公开(公告)号：US5228838A

公开(公告)日：1993-07-20

申请号：US936035

申请日：1992-08-26

申请人： Thomas Gebele ,  Wolfgang Buschbeck

发明人： Thomas Gebele ,  Wolfgang Buschbeck

IPC分类号： B01J3/00 ,  F04B37/14

CPC分类号： B01J3/006 ,  F04B37/14

摘要： For the evacuation of a low-vacuum chamber (4) and of a high-vacuum chamber (5), two pump trains (6, 7) are provided, each consisting of a vacuum pump unit (8, 9) and a forepump unit (10, 11). The forepump unit (11) of the pump train (7) of the high-vacuum chamber (5) can draw selectively from the vacuum pump unit (9) of the high-vacuum chamber (5) or from a high-vacuum pump unit (12) connected likewise to the high-vacuum chamber (5). The vacuum pump unit (9) can aspirate either from the highvacuum chamber (5) or from the low-vacuum chamber (4) and discharge to the forepump unit (10) of pump train (6) or to the forepump unit (11) of pump train (7).

摘要翻译： 为了排空低真空室（4）和高真空室（5），提供了两个泵系列（6,7），每个泵系列由真空泵单元（8,9）和前级泵单元 （10,11）。 高真空室（5）的泵排（7）的前泵单元（11）可以从高真空室（5）的真空泵单元（9）或高真空泵单元 （12）同样连接到高真空室（5）。 真空泵单元（9）可以从高真空室（5）或低真空室（4）吸出并排出到泵系（6）的前置泵单元（10）或前泵单元（11） 的泵列车（7）。

公开(公告)号：US20080223294A1

公开(公告)日：2008-09-18

申请号：US11769807

申请日：2007-06-28

申请人： Thomas Gebele ,  Andreas Lopp ,  Oliver Heimel

发明人： Thomas Gebele ,  Andreas Lopp ,  Oliver Heimel

IPC分类号： B05C3/02

CPC分类号： C23C16/45563 ,  C03C17/002 ,  C23C16/545

摘要： The invention relates to a flooding chamber for coating installations, with which shorter flooding times, and therewith shorter clock cycles, can be attained. Two flooding means are therein utilized, between which a substrate is disposed symmetrically. The flooding means direct a gas jet directly onto the substrate. Hereby the substrate is fixed between the flooding means.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于涂装设备的淹水室，可以实现更短的溢流时间，从而缩短时钟周期。 在其中使用两个驱油装置，在其间对称地设置基板。 溢流装置意味着将气体射流直接引导到衬底上。 因此，衬底固定在驱油装置之间。

公开(公告)号：US5345207A

公开(公告)日：1994-09-06

申请号：US997110

申请日：1992-12-24

申请人： Thomas Gebele

发明人： Thomas Gebele

IPC分类号： H01F7/02 ,  H01J37/34 ,  C23C14/00 ,  H01F3/00

CPC分类号： H01J37/3408 ,  H01F7/0284

摘要： The invention relates to a magnet configuration with permanent magnets (5, 6) around a yoke (2, 3, 4) connecting these permanent magnets (5, 6). The magnetic field strength of this magnet configuration is varied thereby that in the region of the yoke (2, 3, 4) at least one rotatable body (8) is provided which comprises at least two spatially separated materials (9, 10) with different magnetic properties.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有连接这些永磁体（5,6）的磁轭（2,3,4）周围的永磁体（5,6）的磁体结构。 这种磁体结构的磁场强度是变化的，从而在磁轭（2,3,4）的区域中提供至少一个旋转体（8），其包括至少两个具有不同的空间分离的材料（9,10） 磁性能。

公开(公告)号：US20180211823A1

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：US15746032

申请日：2015-08-24

申请人： Daniel SEVERIN ,  Thomas GEBELE ,  Thomas LEIPNITZ ,  Applied Materials, Inc.

发明人： Daniel SEVERIN ,  Thomas GEBELE ,  Thomas LEIPNITZ

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/285 ,  H01J37/34 ,  H01L27/12 ,  C23C14/34 ,  C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35

CPC分类号： H01J37/32844 ,  C23C14/0042 ,  C23C14/0063 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/352 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32834 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3473 ,  H01J37/3494 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/332 ,  H01L21/2855 ,  H01L27/1262 ,  Y02C20/30

摘要： A apparatus for vacuum sputter deposition is described. The apparatus includes, a vacuum chamber; three or more sputter cathodes within the vacuum chamber for sputtering material on a substrate; a gas distribution system for providing a processing gas including H2 to the vacuum chamber; a vacuum system for providing a vacuum inside the vacuum chamber; and a safety arrangement for reducing the risk of an oxy-hydrogen explosion, wherein the safety arrangement comprises a dilution gas feeding unit connected to the vacuum system for dilution of the H2-content of the processing gas.

公开(公告)号：US20120097093A1

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：US12912272

申请日：2010-10-26

申请人： Thomas GEBELE ,  Thomas LEIPNITZ ,  Wolfgang BUSCHBECK ,  Stefan BANGERT ,  Ralph LINDENBERG

发明人： Thomas GEBELE ,  Thomas LEIPNITZ ,  Wolfgang BUSCHBECK ,  Stefan BANGERT ,  Ralph LINDENBERG

IPC分类号： H01L21/00 ,  B65D45/00

CPC分类号： H01L21/67201 ,  Y10T137/0379

摘要： A lock chamber for a substrate processing system is provided which includes at least a first conduit adapted to provide an inner portion of the lock chamber in fluid communication with atmospheric pressure or overpressure. Additionally, the lock chamber includes at least a first control valve for controlling a flow rate of the fluid communication of the inner portion of the chamber with the atmospheric pressure or the overpressure, wherein the control valve is adapted to continuously control the flow rate. Furthermore, an according method, a computer program and a computer readable medium adapted for performing the method is provided.

