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公开(公告)号：CN1590832A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410005821.0
申请日：2004-01-17
Applicant: 应用材料有限公司
CPC classification number: F16K7/17 , F16K27/003 , F16K31/143 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/86662 , Y10T137/87169 , Y10T137/87877 , Y10T137/87885 , Y10T137/87917
Abstract: 一种手动/气动组合截止阀(11)。所述阀包括一个壳体(13)；设置在所述壳体中并且具有一个流体入口(19)和一个流体出口(21)的一个阀腔(17)；一个隔膜(23)；一个阀座(25)；一个气动致动器(29)，其适于将所述隔膜由第一位置移动至流第二位置，在所述第一位置，所述隔膜和所述阀座在所述流体入口和所述流体出口之间形成密封，在所述第二位置时，所述流体入口和所述流体出口处于连通状态；以及手柄(31)，适于使用所述致动器，将所述隔膜手动地由所述第二位置移动至所述第一位置，不管是否出现气动控制信号。所述阀通过将手动阀和气动阀的功能组合到一个元件中，而使工艺流体控制装置的长度缩短，并因此缩短流体控制板的尺寸。
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公开(公告)号：CN101230925B
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN200810009924.2
申请日：2004-01-17
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: F16K1/36 , F16K31/143
CPC classification number: F16K7/17 , F16K27/003 , F16K31/143 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/86662 , Y10T137/87169 , Y10T137/87877 , Y10T137/87885 , Y10T137/87917
Abstract: 一种手动/气动组合截止阀(11)。所述阀包括一个壳体(13)；设置在所述壳体中并且具有一个流体入口(19)和一个流体出口(21)的一个阀腔(17)；一个隔膜(23)；一个阀座(25)；一个气动致动器(29)，其适于将所述隔膜由第一位置移动至流第二位置，在所述第一位置，所述隔膜和所述阀座在所述流体入口和所述流体出口之间形成密封，在所述第二位置时，所述流体入口和所述流体出口处于连通状态；以及手柄(31)，适于使用所述致动器，将所述隔膜手动地由所述第二位置移动至所述第一位置，不管是否出现气动控制信号。所述阀通过将手动阀和气动阀的功能组合到一个元件中，而使工艺流体控制装置的长度缩短，并因此缩短流体控制板的尺寸。
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公开(公告)号：CN101230925A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810009924.2
申请日：2004-01-17
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: F16K1/36 , F16K31/143
CPC classification number: F16K7/17 , F16K27/003 , F16K31/143 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/86662 , Y10T137/87169 , Y10T137/87877 , Y10T137/87885 , Y10T137/87917
Abstract: 一种手动/气动组合截止阀(11)。所述阀包括一个壳体(13)；设置在所述壳体中并且具有一个流体入口(19)和一个流体出口(21)的一个阀腔(17)；一个隔膜(23)；一个阀座(25)；一个气动致动器(29)，其适于将所述隔膜由第一位置移动至流第二位置，在所述第一位置，所述隔膜和所述阀座在所述流体入口和所述流体出口之间形成密封，在所述第二位置时，所述流体入口和所述流体出口处于连通状态；以及手柄(31)，适于使用所述致动器，将所述隔膜手动地由所述第二位置移动至所述第一位置，不管是否出现气动控制信号。所述阀通过将手动阀和气动阀的功能组合到一个元件中，而使工艺流体控制装置的长度缩短，并因此缩短流体控制板的尺寸。
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公开(公告)号：CN100378397C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200410005821.0
申请日：2004-01-17
Applicant: 应用材料有限公司
CPC classification number: F16K7/17 , F16K27/003 , F16K31/143 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/86662 , Y10T137/87169 , Y10T137/87877 , Y10T137/87885 , Y10T137/87917
Abstract: 一种手动/气动组合截止阀(11)。所述阀包括一个壳体(13)；设置在所述壳体中并且具有一个流体入口(19)和一个流体出口(21)的一个阀腔(17)；一个隔膜(23)；一个阀座(25)；一个气动致动器(29)，其适于将所述隔膜由第一位置移动至流第二位置，在所述第一位置，所述隔膜和所述阀座在所述流体入口和所述流体出口之间形成密封，在所述第二位置时，所述流体入口和所述流体出口处于连通状态；以及手柄(31)，适于使用所述致动器，将所述隔膜手动地由所述第二位置移动至所述第一位置，不管是否出现气动控制信号。所述阀通过将手动阀和气动阀的功能组合到一个元件中，而使工艺流体控制装置的长度缩短，并因此缩短流体控制板的尺寸。
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