公开(公告)号：CN1936071B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200610001445.7

申请日：2006-01-17

申请人： 应用薄膜有限公司

发明人： T·克卢格 ,  O·海默尔

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： H01L21/68778 ,  C03B35/202 ,  C03C17/002 ,  C03C2218/154 ,  C03C2218/34 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01L21/68728

摘要： 本申请涉及一种用于衬底的运载装置，其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷，特别是在溅射过程中，板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载装置固定的位置处运载装置在该区域的热膨胀系数。

公开(公告)号：CN1936072A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200610001446.1

申请日：2006-01-17

申请人： 应用薄膜有限公司

发明人： T·格贝勒 ,  O·海默尔 ,  T·克卢格

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： C23C14/50

摘要： 本申请涉及一种用于衬底的运载装置，其包括两个竖直板和两个水平板。为了衬底运送通过溅射装置过程中其边缘区域被均匀地涂敷或镀膜，在所述两个竖直板之间提供了一种杠杆机构。所述杠杆机构包括至少一个水平板片或板条，在热能的作用下该至少一个水平板片或板条膨胀的程度小于所述水平板的膨胀程度。

公开(公告)号：CN1936071A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200610001445.7

申请日：2006-01-17

申请人： 应用薄膜有限公司

发明人： T·克卢格 ,  O·海默尔

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： H01L21/68778 ,  C03B35/202 ,  C03C17/002 ,  C03C2218/154 ,  C03C2218/34 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01L21/68728

摘要： 本申请涉及一种用于衬底的运载装置，其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷，特别是在溅射过程中，板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载装置固定的位置处运载装置在该区域的热膨胀系数。