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发明公开
用于测量镀覆的衬底的光学性质的测量装置无效

公开(公告)号：CN1699964A

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：CN200410075195.2

申请日：2004-09-02

申请人： 应用薄膜有限公司

发明人： 汉斯-格奥尔格·洛茨 , 彼得·索尔 , 斯特凡·海因 , 彼得·斯库克

IPC分类号： G01N21/00 , G01N21/17

CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/54 , G01N21/55

摘要： 本发明涉及一种测量装置，其包括几个依次设置的镀覆腔，用于测量镀覆的衬底的光学性质。这些镀覆腔相互之间被隔离壁隔开，隔离壁的自由端安装在靠近衬底的上方。衬底最好是连续的薄膜。通过在各个镀覆腔之间测量衬底的反射、透射等，使得在仅仅部分完成的层系统中实现测量成为可能。这就实现了对镀覆过程的技术操作进行控制的优点。