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公开(公告)号：CN1726380A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200380105855.0
申请日：2003-12-10
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
CPC classification number: G01B21/02 , G01B11/0666 , G01N21/171
Abstract: 本发明测量包括多个窄金属区域的一种结构，每个区域设置在包括第二非金属材料的相邻区域之间。该方法的一个步骤是通过利用由激励条形成的空间周期性激励场照射来激励该结构，以生成热光栅。其它步骤是从热光栅衍射出探测激光束，以形成信号束；作为时间的函数，检测信号束，以产生信号波形；并且根据信号波形的热分量，确定该结构的至少一个特性。
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公开(公告)号：CN1723386A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200380105638.1
申请日：2003-12-10
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： A·马滋内
CPC classification number: G01B11/0666 , G01B11/0625 , G01N21/1717 , G01N21/8422
Abstract: 一种测量膜厚度的方法，该方法基于监测在脉冲加热后膜反射率的瞬时变化。该方法包括如下步骤：用激励脉冲脉冲地照射膜的表面，以使膜的温度上升；用探测束照射膜的表面，使其从膜的表面反射以产生反射的探测束；检测反射的探测束的强度随时间的变化；基于测量的强度变化产生信号波形；以及基于信号波形确定膜的厚度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100565099C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN02818032.1
申请日：2002-07-12
Applicant: 鲁道夫科技公司
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0666 , G01B11/28 , G01N21/1702 , G01N2021/1706
Abstract: 一种用于提高测量薄膜叠层中各层厚度时的信噪比的设备，使用一种光声测量系统(75)，该系统包括时间差分系统(130)用于诱发泵浦光束脉冲(125A)中的延迟。其中，该时间差分系统(130)使用双折射元件和其它元件来控制泵浦光束脉冲(125A)的偏振。该设备的使用涉及向电光调制器驱动器施加随时间变化的电压并设置时间差分步长；或者，在另一个实施例中，向电光调制器施加随时间变化的电压以诱发垂直偏振的脉冲和水平偏振的脉冲之间的固定延迟Δt。该系统的高频操作提供了对膜的厚度的改进的确定。
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公开(公告)号：CN102183227A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010625090.5
申请日：2010-12-03
Applicant: SMS米尔股份有限公司
IPC: G01B17/02
CPC classification number: G01B11/0666 , G01B17/02
Abstract: 本发明涉及一种非接触式管壁厚度测量装置和管壁厚度测量。为了提供结构简单、具有至少两个激光超声波测量头的非接触式管壁厚度测量装置，可以在非接触式管壁厚度测量装置中将至少两个超声波测量头布置在能够围绕摆动轴线摆动的共用的摆动架上。
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公开(公告)号：CN1291284A
公开(公告)日：2001-04-11
申请号：CN99803134.8
申请日：1999-10-21
Applicant: 皇家菲利浦电子有限公司
CPC classification number: G01B11/0666 , G01N21/636
Abstract: 所述的是测量样品性质的一种方法和装置:用具有至少一个空间相位和空间周期的激发图样照射样品的一部分;一部分探测光束从样品表面衍射;用光学探测器检测探测光束的衍射部分,产生光诱导的信号;处理光诱导的信号,确定样品的性质。通过调节激发图样的空间位相和重复照射、衍射和检测步骤,能产生至少一个附加光诱导信号,本方法有相当大的改进。
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公开(公告)号：CN108700524A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680081834.7
申请日：2016-12-15
Applicant: 诺威量测设备股份有限公司
Inventor： 吉拉德·巴拉克 , 亚尼尔·海尼克 , 约纳坦·奥伦 , 弗拉迪米尔·马恰瓦里亚尼
IPC: G01N21/66
CPC classification number: G01N21/65 , G01B11/0666 , G01B2210/56 , G01L1/24 , G01N21/658 , G01N21/9501 , G03F7/70625 , H01L22/12
Abstract: 呈现一种用于测量图案化结构的一个或多个特征时使用的方法与系统。该方法包括：提供包括指示在使用至少一个所选择的光学测量方案的测量下从图案化结构获得的至少一个拉曼光谱的数据的测量数据，至少一个所选择的光学测量方案各自具有与待测量的特征对应的照明和采集光条件中的至少一个条件的预定配置；处理测量数据，并且针对至少一个拉曼光谱中的每个光谱，确定在测量下的结构的至少一部分内的拉曼贡献效率(RCE)的分布，该分布取决于结构的特征与相应的光学测量方案中的照明和采集光条件中的至少一个条件的预定配置；分析拉曼贡献效率的分布并且确定该结构的特征。
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公开(公告)号：CN1555479A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02818032.1
申请日：2002-07-12
Applicant: 鲁道夫科技公司
CPC classification number: G01B11/0666 , G01B11/28 , G01N21/1702 , G01N2021/1706
Abstract: 一种用于提高测量薄膜叠层中各层厚度时的信噪比的设备，使用一种光声测量系统(75)，该系统包括时间差分系统(130)用于诱发泵浦光束脉冲(125A)中的延迟。其中，该时间差分系统(130)使用双折射元件和其它元件来控制泵浦光束脉冲(125A)的偏振。该设备的使用涉及向电光调制器驱动器施加随时间变化的电压并设置时间差分步长；或者，在另一个实施例中，向电光调制器施加随时间变化的电压以诱发垂直偏振的脉冲和水平偏振的脉冲之间的固定延迟Δt。该系统的高频操作提供了对膜的厚度的改进的确定。
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