公开(公告)号：CN115207206B

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202211125224.6

申请日：2022-09-16

申请人： 济南晶正电子科技有限公司

发明人： 胡文 ,  胡卉 ,  李真宇 ,  张秀全 ,  刘亚明

IPC分类号： H01L41/253 ,  H01L41/312 ,  H01L41/08 ,  C30B31/22 ,  C30B33/02

摘要： 本申请属于半导体材料领域，具体提供一种近化学计量比复合薄膜及其制备方法，所述制备方法在进行离子注入分离后，采用两步退火法对剥离所得单晶复合薄膜进行退火处理，并且，在退火前在压电薄膜的表面设置隔离层，从而一方面降低单晶压电薄膜的锂损失，另一方面抑制在退火过程中，由单晶压电薄膜分解所得氧化锂的外逸，进而使制得的单晶压电薄膜中的压电材料保持近化学计量比。

公开(公告)号：CN113270539B

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202110376688.3

申请日：2021-04-08

申请人： 偲百创(深圳)科技有限公司

发明人： 龚颂斌 ,  杨岩松

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/312

摘要： 本发明涉及一种压电换能器的制备方法，包括：在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记；在承载晶圆上形成与承载晶圆的切割方向平行或垂直的第二标记，第二标记和第一标记的形状相同；将第一标记和第二标记对齐后键合压电晶圆和承载晶圆，形成工艺晶圆，工艺晶圆具有压电晶圆的第一表面用于形成压电换能器。本申请通过压电晶圆上的第一标记和承载晶圆上的第二标记使得压电换能器的预设方向与承载晶圆的切割方向平行或者垂直，从而达到提高承载晶圆可用晶圆区域利用率的目的。

公开(公告)号：CN109427956B

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN201710744624.8

申请日：2017-08-25

申请人： 香港理工大学深圳研究院

发明人： 陈燕 ,  黄智文 ,  林国豪 ,  戴吉岩

IPC分类号： H01L41/08 ,  B06B1/06

摘要： 本发明适用于医疗器械技术领域，提供了一种用于超声探头的压电块体，包括阵列排布的多个压电阵元，压电阵元设有上表面和下表面，上表面和下表面均设有电极，上表面相对下表面倾斜使压电阵元的厚度均匀渐变，多个压电阵元按照相同的厚度变化趋势并列排布，使多个压电阵元的上表面形成斜面，使多个压电阵元的下表面形成底面。本发明的压电块体由多个厚度均匀渐变的压电阵元形成，使压电块体的厚度均匀渐变，压电阵元的厚度影响机电耦合系数，进而影响谐振频率及带宽，由于压电阵元的厚度逐渐变薄，因此引起谐振频率的渐变，使得带宽增大。且谐振频率处阻抗值会变小，更接近50欧姆的电学匹配电阻，有利于灵敏度的提高，提升了成像质量。

公开(公告)号：CN115171655A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202210892666.7

申请日：2022-07-27

申请人： 厦门大学

发明人： 郭文熹 ,  赵继忠 ,  陈诞蔚 ,  郭诗辉 ,  赵莉

IPC分类号： G10L15/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/113 ,  H01L41/18 ,  H01L41/25 ,  H01L41/335 ,  H01L41/37

摘要： 一种自供电的聋哑人语音识别传感器及其制备方法，属于柔性电子器件技术领域。采用金属电极/介电层/再生纤维素复合膜编织层的垂直三层结构。再生纤维素溶液与增强剂混合制成再生纤维素复合膜，表面等离子体清洗，裁剪成细条平纹编织；裁剪介电层，在介电层上制造平面电极，将介电层无电极覆盖的一面与再生纤维素复合膜编织层对准，正对互相接触四周固定。器件性能稳定，具有稳定的振动传感性能。具有良好机械韧性，柔软且能与皮肤形状良好贴合，易于完成振动信号的良好采集。制备工艺简单，操作简便，原料来源广泛成本低。再生纤维素复合膜废弃时可完全降解，不产生环境负担，介电层采用日常生活常见材料，维修和替换十分便利。

公开(公告)号：CN114556065A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202080050031.1

申请日：2020-05-07

申请人： 沃扎诺有限公司

发明人： 阿蒂夫·赛义德 ,  恩里科·马斯特罗保罗 ,  马克·詹姆斯·贝克威斯

IPC分类号： G01L1/16 ,  B32B27/12 ,  H01L41/08 ,  H01L41/113 ,  G01L1/18 ,  G01L1/20 ,  G01L5/22 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N33/00 ,  B32B7/12 ,  B82Y30/00

摘要： 本文公开了一种用于电子皮肤的基材，所述基材包括基础聚合物层，第一中间聚合物层通过第一粘合剂层附接到所述基础聚合物层，所述第一中间聚合物层包括第一中间聚合物，在该第一中间聚合物中富电子基团彼此直接连接或通过任选取代的C1‑4亚烷基连接。第一导电层通过一个或多个第二粘合剂层附接到第一中间聚合物层，其中第二中间聚合物层或第二导电层设置在所述多个第二粘合剂层之间。在第一导电层上存在纳米线。

公开(公告)号：CN114335322A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111616973.4

