沉积第IIIA族金属薄膜的方法

    公开(公告)号:CN1130924A

    公开(公告)日:1996-09-11

    申请号:CN94193375.X

    申请日:1994-07-29

    申请人: 埃普切公司

    发明人: A·C·琼斯

    摘要: 一种将高纯度第ⅢA族金属层沉积在基材上的方法,它包括基材与第ⅢA族金属的叔丁基化合物接触,然后使该化合物裂解,在基材上留下沉积的第ⅢA族金属。本发明的方法可用于任何适合的基材,如硅和聚酰亚胺。本发明的方法可用于第ⅢA族金属/硅合金的生长,以及用于使半导体Ⅲ-Ⅴ合金沉积,如AlGaAs、AlInAs和AlSb合金的沉积。