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公开(公告)号:CN108793063A
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201710298639.6
申请日:2017-04-27
申请人: 邵诗婷
发明人: 不公告发明人
CPC分类号: B81C1/00015 , B82B1/001 , B82B1/005 , B82B3/0061 , B82B3/008
摘要: 本发明公开了一种替位式掺杂原子尺度导线、制备方法和应用领域。该原子尺度导线是在半导体性质的碳基材料(半导体碳纳米管或半导体石墨烯纳米带)上,采用SPM和单离子注入技术替位式掺杂三族、四族、或五族元素,形成宽度为原子量级的导线,可用于连接原子尺度的电子器件,作为原子量级线程的大规模集成电路的互连,制备相应的集成电路。
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公开(公告)号:CN108793062A
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201710298595.7
申请日:2017-04-27
申请人: 邵诗婷
发明人: 不公告发明人
CPC分类号: B81C1/00015 , B82B1/001 , B82B1/005 , B82B3/0061 , B82B3/008
摘要: 本发明公开了一种收窄的替位式掺杂原子尺度导线、制备方法和应用领域。该原子尺度导线是在金属性质的碳基材料(金属性质的碳纳米管或金属性质的石墨烯纳米带)上,采用SPM和单离子注入技术替位式掺杂金属原子,形成宽度为原子量级的导线,可用于连接原子尺度的电子器件,作为原子量级线程的大规模集成电路的互连,制备相应的集成电路。
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公开(公告)号:CN108807552A
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201710298636.2
申请日:2017-04-27
申请人: 邵诗婷
发明人: 不公告发明人
IPC分类号: H01L29/861 , H01L21/04
CPC分类号: H01L29/861 , H01L21/041 , H01L29/6603
摘要: 本发明公开了一种替位式掺杂原子尺度二极管、制备方法和应用领域。该原子尺度二极管是在半导体性质的碳基材料(半导体碳纳米管或半导体石墨烯纳米带)上,采用SPM和单离子注入技术替位式掺杂三族和五族元素,形成大小为原子尺度的二极管,可用于在原子尺度上制备大规模集成电路。
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公开(公告)号:CN108807520A
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201710298592.3
申请日:2017-04-27
申请人: 邵诗婷
发明人: 不公告发明人
IPC分类号: H01L29/73 , H01L29/06 , H01L21/331 , H01L21/265
CPC分类号: H01L29/73 , H01L21/0415 , H01L29/0684 , H01L29/66037
摘要: 本发明公开了一种替位式掺杂原子尺度三极管、制备方法和应用领域。该原子尺度三极管是在半导体性质的碳基材料(半导体碳纳米管或半导体石墨烯纳米带)上,采用SPM和单离子注入技术替位式掺杂三族和五族元素,形成大小为原子尺度的三极管,可用于在原子尺度上制备大规模集成电路。
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