申请日：2021-12-27

申请人： 杭州电子科技大学

发明人： 万瑶 ,  李丽丽 ,  汶飞 ,  沈云聪 ,  王高峰

IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/338 ,  H01L41/08 ,  B06B1/06

摘要： 本发明公开了一种2‑2型压电复合材料及其制备方法和应用；该复合材料包括作为功能相的压电材料和作为填充相的环氧树脂。多层压电材料与多层复合材料依次交替层叠；所述的压电材料采用PIMNT三元系压电单晶。所述的压电材料在复合材料中的体积分数为45％～55％。单层压电材料的宽高比为0.1～0.25。本发明采用EPO‑TEK301环氧树脂作为聚合物基体，流动性和粘接力上佳而固化后硬度适中，同时密度较低，与压电单晶复合后可降低其声阻抗，大大提升声学匹配性能。此外，本发明优选体积分数为50％，宽高比为0.2，能够保证在有效保持复合材料高性能的同时，降低晶体断裂率，从而提高制备成功率。

公开(公告)号：CN114127967A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080049347.9

申请日：2020-06-23

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： F·沙茨 ,  T·沙里 ,  D·蒙泰罗迪尼斯雷斯 ,  D·潘特尔 ,  J·托马斯科 ,  M·梅夫斯

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

摘要： 公开一种半导体结构元件(200)，所述半导体结构元件具有至少一个介电层(230)和至少两个电极(201，202)，其中，在所述介电层中至少存在第一缺陷类型和与所述第一缺陷类型不同的第二缺陷类型。所述不同的缺陷类型(212，215，217)根据在所述电极之间所施加的运行电压和当前的主运行温度在特征时间τ1和τ2内在所述两个电极中的一个电极上积累，并且在所述电极上产生所配属的最大势垒高度变化δΦ1和δΦ2，其中，适用的是τ1

公开(公告)号：CN114068799A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202010750236.2

申请日：2020-07-30

申请人： 丰田自动车株式会社 ,  清华大学

发明人： 李敬锋 ,  黄宇 ,  刘丽莎 ,  张素伟 ,  舒亮 ,  罗川 ,  野田克敏 ,  后藤哲

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/317

摘要： 本发明公开了一种铌酸盐基无铅铁电压电薄膜及其制备方法，属于电子信息材料技术领域。本发明以溶胶‑凝胶法在直径2英寸的基片上制备出高质量的铌酸钾钠(KNN)基压电薄膜。薄膜呈(100)择优取向的钙钛矿相，结构致密且均匀，表面粗糙度小，漏电流低，击穿场强高。溶胶‑凝胶法制备薄膜可达到原子或分子水平的均匀性，易于实现精确的成分控制和定量掺杂，并且可制备大面积薄膜，设备简单，用料省，成本低，易于实现工业化生产。制备得到的KNN基薄膜可用于制作压电微传感器、致动器、换能器等，在微机电系统(MEMS)领域具有非常广泛的应用。

公开(公告)号：CN108493328B

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN201810084952.4

申请日：2018-01-29

申请人： 北京信息科技大学

发明人： 秦雷 ,  贾俊博 ,  仲超 ,  谷传欣 ,  廖擎玮 ,  王丽坤

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/04 ,  H01L41/23 ,  H01L41/053 ,  H01L41/113

摘要： 本发明涉及一种基于剪切振动和弯张振动的压电振子、弯张换能器及其制作方法。本发明突破传统1‑3型压电复合材料换能器应用d33模态的限制，选用具有更高压电常数和机电耦合系数的d15模态来充当振动元，同时克服d15模态产生剪切振动的弱点，将其剪切振动通过特殊的结构设计转化为弯张外壳上下表面的弯张振动，以此来达到应用剪切振动模态产生横波的目的，并制作低频高功率小尺寸换能器，满足水下远距离通信、探测等需求。在水声领域，该基于剪切振动和弯张振动的压电振子能够提高声呐系统的作用距离以及探测精度，为军事探测、预警、民用航海、捕鱼等提供有效帮助。

公开(公告)号：CN113690364A

公开(公告)日：2021-11-23

申请号：CN202110963337.2

申请日：2021-08-20

申请人： 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司

发明人： 吴剑波 ,  尹志军 ,  叶志霖 ,  倪荣萍 ,  张虞 ,  李胜雨 ,  许志城

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/312

摘要： 本申请提供一种复合压电基体及其制备方法，所述复合压电基体包括釉料层(1)以及压电薄膜层(2)，所述方法选用主要成分为二氧化硅的釉料充当复合压电基体的基底，通过涂覆与压电薄膜层(2)熔接为一体，所述方法最高工艺温度不超过550℃，对键合面表面粗糙度要求低，并且，所述釉料对压电薄膜层(2)无损伤，所述复合压电基体还可以包括基底层(3)，所述釉料则作为粘结剂，将所述基底层(3)与所述压电薄膜层(2)粘结于一体形成所述复合压电基体，所述釉料对所述基底层(3)也无损伤，所用熔接设备成本低，能够提高生产效率，降低生产材料成本，准接层与压电晶体层的晶格常数无需接近。