制造多层布线板的方法

    公开(公告)号:CN1176567C

    公开(公告)日:2004-11-17

    申请号:CN00804541.0

    申请日:2000-03-01

    Abstract: 一种制造多层布线板的方法,包括如下步骤:在下布线层(22)上形成柱状金属导体(24a)之后,形成上布线层(27),它的一部分与柱状金属导体(24a)电连接,其特征在于,形成所述金属导体的步骤包括形成构成所述金属导体的镀层(24)的辅助步骤,在形成所述金属导体的镀层表面上形成掩膜层(25)的辅助步骤,以及蚀刻所述镀层的辅助步骤。可以通过常规步骤的结合以简易的设备实现本制造方法,并可使布线层细线化。另外,可以制成具有很高可靠性的多层布线板。

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