摘要翻译： 提供了一种用于基板处理系统的锁定室，其包括至少第一导管，其适于提供与大气压力或超压力流体连通的锁定室的内部。 此外，锁定室至少包括第一控制阀，用于控制室内部与大气压或超压力的流体连通的流量，其中控制阀适于连续地控制流量。 此外，提供了一种适用于执行该方法的依据方法，计算机程序和计算机可读介质。

公开(公告)号：US20070068802A1

公开(公告)日：2007-03-29

申请号：US11254427

申请日：2005-10-20

申请人： Thomas Gebele ,  Oliver Heimel ,  Thomas Klug

发明人： Thomas Gebele ,  Oliver Heimel ,  Thomas Klug

IPC分类号： C23C14/00

CPC分类号： C23C14/50

摘要： The invention relates to a substrate carrier comprising two vertical plates and two horizontal plates. In order for the substrate during its transport through a sputter unit to be coated uniformly in its margin regions, a lever arrangement is provided between the two vertical plates. The lever arrangement comprises at least one horizontal web which under the effect of heat expands to a lesser degree than the horizontal plates.

摘要翻译： 本发明涉及一种包括两个垂直板和两个水平板的基板载体。 为了使衬底在其通过溅射单元的传输期间均匀地涂覆在其边缘区域中时，在两个垂直板之间设置有杆装置。 杠杆装置包括至少一个水平腹板，其在热的作用下膨胀到比水平板更小的程度。

公开(公告)号：US06881270B1

公开(公告)日：2005-04-19

申请号：US09710769

申请日：2000-11-09

申请人： Thomas Gebele ,  Jurgen Henrich ,  Stefan Bangert ,  Jürgen Honekamp ,  Elisabeth Budke ,  Jürgen Ulrich ,  Helmut Grimm

发明人： Thomas Gebele ,  Jurgen Henrich ,  Stefan Bangert ,  Jürgen Honekamp ,  Elisabeth Budke ,  Jürgen Ulrich ,  Helmut Grimm

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/32 ,  H01J37/32 ,  C23C16/00 ,  H05H1/02

CPC分类号： H01J37/32055 ,  C23C14/325 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32532

摘要： An electrode arrangement for the plasma-aided coating of a substrate (3) with a layer of material comprising at least one first and a second material component and for the production of a plasma discharge, more especially an arc discharge (35), having an anode arrangement (5), which provides the first material component at an anode material surface (13) for evaporation, and a cathode arrangement (7), which provides the second material component at a cathode material surface (25). The electrode arrangement is characterized in that the cathode material surface (25) is constituted by an evaporation-active part (27) supporting the plasma discharge (35) and an evaporation-inactive part (41) not supporting the plasma discharge. Preferably, a motion-producing means (49) is provided for moving the evaporation-inactive part (41) over the cathode material surface (25) in order to reduce deposit of material due to he first material component on the cathode material surface (25).

摘要翻译： 一种用于衬底（3）的等离子体辅助涂层的电极装置，其具有包括至少一种第一和第二材料组分的材料层，并且用于产生等离子体放电，更特别是电弧放电（35），具有 阳极装置（5），其在用于蒸发的阳极材料表面（13）处提供第一材料部件，以及在阴极材料表面（25）处提供第二材料部件的阴极装置（7）。 电极装置的特征在于，阴极材料表面（25）由支撑等离子体放电（35）的蒸发活性部分（27）和不支持等离子体放电的蒸发非活性部分（41）构成。 优选地，提供运动产生装置（49），用于将蒸发非活性部分（41）移动到阴极材料表面（25）上，以便减少由于第一材料成分在阴极材料表面（25）上沉积的材料 ）。

公开(公告)号：US06857307B2

公开(公告)日：2005-02-22

申请号：US10149179

申请日：2000-12-22

申请人： Thomas Gebele ,  Jürgen Henrich

发明人： Thomas Gebele ,  Jürgen Henrich

IPC分类号： G01M3/32 ,  G01N15/08

CPC分类号： G01M3/3281

摘要： The invention relates to a method and device for the determination of the gas permeability of a container, for example, a PET bottle. Said container is enclosed by a sheath, which hermetically seals the container from the environment. The intermediate space, between the container and the sheath, has only a very small volume in comparison to the volume of the container. The determination of the gas permeability is begun by bringing said intermediate space to, for example, atmospheric pressure, whilst the container is filled with a test gas by means of a special feed, until the container is at an overpressure relative to the intermediate space. The pressure in the intermediate space increases by means of the resulting diffusion of the test gas through the wall of the container into said intermediate space. The increase in pressure per unit time is a measure of the permeability of the container.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于确定容器（例如PET瓶）的透气性的方法和装置。 所述容器由护套封闭，护套将容器与环境密封。 在容器和护套之间的中间空间与容器的体积相比只有非常小的体积。 通过使所述中间空间达到例如大气压，同时通过特殊进料填充试验气体，直到容器相对于中间空间处于过压状态，开始确定气体渗透性。 中间空间中的压力通过试验气体通过容器的壁进入所述中间空间而增加。 每单位时间的压力增加是容器的渗透性的量度。