一种高硬度低摩擦系数的纳米涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN105441945A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201510820391.6

    申请日:2015-11-24

    CPC classification number: C23C28/04 C23C14/0036 C23C14/0635 C23C28/40

    Abstract: 本发明一种高硬度低摩擦系数的纳米涂层,由至少一层HfC层和至少一层SiC层组成,HfC层和SiC层交替沉积在基体上。还提供了上述纳米涂层的制备方法,首先将基体表面作镜面抛光处理,然后经过丙酮、酒精的超声清洗,真空离子清洗后,采用直流或射频反应溅射方法交替沉积HfC层和SiC层,HfC层由纯Hf靶材在氩气和乙炔气氛下制得,而SiC采用直接溅射SiC化合物靶材制备。本发明的HfC/SiC纳米多层涂层不但具有高硬度和耐磨性,其最高硬度可达36.2GPa,而且由于较高的C含量使涂层具有相对较低的摩擦系数,与轴承钢之间的摩擦系数约为0.3。该涂层可在高硬度、高耐磨、低摩擦等场合下服役。

    一种自润滑二硼化钛/类金刚石涂层及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN106086886A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610654843.2

    申请日:2016-08-10

    Inventor: 高翔 代伟 王启民

    CPC classification number: C23C28/046 C23C28/40

    Abstract: 本发明公开了一种自润滑二硼化钛(TiB2)/类金钢石(DLC)硬质涂层及其制备方法。所述TiB2/DLC硬质涂层是采用双极脉冲磁控溅射沉积技术在基底上将TiB2陶瓷层与DLC层周期性相互叠加而成,TiB2/DLC硬质涂层的调制周期为15~60nm,涂层总厚度为1.2~1.4μm。本发明所述TiB2/DLC硬质涂层综合了TiB2和DLC各自的优点,具有优异的硬度和润滑特性,并且具有良好的导电性,同时采用的脉冲磁控溅射沉积技术操作方便,工艺简单,制备周期短,成本低,便于大规模工业化生产,可以广泛应用于刀具、模具、微电子、防护等领域。

    一种高稳定性的非偏振依赖表面增强拉曼散射衬底、制备及应用

    公开(公告)号:CN105442015A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201510776370.9

    申请日:2015-11-11

    Inventor: 蒋毅坚 冯超 赵艳

    CPC classification number: C23C14/35 C23C28/00 C25D11/04 G01N21/65 C23C28/40

    Abstract: 一种高稳定性的非偏振依赖表面增强拉曼散射衬底、制备及应用,其制备技术属于材料物理化学领域;其应用范畴属于光散射科学和表面等离子体科学领域;其为由金纳米粒子等边三聚体周期性排列形成的规则阵列。制备工艺为:首先利用电化学腐蚀在铝基片上制备出一层极薄的氧化铝纳米坑等边三聚体周期性阵列,之后在该阵列上沉积一层极薄的金纳米薄膜,然后对沉积有金膜的纳米坑阵列基片进行退火,得到金纳米粒子等边三聚体周期性阵列,即高稳定性的非偏振依赖表面增强拉曼散射衬底。该衬底在表面增强拉曼散射检测的过程中,具有在全360°范围内无视激发光偏振方向,全角度稳定输出表面增强拉曼散射信号的突出优点。

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