公开(公告)号：CN114068799A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202010750236.2

申请日：2020-07-30

Applicant: 丰田自动车株式会社 ,  清华大学

Inventor： 李敬锋 ,  黄宇 ,  刘丽莎 ,  张素伟 ,  舒亮 ,  罗川 ,  野田克敏 ,  后藤哲

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/317

Abstract: 本发明公开了一种铌酸盐基无铅铁电压电薄膜及其制备方法，属于电子信息材料技术领域。本发明以溶胶‑凝胶法在直径2英寸的基片上制备出高质量的铌酸钾钠(KNN)基压电薄膜。薄膜呈(100)择优取向的钙钛矿相，结构致密且均匀，表面粗糙度小，漏电流低，击穿场强高。溶胶‑凝胶法制备薄膜可达到原子或分子水平的均匀性，易于实现精确的成分控制和定量掺杂，并且可制备大面积薄膜，设备简单，用料省，成本低，易于实现工业化生产。制备得到的KNN基薄膜可用于制作压电微传感器、致动器、换能器等，在微机电系统(MEMS)领域具有非常广泛的应用。