申请日：2011-02-22

申请人： Jeffrey W. Elam ,  Seon W. Lee ,  Hsien-Hau Wang ,  Michael J. Pellin ,  Karen Byrum ,  Henry J. Frisch

发明人： Jeffrey W. Elam ,  Seon W. Lee ,  Hsien-Hau Wang ,  Michael J. Pellin ,  Karen Byrum ,  Henry J. Frisch

IPC分类号： H01J43/06 ,  C23C16/455 ,  C23C16/40

CPC分类号： C23C16/45527 ,  C23C16/407 ,  C23C16/45553

摘要： A method and system for providing a micro-channel plate detector. An anodized aluminum oxide membrane is provided and includes a plurality of nanopores which have an Al coating and a thin layer of an emissive oxide material responsive to incident radiation, thereby providing a plurality of radiation sensitive channels for the micro-channel plate detector.

摘要翻译： 一种用于提供微通道板检测器的方法和系统。 提供阳极化氧化铝膜，并且包括多个纳米孔，其具有响应于入射辐射的Al涂层和发光氧化物材料的薄层，从而为微通道板检测器提供多个辐射敏感通道。

公开(公告)号：US20120021898A1

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：US12841805

申请日：2010-07-22

申请人： Jeffrey W. Elam ,  Christopher L. Marshall ,  Joseph A. Libera ,  James A. Dumesic ,  Yomaira J. Pagan-Torres

发明人： Jeffrey W. Elam ,  Christopher L. Marshall ,  Joseph A. Libera ,  James A. Dumesic ,  Yomaira J. Pagan-Torres

IPC分类号： B01J23/20 ,  B01J21/06

CPC分类号： B01J29/78 ,  B01J21/063 ,  B01J21/066 ,  B01J23/20 ,  B01J29/041 ,  B01J29/06 ,  B01J29/061 ,  B01J35/002 ,  B01J35/1019 ,  B01J35/1023 ,  B01J35/1042 ,  B01J35/1047 ,  B01J35/1061 ,  B01J37/0215 ,  B01J37/14 ,  B01J37/348 ,  B01J2229/186

摘要： A high surface area catalyst with a mesoporous support structure and a thin conformal coating over the surface of the support structure. The high surface area catalyst support is adapted for carrying out a reaction in a reaction environment where the thin conformal coating protects the support structure within the reaction environment. In various embodiments, the support structure is a mesoporous silica catalytic support and the thin conformal coating comprises a layer of metal oxide resistant to the reaction environment which may be a hydrothermal environment.

摘要翻译： 具有介孔载体结构的高表面积催化剂和在支撑结构表面上的薄的共形涂层。 高表面积催化剂载体适于在反应环境中进行反应，其中薄的共形涂层保护反应环境内的载体结构。 在各种实施方案中，支撑结构是介孔二氧化硅催化载体，并且薄的共形涂层包含对可能是水热环境的反应环境有抗性的金属氧化物层。

公开(公告)号：US20090304920A1

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：US12478578

申请日：2009-06-04

申请人： Jeffrey W. ELAM ,  Joseph A. Libera ,  Michael J. Pellin ,  Peter C. Stair

发明人： Jeffrey W. ELAM ,  Joseph A. Libera ,  Michael J. Pellin ,  Peter C. Stair

IPC分类号： B05D3/00 ,  B05D7/00 ,  B01J8/02 ,  B05D7/22

CPC分类号： B01J37/0226 ,  B01J35/065 ,  C23C16/042 ,  C23C16/045 ,  C23C16/403 ,  C23C16/405 ,  C23C16/407 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555

摘要： Methods for the selective deposition of materials within a porous substrate. The methods use the passivating effects of masking precursors applied to the porous substrate. A portion of a pore surface within the substrate is masked by exposing the substrate to one or more masking precursors. The depth of the pore surface that is masked is controllable by regulating the exposure of the substrate to the masking precursor. Application of the masking precursor prevents adsorption of one or more subsequently applied metal precursors about a portion of the pore surface coated by the masking precursor. Less than an entirety of the unmasked pore surface is coated by the metal precursor, forming a metal stripe on a portion of the pore surface. The depth of the metal stripe is controllable by regulating exposure of the porous substrate to the metal precursor. Subsequent exposure of the substrate to a saturating water application oxidizes the deposited precursors.

