衬底运载装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1936072A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200610001446.1

    申请日:2006-01-17

    IPC分类号: C23C14/34

    CPC分类号: C23C14/50

    摘要: 本申请涉及一种用于衬底的运载装置,其包括两个竖直板和两个水平板。为了衬底运送通过溅射装置过程中其边缘区域被均匀地涂敷或镀膜,在所述两个竖直板之间提供了一种杠杆机构。所述杠杆机构包括至少一个水平板片或板条,在热能的作用下该至少一个水平板片或板条膨胀的程度小于所述水平板的膨胀程度。

    用于平面磁控管的磁体装置

    公开(公告)号:CN1861836A

    公开(公告)日:2006-11-15

    申请号:CN200610066906.9

    申请日:2006-03-30

    IPC分类号: C23C14/35 H01J37/34

    CPC分类号: H01J37/3408

    摘要: 本发明涉及一种用于平面磁控管的磁体装置,其中第一磁极包围第二磁极。这种磁体装置在纵向方向朝向靶线性运动一定数值的距离,且随后在相反方向向回移动相同数值的距离。在一个实施例中,产生附加的垂直运动。所述磁体装置被设计成北极与南极交替布置或互锁,且产生波浪形轨道。这样就能够从整个靶表面持续地溅射。

    用于更换卷筒的装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1721306A

    公开(公告)日:2006-01-18

    申请号:CN200510003684.1

    申请日:2005-01-10

    IPC分类号: B65H19/22 C23C14/56

    摘要: 本发明涉及一种用于更换网布形式的材料的涂布设备的收卷或解卷室中的卷筒的装置。这样的装置设置在涂布室的两侧,一个装置作为收卷卷筒并且另外一个作为解卷卷筒。该装置包括两个用于接收卷筒端轴承的导轨,该导轨包括两部分,其中一部分是固定的,另外一部分是可枢转的。该装置位于有门的机架中。如果要替换卷筒,打开门并且向外打开导轨的可枢转的部分从而它们从机架中凸出。现在就能在凸出的导轨部分上放置卷筒,随后向内滑动并停止卷筒。