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公开(公告)号：CN103557331B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201310471419.0
申请日：2008-06-19
Applicant: 株式会社开滋
CPC classification number: F15B21/00 , F16J15/164 , F16J15/3208 , F16J15/3296 , F16J15/56 , F16K7/045 , F16K31/02 , F16K31/025 , G05D7/0635 , G05D7/0641 , H01L41/193 , Y10T137/2202 , Y10T137/2213 , Y10T137/87169 , Y10T137/87217
Abstract: 本发明提供一种使用轴封机构的驱动装置，不因密封材料、密封部件的移动而产生磨耗，所以，能保持高密封性能，而且，可用简单的内部构造切换流体的密封状态和非密封状态，可以使预定流量的流体流过，而且，用外部电信号等的量来调节密封材料的膨胀量，通过调节接触面压力，可以高精度地控制流体的泄漏量，可用于所有用途。本发明的轴封装置，在设在本体（10）内部的轴封部（15），配设通过电的外部刺激而膨胀收缩、变形的高分子材料制的轴封体（20），并且，在轴封部（15）设有流路（13、14），因轴封体（20）的膨胀收缩、变形而泄漏的流体流过该流路（13、14）。
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公开(公告)号：CN102906855B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201180025217.2
申请日：2011-03-23
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 艾瑞克·H·伦兹
IPC: H01L21/02 , H01L21/677
CPC classification number: B01D46/446 , H01L21/67017 , H01L21/67155 , H01L21/67161 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67742 , Y10T137/0396 , Y10T137/86002 , Y10T137/863 , Y10T137/87169
Abstract: 在本文所描述的各种示例性实施方式中，一种在衬底生产工具中提供气流管理系统的系统和相关的方法，其包括：外壳，该外壳将衬底生产工具耦合连接到风机过滤器单元以提供过滤空气给该外壳；将衬底生产工具耦合连接到减压排放机构的设施连接件；耦合连接在外壳下方并与设施连接气流连通的衬底传输部；以及通过一个或多个衬底传输槽耦合连接到衬底传输部的衬底处理区域。室基本上包括衬底传输部和衬底处理区域，该室耦合连接到外壳上以接受过滤的空气，并与设施连接件相连接以造成过剩气体流的排出。相对于衬底传输部该室在衬底处理区域保持相对低的压强。
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公开(公告)号：CN104379883A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380027364.2
申请日：2013-03-08
Applicant: 舍弗勒技术有限两合公司
Inventor： 阿里·巴伊拉克达尔
CPC classification number: F16K11/0716 , F01L1/344 , F01L1/3442 , F01L5/14 , F01L2001/0475 , F01L2001/0476 , F01L2001/34423 , F01L2001/34426 , F01L2001/3443 , F01L2001/34433 , F01L2001/34453 , F16K11/0712 , F16K15/183 , F16K27/048 , F16K31/0613 , Y10T137/86574 , Y10T137/86622 , Y10T137/8663 , Y10T137/86694 , Y10T137/86702 , Y10T137/8671 , Y10T137/86775 , Y10T137/87169
Abstract: 本发明说明了一种用于控制凸轮轴调节器的压力介质流动的控制阀(4)，其包括布置在外壳(8)之内的、大致空心圆柱形地实施的控制套筒(6)和在控制套筒(6)之内以能抵抗弹簧元件(14)的弹簧力地轴向移动的方式受引导的控制活塞(12)，其中，控制套筒(6)在轴向端部具有底部(22)，该底部充当弹簧元件(14)的轴向贴靠面。
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公开(公告)号：CN104214153A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410333832.5
申请日：2007-12-20
Applicant: 丹佛斯动力系统有限公司
Inventor： 索基尔德.克里斯坦森 , 西格弗里德.曾克尔
IPC: F15B13/02
CPC classification number: F15B11/163 , E02F9/2267 , F15B2211/30515 , F15B2211/30555 , F15B2211/3111 , F15B2211/50527 , F15B2211/6054 , F15B2211/71 , Y10T137/87169 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明涉及一种带有若干阀模块(2-6)的液压阀装置(1)，每个阀模块具有带有高压通道(7)和低压通道(8)的供给通道装置，带有至少一个工作连接(A、B)的工作连接装置，位于供给通道装置和工作连接装置之间的方向阀装置(15，16)和补偿装置(19，28)。本发明试图改进控制可行性。出于这个目的，所提供的是在至少一个阀模块(3、5)中，补偿装置是预补偿装置(19)，并且在至少一个其它阀模块(4、6)中，补偿装置是后置补偿装置(28)。
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公开(公告)号：CN102686439A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201080057829.5
申请日：2010-11-18
Applicant: 亨利莱蒙特·维南德
Inventor： 亨利莱蒙特·维南德
IPC: B60K15/073