摘要翻译： 在多孔基材内选择性沉积材料的方法。 该方法使用掩蔽前体施加到多孔基材上的钝化作用。 通过将衬底暴露于一个或多个掩模前体来掩蔽衬底内的孔表面的一部分。 被掩蔽的孔表面的深度可通过调节衬底对掩蔽前体的曝光来控制。 掩蔽前体的应用防止一个或多个随后施加的金属前体在被掩蔽前体涂覆的孔表面的一部分附近吸附。 小于整个未掩模的孔表面被金属前体涂覆，在孔表面的一部分上形成金属条纹。 通过调节多孔基材对金属前体的曝光来控制金属条纹的深度。 随后将底物暴露于饱和水中，使沉积的前体氧化。

公开(公告)号：US20090191101A1

公开(公告)日：2009-07-30

申请号：US12361377

申请日：2009-01-28

申请人： Jeffrey W. ELAM ,  Michael J. Pellin ,  Joseph A. Libera ,  Peter C. Stair ,  Gerry Zajac ,  Steven A. Cohen

发明人： Jeffrey W. ELAM ,  Michael J. Pellin ,  Joseph A. Libera ,  Peter C. Stair ,  Gerry Zajac ,  Steven A. Cohen

IPC分类号： B01J8/18 ,  B01J23/22 ,  B01J23/20 ,  B01J23/30 ,  B01J19/24

CPC分类号： B01J8/1836 ,  B01J23/002 ,  B01J23/30 ,  B01J35/023 ,  B01J35/065 ,  B01J35/1014 ,  B01J35/1019 ,  B01J35/1061 ,  B01J37/0238 ,  B01J37/0244 ,  B01J2523/00 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45525 ,  B01J2523/55 ,  B01J2523/56 ,  B01J2523/69

摘要： A catalyst includes a carrier body and a catalytic portion carried by the carrier body. The catalytic portion includes a plurality of distinct layers of catalytic material, which layers may be deposited through atomic layer deposition techniques. The catalyst may have a selectivity for the conversion of alkanes to alkenes of over 50%. The catalyst may be incorporated in a reactor such as a fluidized bed reactor or a single pass reactor.

摘要翻译： 催化剂包括载体和由载体承载的催化部分。 催化部分包括多个不同层的催化材料，这些层可以通过原子层沉积技术沉积。 催化剂可以具有选择性，使烷烃转化为烯烃超过50％。 催化剂可以并入反应器如流化床反应器或单程反应器中。

公开(公告)号：US20090000660A1

公开(公告)日：2009-01-01

申请号：US11823789

申请日：2007-06-28

申请人： Michael J. Pellin ,  Jeffrey W. Elam ,  Ulrich Welp ,  Alex B. F. Martinson ,  Joseph T. Hupp

发明人： Michael J. Pellin ,  Jeffrey W. Elam ,  Ulrich Welp ,  Alex B. F. Martinson ,  Joseph T. Hupp

IPC分类号： H01L31/0216 ,  H01L31/0224

CPC分类号： H01G9/2031 ,  H01G9/2059 ,  Y02E10/542

摘要： A heterojunction photovoltaic cell. The cell includes a nanoporous substrate, a transparent conducting oxide disposed on the nanoporous substrate, a nanolaminate film deposited on the nanoporous substrate surface, a sensitizer dye disposed on a wide band gap semiconducting oxide and a redox shuttle positioned within the layer structure.

摘要翻译： 异质结光伏电池。 该电池包括纳米孔基材，设置在纳米多孔基材上的透明导电氧化物，沉积在纳米多孔基材表面上的纳米级胺膜，设置在宽带隙半导体氧化物上的敏化剂染料和位于层结构内的氧化还原梭。

公开(公告)号：US10403464B2

公开(公告)日：2019-09-03

申请号：US15718407

申请日：2017-09-28

申请人： Robert G. Wagner ,  Michael J. Pellin ,  Howard Nicholson ,  Lei Xia ,  Jingbo Wang ,  Junqi Xie ,  Anil U. Mane ,  Jeffrey W. Elam

发明人： Robert G. Wagner ,  Michael J. Pellin ,  Howard Nicholson ,  Lei Xia ,  Jingbo Wang ,  Junqi Xie ,  Anil U. Mane ,  Jeffrey W. Elam

IPC分类号： B29C64/135 ,  H01J1/32 ,  B29C64/268 ,  B33Y10/00 ,  H01J9/12

摘要： The invention provides a gain device having a plurality of channels having a polygonal shape with four or more sides. The invention also provides a method for producing microchannel plates (MCPs) having the steps of providing a pre-polymer; and directing a laser over the pre-polymer into a pre-determined pattern. Also provided is method for efficiently 3D printing an object.

