公开(公告)号：CN109314072A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780034631.7

申请日：2017-07-20

Applicant: 信越聚合物股份有限公司

Inventor： 三村博 ,  户田顺也

IPC: H01L21/673 ,  B65D85/86

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/68785

Abstract: 本发明提供一种提高搬送部件的安装性的基板收纳容器。本发明的基板收纳容器具备：容器主体（20），其具有由盖体封闭的开口部，并且可以收纳两块以上的基板；以及搬送部件（30），其拆装自如地安装于容器主体（20）上；安装机构（40）包括第一安装部（40A）以及第二安装部（40B），所述第一安装部（40A）在容器主体（20）的开口部侧，所述第二安装部（40B）在远离开口部的侧。此外，搬送部件（30）具有与安装机构（40）卡合的被卡合部，且被卡合部包括：朝向预定的方向位移从而卡合的第一被卡合部（36），以及朝向与预定的方向不同的方向位移从而卡合的第二被卡合部（37）。

公开(公告)号：CN108074846A

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201610996451.4

申请日：2016-11-13

Applicant: 青海圣诺光电科技有限公司

Inventor： 刘江华 ,  刘冠华 ,  范秀丽

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67309 ,  H01L21/67363 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67386

Abstract: 本发明公开了一种氮化铝陶瓷基板分装装置，包括第一抓滑板、第一连接器、分装盒、第二连接器、接线窗、第二抓滑板、卡箍、滑盖门、卡位槽、顶板、侧板、折板、旋转轴、插槽和分装盒主支撑座，所述第一抓滑板的右端固定有第二抓滑板，所述第一连接器的右端镶嵌有分装盒，且分装盒的中间设置有旋转轴，所述卡箍的内部固定有分装盒，所述接线窗的下方连接有滑盖门，所述顶板的右下方连接有侧板，所述插槽的左端固定有分装盒主支撑座。整个氮化铝陶瓷基板分装装置可将基板的工作状态呈双向放置和全密封和半密封两种，彻底将氮化铝陶基板成品和基材与碱性元素隔离，不会使基板上落入灰尘，整洁度高，也便于生产中的分装存储。

公开(公告)号：CN104377140B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201410546852.0

申请日：2010-11-12

Applicant: 维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司

Inventor： J·曼古姆 ,  W·E·奎因

IPC: H01L21/60

CPC classification number: H01L21/67383 ,  C23C16/44 ,  H01L21/02104 ,  H01L21/67366 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68771 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 一种用于提高衬底载体的性能的方法，包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质。然后在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得沉积的层或制造的器件的期望的参数。

公开(公告)号：CN104662650B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201380035102.0

申请日：2013-05-06

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： 马修·富勒 ,  约翰·佰恩斯

IPC: H01L21/673 ,  B65D85/86 ,  B65D85/38

CPC classification number: H01L21/67772 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67383 ,  Y10T29/4973

Abstract: 一种晶片容器，包括壳体部，该壳体部包括顶壁、底壁、一对侧壁、后壁、以及与后壁相对的门框架，该门框架限定正面开口，以及包括两个侧部晶片支架的晶片支撑结构，每一个侧部晶片支架包括可拆卸的托架。本发明包括借助于更换该可拆卸的托架来维护晶片容器。本发明包括将用于垂直地运输大直径晶片的运输容器转换成用于在制造设施中水平地存储晶片的容器，用于自动拾取晶片进行处理。

公开(公告)号：CN106892226A

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201611151395.0

申请日：2016-12-14

Applicant: 德州仪器公司

Inventor： 阿尔贝特·温斯顿·杜尔莱·埃斯库萨 ,  威廉姆·卡苏加·尼斯佩罗斯 ,  洛伦斯·S·帕雷哈

IPC: B65D90/52

CPC classification number: H01L21/67383 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67386 ,  B65D90/52

Abstract: 本发明涉及一种互锁嵌套晶片保护器。用于在集成电路晶片的船运期间减少颗粒的互锁环晶片分离器(308)具有：晶片架(312)；互锁突片(314)，其防止所述晶片的边缘接触晶片船运集装箱的内壁；及互锁槽(310)，可将第二互锁环晶片分离器(307)的所述互锁突片(314)插入到所述互锁槽中，从而将所述两个互锁环晶片分离器一起锁定在硬币堆叠式晶片(404)中。

