替位式掺杂原子尺度导线

    公开(公告)号:CN108793063A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201710298639.6

    申请日:2017-04-27

    申请人: 邵诗婷

    IPC分类号: B81C1/00 B82B1/00 B82B3/00

    摘要: 本发明公开了一种替位式掺杂原子尺度导线、制备方法和应用领域。该原子尺度导线是在半导体性质的碳基材料(半导体碳纳米管或半导体石墨烯纳米带)上,采用SPM和单离子注入技术替位式掺杂三族、四族、或五族元素,形成宽度为原子量级的导线,可用于连接原子尺度的电子器件,作为原子量级线程的大规模集成电路的互连,制备相应的集成电路。

    收窄的替位式掺杂原子尺度导线

    公开(公告)号:CN108793062A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201710298595.7

    申请日:2017-04-27

    申请人: 邵诗婷

    IPC分类号: B81C1/00 B82B1/00 B82B3/00

    摘要: 本发明公开了一种收窄的替位式掺杂原子尺度导线、制备方法和应用领域。该原子尺度导线是在金属性质的碳基材料(金属性质的碳纳米管或金属性质的石墨烯纳米带)上,采用SPM和单离子注入技术替位式掺杂金属原子,形成宽度为原子量级的导线,可用于连接原子尺度的电子器件,作为原子量级线程的大规模集成电路的互连,制备相应的集成电路。