公开(公告)号：US08980418B2

公开(公告)日：2015-03-17

申请号：US13427619

申请日：2012-03-22

申请人： Seth B. Darling ,  Jeffrey W. Elam ,  Yu-Chih Tseng ,  Qing Peng

发明人： Seth B. Darling ,  Jeffrey W. Elam ,  Yu-Chih Tseng ,  Qing Peng

IPC分类号： B32B27/32 ,  C03C15/00 ,  C03C25/68 ,  B32B15/08 ,  H01L21/027 ,  G03F7/40 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/308

CPC分类号： H01L21/3081 ,  B81C1/00428 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0041 ,  G03F7/405 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0277 ,  H01L21/0279 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3086 ,  Y10T428/31522

摘要： A plasma etch resist material modified by an inorganic protective component via sequential infiltration synthesis (SIS) and methods of preparing the modified resist material. The modified resist material is characterized by an improved resistance to a plasma etching or related process relative to the unmodified resist material, thereby allowing formation of patterned features into a substrate material, which may be high-aspect ratio features. The SIS process forms the protective component within the bulk resist material through a plurality of alternating exposures to gas phase precursors which infiltrate the resist material. The plasma etch resist material may be initially patterned using photolithography, electron-beam lithography or a block copolymer self-assembly process.

摘要翻译： 通过连续渗透合成（SIS）由无机保护组分改性的等离子体蚀刻抗蚀剂材料和制备改性抗蚀剂材料的方法。 改进的抗蚀剂材料的特征在于相对于未改性的抗蚀剂材料具有改进的抗等离子体蚀刻或相关工艺的耐受性，从而允许将图案化特征形成到基底材料中，该基材可以是高纵横比特征。 SIS工艺通过对渗透抗蚀剂材料的气相前体的多次交替曝光而在体抗蚀材料内形成保护组分。 可以使用光刻，电子束光刻或嵌段共聚物自组装工艺来初始图案化等离子体蚀刻抗蚀剂材料。

公开(公告)号：US08741386B2

公开(公告)日：2014-06-03

申请号：US13631135

申请日：2012-09-28

申请人： Elijah J. Thimsen ,  Shannon C. Riha ,  Alex B. F. Martinson ,  Jeffrey W. Elam ,  Michael J. Pellin

发明人： Elijah J. Thimsen ,  Shannon C. Riha ,  Alex B. F. Martinson ,  Jeffrey W. Elam ,  Michael J. Pellin

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： C23C16/305 ,  C23C16/306 ,  C23C16/45529 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/56

摘要： Methods and systems are provided for synthesis and deposition of chalcogenides (including Cu2ZnSnS4). Binary compounds, such as metal sulfides, can be deposited by alternating exposures of the substrate to a metal cation precursor and a chalcogen anion precursor with purge steps between.

摘要翻译： 提供了硫族化合物（包括Cu2ZnSnS4）的合成和沉积的方法和系统。 二元化合物，例如金属硫化物，可通过将衬底交替暴露于金属阳离子前体和硫族元素阴离子前体之间进行沉积，其间具有吹扫步骤。

公开(公告)号：US08604440B2

公开(公告)日：2013-12-10

申请号：US13044442

申请日：2011-03-09

申请人： Henry Frisch ,  Jean-Francois Genat ,  Hervé Grabas ,  Chien-Min Kao ,  Chin-Tu Chen ,  Heejong Kim ,  Fukun Tang ,  Jeffrey W. Elam ,  Anil U. Mane

发明人： Henry Frisch ,  Jean-Francois Genat ,  Hervé Grabas ,  Chien-Min Kao ,  Chin-Tu Chen ,  Heejong Kim ,  Fukun Tang ,  Jeffrey W. Elam ,  Anil U. Mane

IPC分类号： G01T1/164

CPC分类号： G01T1/208 ,  G01T1/2928 ,  G01T1/2985 ,  G01T1/363

摘要： Large-area, flat-panel photo-detectors with sub-nanosecond time resolution based on microchannel plates are provided. The large-area, flat-panel photo-detectors enable the economic construction of sampling calorimeters with, for example, enhanced capability to measure local energy deposition, depth-of-interaction, time-of-flight, and/or directionality of showers. In certain embodiments, sub-nanosecond timing resolution supplies correlated position and time measurements over large areas. The use of thin flat-panel viewing radiators on both sides of a radiation-creating medium allows simultaneous measurement of Cherenkov and scintillation radiation in each layer of the calorimeter. The detectors may be used in a variety of applications including, for example, medical imaging, security, and particle and nuclear physics.

摘要翻译： 提供了基于微通道板的亚纳秒时间分辨率的大面积平板光电探测器。 大面积的平板光电探测器能够对采样量热仪进行经济建设，例如增强测量局部能量沉积，相互作用深度，飞行时间和/或淋浴方向性的能力。 在某些实施例中，亚纳秒定时分辨率在大面积上提供相关位置和时间测量。 在辐射产生介质的两侧使用薄的平板观察辐射器允许同时测量量热计的每层中的切伦科夫和闪烁辐射。 检测器可以用于各种应用，包括例如医学成像，安全性，粒子和核物理学。