公开(公告)号：CN103518258B

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201280022313.6

申请日：2012-07-06

Applicant: 库拉米克电子学有限公司

Inventor： E·恩斯特贝格尔 ,  H·施魏格尔 ,  T·布洛克

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67383 ,  H01L21/67333 ,  H01L21/67363 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67386

Abstract: 本发明涉及一种用于基片、尤其用于金属?陶瓷基片的包装，具有由扁平材料、尤其由塑料扁平材料通过深冲制成的托盘状的包装部件，所述包装部件具有至少一个由包装部件的上底部区段中的凹陷所构成的容纳部，所述容纳部用于多个结合成至少一个基片堆叠（5）的基片。

公开(公告)号：CN103771034B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201310692043.6

申请日：2005-08-19

Applicant: 布鲁克斯自动化公司

Inventor： G.乌利塞斯 ,  M.L.布法诺 ,  W.福斯奈特 ,  C.霍夫梅斯特 ,  G.M.弗里德曼

IPC: H01L21/00 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67763 ,  H01L21/67326 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/6779 ,  Y10S414/139

Abstract: 本发明提出一种用于在制造工厂内处理工件的方法，其包括：为制造工厂提供限定了工件处理流的工件处理站，其中，工件以工件批的形式处理；提供用于在工件处理流内的工件处理站之间运载一个或多个工件的运载器，该运载器具有预先确定的工件保持区域，每个工件保持区域适用于保持工件；及用运载器建立具有可选择的数量的工件的虚拟的工件批，用于通过该运载器从工件处理流内的一个工件处理站传送到另一个工件处理站，所述虚拟的工件批包括来自不同生产批的工件。

公开(公告)号：CN102369595B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201080014631.9

申请日：2010-03-30

Applicant: ATS自动化加工系统公司

Inventor： 弗雷德里克·里沃利耶 ,  瑞安·丘伯

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67766 ,  Y10S414/137

Abstract: 一种用于搬运晶片的系统，包括：至少一个卸载站；设计用于以一角度保持所述晶片的至少一个中间站；加工站；和配置用于在所述站之间移动所述晶片的传递装置。所述中间站可配置用于接纳处于背靠背结构的所述晶片。一种用于搬运晶片的设备，包括：在一侧，配置用于抓持各个晶片的真空抓持器；和在另一侧，配置用于在定位在所述晶片下方并抬升时支撑一个或多个晶片的重力抓持器。一种用于搬运晶片的方法，包括：卸载晶片；将所述晶片传递到中间站；将所述晶片从所述中间站传递到加工站；处理所述晶片；将所述晶片从所述加工站卸载；以及将所述晶片再装载在载体上，其中所述晶片通过传递装置卸载、传递和再装载。

公开(公告)号：CN105102347A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480001459.1

申请日：2014-03-26

Applicant: 刘汝拯

Inventor： 刘汝拯 ,  克利夫顿·C·哈格德 ,  詹姆斯·R·托马斯

IPC: B65D85/48 ,  B65D81/05

CPC classification number: H01L21/67383 ,  B65D81/07 ,  H01L21/6732 ,  H01L21/67369

Abstract: 本发明公开了一种包装弹性压环(20)，包括：一个框架部分(22)，确立了所述包装弹性压环(20)的外边缘；以及多个弹性部件(24)，相对于所述框架部分(22)的表面以斜角(A)伸出所述框架部分(22)。弹性部件(24)配置为当容器关闭时弯向或者移向并接触容器(30)表面。弹性部件(24)的弹性为容器(30)中的包装弹性压环(20)提供了一个固定位置，帮助保持容器中物品如硅片(32)处于想要的状态。

公开(公告)号：CN103035559B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201110301433.7

申请日：2011-09-29

Applicant: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

Inventor： 赵昱劼

IPC: H01L21/687 ,  F16C13/00

CPC classification number: H01L21/67383 ,  H01L21/67386

Abstract: 公开了一种弹性固定轮及包含该弹性固定轮的晶圆适配器。该弹性固定轮包括轮圈、位于轮圈内的主固定部以及至少两个支撑条。每一个支撑条位于轮圈与主固定部之间的间隙中。支撑条的一端与主固定部接触，例如固定到主固定部，而另一端与轮圈的内侧接触。例如，在轮圈内侧形成有滑道，支撑条的所述另一端可在滑道中滑动。当弹性固定轮受到不均匀外力时或者当外力过大时，支撑条能够从轮圈内侧对轮圈提供增强的支撑作用，或者至少部分地分散弹性固定轮受到的不均匀力，从而防止轮圈的过度形变，由此减少或避免弹性固定轮断裂的发生。