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公开(公告)号：CN113302725B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202080009673.7
申请日：2020-01-16
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 田村泰司
Abstract: 提供安装装置和安装方法，在基板的电极面和芯片部件的电极面朝向相同方向的面朝上安装中，不伴随成本上升和生产率降低而实现稳定的高精度安装以及安装装置内的全数安装位置精度测定检查。具体地，提供安装装置和安装方法，在实施了芯片部件与基板的对位之后，使保持着芯片部件的安装头相对于基板在垂直方向上下降，在芯片部件紧贴在基板上之后，控制部使识别机构并行地开始进行芯片识别标记和基板识别标记的识别动作，隔着安装头对芯片部件紧贴在基板上的安装状态下的芯片识别标记和基板识别标记进行识别，并计算芯片部件与基板的安装位置精度。
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公开(公告)号：CN117772558A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311255495.8
申请日：2023-09-26
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，能够以容易的结构应对多品种的基板。涂布装置具备：工作台，其能够载置宽度尺寸不同的多品种的基板；以及涂布单元，其通过一边相对于载置在工作台的表面的基板相对地移动一边喷出涂布液，而在基板上形成涂布膜，涂布装置具有升降部件，在向工作台进行基板的搬入、搬出时，升降部件将基板保持在距工作台规定高度，在升降部件保持基板时与基板的背面抵接的抵接部具有沿基板的宽度方向延伸的形状，以便能够维持宽度尺寸不同的基板的保持姿势。
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公开(公告)号：CN117772525A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311280668.1
申请日：2023-09-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其抑制干燥器供给空气的供给量的偏差，从而抑制在涂布膜上形成不均。涂布装置具备：载置基板的载台；以及涂布器，其一边相对于载置于载台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，涂布装置设置有干燥器，该干燥器通过向由涂布器形成在基板上的涂布膜供给空气来使涂布膜干燥，干燥器构成为在供给空气的空气供给口设置有多孔质部件，该多孔质部件抑制在空气供给口局部地形成空气供给量的强弱。
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公开(公告)号：CN117637584A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202310967464.9
申请日：2023-08-02
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种拾取装置，其能够容易地拾取成为拾取对象的芯片部件，并能够防止拾取前的芯片部件剥落。在拾取隔着粘合层粘贴在片材上的芯片部件的装置中，粘合层具有保持芯片部件的力因加热而减弱的特性，该拾取装置具有：激光加热部，其向粘贴有成为拾取对象的芯片部件的芯片粘贴区域照射对粘合层进行加热的激光束；以及夹头，其从片材剥离并拾取被照射了激光束的成为拾取对象的芯片部件，在芯片粘贴区域设定有多个对粘合层进行加热的加热区域，激光加热部的激光束的强度在每个加热区域被设定为不同强度。
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公开(公告)号：CN117083699A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202180096471.5
申请日：2021-12-15
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/52
Abstract: 提供夹头更换机构，能够以简单的结构在短时间内进行使用夹头拾取芯片部件的拾取工具的夹头更换。具体而言，提供一种夹头更换机构，该夹头更换机构包括：附件，其保持夹头；附件保持件，其配置于拾取工具的下部，保持上述附件的上部；以及附件收纳部，其能够收纳多个上述附件，能够使上述附件沿着引导件滑动，上述附件保持件具有利用磁力保持上述附件的功能，上述附件具有限制附件相对于上述附件收纳部的上述引导件向沿着上述引导件的方向以外的方向移动的形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116727190A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310226382.9
申请日：2023-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其能够抑制膜厚精度的降低，并且能够在刚由涂布器涂布后立即使涂布膜干燥。该涂布装置包括：载置台，其载置基板；以及涂布器，其一边相对于载置于载置台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，在涂布器中，在与涂布进行侧相反的一侧设置有使从喷嘴喷出而形成的涂布膜干燥的干燥器，干燥器设置有朝向涂布膜供给空气的第一送风部和第二送风部，第一送风部和第二送风部从涂布器侧起依次排列配置。
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公开(公告)号：CN114423529B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202080063588.9
申请日：2020-08-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
Abstract: 提供即使在垫片部件介于涂布器的状态下也能够准确地掌握垫片部件的尺寸的涂布器、涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布器具有狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴形成为喷出涂布液的喷出口在一个方向上延伸的狭缝形状，其中，所述涂布器是使由所述狭缝喷嘴分割的半分割形状的半接头合体而形成的，所述涂布器构成为具有：垫片部件，其形成为固定的厚度，通过介于所述半接头之间，对所述喷出口的涂布方向上的狭缝宽度进行调节；以及垫片检测部，其检测介于所述半接头之间的所述垫片部件的尺寸。
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公开(公告)号：CN116568392A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202280007796.6
申请日：2022-01-28
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B01J19/08
Abstract: 本发明提供一种能够在基板表面形成高密度的自组装单分子膜的层积体制造装置。具体而言，层积体制造装置具备：真空腔，其容纳基板；气体导入口，其向真空腔内导入气体；以及等离子体产生部，其在真空腔内形成等离子体气氛，该层积体制造装置构成为具有下述模式：表面亲水化模式，在向真空腔内供给了赋予亲水性基团的蒸发源的状态下，利用由等离子体产生部形成的等离子体气氛对基板的膜形成面进行改性，使该膜形成面亲水化；以及自组装模式，在真空腔内为在真空中、供给有促进自组装单分子膜的前体材料的水解的蒸发源的状态下，对膜形成面被亲水化了的基板供给自组装单分子膜的前体材料的蒸发源，从而在亲水化的膜形成面上形成自组装单分子膜。
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公开(公告)号：CN115003421B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202080093813.3
申请日：2020-09-30
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够形成涂布开始部和涂布结束部的膜厚的偏差少的涂布膜的涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布装置具有：供给阀(41)，从供给机构(20)向该供给阀(41)的入口侧供给涂布液(3)，该供给阀(41)的出口侧与模头(10)连接，内部的阀芯(42)的位置根据轴的动作而变化，能够对该供给阀(41)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制；以及回流阀(51)，从供给机构(20)向该回流阀(51)的入口侧供给涂布液(3)，该回流阀(51)的出口侧与使涂布液(3)向罐(22)返回的配管即回流配管(24)连接，内部的阀芯(52)的位置根据轴的动作而变化，能够对该回流阀(51)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制，使供给阀(41)的阀芯(42)移动的驱动源为马达方式，使回流阀(51)的阀芯(52)移动的驱动源为气动方式，供给阀(41)的阀芯(42)的移动速度比回流阀(51)的阀芯(52)的移动速度快。
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公开(公告)号：CN110690457B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN201910593181.6
申请日：2019-07-03
Applicant: 东丽工程株式会社 , 本田技研工业株式会社
IPC: H01M4/88
Abstract: 本发明提供电极片的制造方法和电极片的制造装置。在本发明的采用电极片(302)的制造装置(10A)的制造方法中，进行如下的工序：送出工序，从卷绕有片体(300)的卷绕体(316)将片体(300)送出，所述片体(300)在支承层(312)上层叠有包括催化剂的功能层(314)；和切断工序，对于在送出工序中被送出的片体(300)，从支承层(312)侧按压刀刃(46)，从而对片体(300)进行冲裁加工而形成电极片(302)。
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