CPC classification number: B60K15/063 , B60K1/00 , B60K3/00 , B60K3/04 , B60K15/07 , B60K15/073 , B60K2015/03026 , B60K2015/03118 , B60K2015/03375 , B60K2015/03381 , B60K2015/0632 , B60K2015/0633 , B60K2015/0636 , B60K2015/0637 , B60K2015/0638 , B60K2015/0639 , B60Y2200/147 , Y10T137/87169
Abstract: 一种用于压缩流体车辆的压缩流体存储布置，其包含用于存储待供应到所述车辆的电动机的压缩流体的波状管道核心，所述核心的形状和尺寸经设计成占据车辆组件的空腔。所述压缩流体经由压力控制系统递送到发动机，所述发动机又产生发动机输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102434705A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110274730.7
申请日：2011-09-09
Applicant: 费希尔控制国际公司
Inventor： M·K·洛弗尔 , K·W·琼克 , R·J·杰瓦劳斯科斯
IPC: F16K31/12
CPC classification number: F16K11/04 , F15B13/0405 , F15B13/0433 , Y10T137/87169
Abstract: 本发明涉及具有离散的容量调节的增压器。一种用于致动器系统的增压器，其优选包括可调节限流器，以使该装置的排放容量可被调节用于特定应用。该装置包括主体、供应通路、排放通路和限流器。所述供应通路提供流体供给，以增加致动器系统中致动器例如在打开方向上的冲程时间。所述排放通路例如在致动器系统在关闭方向上运转致动器时提供反压力减缓。所述限流器被布置在所述排放通路内，并在多个位置之间被选择性地操作以限定多个不同的排放容量，由此消除了改变整个增压器来获得不同排放容量的需求。
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公开(公告)号：CN101230925B
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN200810009924.2
申请日：2004-01-17
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: F16K1/36 , F16K31/143
CPC classification number: F16K7/17 , F16K27/003 , F16K31/143 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/86662 , Y10T137/87169 , Y10T137/87877 , Y10T137/87885 , Y10T137/87917
Abstract: 一种手动/气动组合截止阀(11)。所述阀包括一个壳体(13)；设置在所述壳体中并且具有一个流体入口(19)和一个流体出口(21)的一个阀腔(17)；一个隔膜(23)；一个阀座(25)；一个气动致动器(29)，其适于将所述隔膜由第一位置移动至流第二位置，在所述第一位置，所述隔膜和所述阀座在所述流体入口和所述流体出口之间形成密封，在所述第二位置时，所述流体入口和所述流体出口处于连通状态；以及手柄(31)，适于使用所述致动器，将所述隔膜手动地由所述第二位置移动至所述第一位置，不管是否出现气动控制信号。所述阀通过将手动阀和气动阀的功能组合到一个元件中，而使工艺流体控制装置的长度缩短，并因此缩短流体控制板的尺寸。
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公开(公告)号：CN101978479A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200980110364.2
申请日：2009-03-19
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 夏尔马·V·帕马斯 , 乔恩·C·法 , 科哈伊德·西拉朱迪茵 , 伊兹拉·R·高德 , 詹姆斯·P·克鲁斯 , 斯科特·奥尔斯则维斯基 , 罗伊·C·南古伊 , 萨拉弗野特·辛加 , 道格拉斯·A·布池贝尔格尔 , 札瑞德·A·李 , 张春雷
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/30655 , Y10T137/0318 , Y10T137/87169
Abstract: 本发明的实施例涉及一种基材蚀刻系统与制程。在一个实施例中，方法可以包括：在沉积制程期间沉积材料于该基材上；在第一蚀刻制程期间蚀刻该基材的第一层；以及在第二蚀刻制程期间蚀刻该基材的第二层，其中在该第一蚀刻制程期间施加第一偏压功率到该基材，以及其中在该第二蚀刻制程期间施加第二偏压功率到该基材。在另一实施例中，系统可以包括气体输送系统，该气体输送系统包含：第一气体盘，其用于供应第一气体到腔室；第二气体盘，其用于供应第二气体到该腔室；以及多个流量控制器，其用于引导这些气体到该腔室，以促进进出该腔室和这些气体盘的这些气体之间的快速气体过渡。
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公开(公告)号：CN101680548A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880019423.0
申请日：2008-06-19
Applicant: 株式会社开滋
CPC classification number: F15B21/00 , F16J15/164 , F16J15/3208 , F16J15/3296 , F16J15/56 , F16K7/045 , F16K31/02 , F16K31/025 , G05D7/0635 , G05D7/0641 , H01L41/193 , Y10T137/2202 , Y10T137/2213 , Y10T137/87169 , Y10T137/87217
Abstract: 本发明提供的轴封装置，不因密封材料、密封部件的移动而产生磨耗，所以，能保持高密封性能，而且，可用简单的内部构造切换流体的密封状态和非密封状态，可以使预定流量的流体流过，而且，用外部电信号等的量来调节密封材料的膨胀量，通过调节接触面压力，可以高精度地控制流体的泄漏量，可用于所有用途。本发明的轴封装置，在设在本体(10)内部的轴封部(15)，配设通过电的外部刺激而膨胀收缩、变形的高分子材料制的轴封体(20)，并且，在轴封部(15)设有流路(13、14)，因轴封体(20)的膨胀收缩、变形而泄漏的流体流过该流路(13、14)。
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