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公开(公告)号：CN119522140A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202380052704.0
申请日：2023-05-16
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 提供一种能够抑制所形成的涂布膜的结晶状态变得不均匀的情况的涂布装置。具体而言，一种涂布装置，其具有：载置基板的载台；涂布器，其一边相对于载置于所述载台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜；以及干燥器，其使基板上的涂布膜干燥，根据基板上的涂布膜的干燥分布信息，对应于涂布膜的部位来调节所述干燥器的促进干燥的干燥促进力。
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公开(公告)号：CN108701635B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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公开(公告)号：CN108698073A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780012441.5
申请日：2017-02-01
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明课题在于使涂布在被涂布部件上的涂膜的厚度成为期望的厚度。涂布装置(5)的涂布器(10)具有蓄积涂布液的蓄积部(13)、喷出涂布液的喷出口(11)以及将蓄积部(13)与喷出口(11)相连的缝状流路(12)，该涂布器(10)从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液。涂布装置(5)具有：移动单元(20)，其使涂布器(10)相对于基板(7)沿与被涂布面(8)平行的方向移动；泵(30)，其对涂布器(10)提供涂布液；和控制装置(50)。控制装置(50)构成为：在进行一边进行涂布器(10)的移动一边从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液的涂布动作时，进行用于使涂布器(10)内的涂布液成为负压并从泵(30)对涂布器(10)提供涂布液的控制。
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公开(公告)号：CN117772525A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311280668.1
申请日：2023-09-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其抑制干燥器供给空气的供给量的偏差，从而抑制在涂布膜上形成不均。涂布装置具备：载置基板的载台；以及涂布器，其一边相对于载置于载台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，涂布装置设置有干燥器，该干燥器通过向由涂布器形成在基板上的涂布膜供给空气来使涂布膜干燥，干燥器构成为在供给空气的空气供给口设置有多孔质部件，该多孔质部件抑制在空气供给口局部地形成空气供给量的强弱。
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公开(公告)号：CN116727190A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310226382.9
申请日：2023-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其能够抑制膜厚精度的降低，并且能够在刚由涂布器涂布后立即使涂布膜干燥。该涂布装置包括：载置台，其载置基板；以及涂布器，其一边相对于载置于载置台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，在涂布器中，在与涂布进行侧相反的一侧设置有使从喷嘴喷出而形成的涂布膜干燥的干燥器，干燥器设置有朝向涂布膜供给空气的第一送风部和第二送风部，第一送风部和第二送风部从涂布器侧起依次排列配置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116637766A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310159521.0
申请日：2023-02-23
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其能够抑制膜厚精度的降低，并且能够在刚由涂布器涂布后立即使涂布膜干燥。该涂布装置包括：载置基板的载置台；以及涂布器，其一边相对于被载置于载置台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其中，在涂布器中在与涂布进行侧相反的一侧设置有使从喷嘴喷出而形成的涂布膜干燥的干燥器，所述干燥器包括：送风部，其朝向涂布膜供给空气；以及抽吸部，其抽吸从所述送风部供给的空气。
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公开(公告)号：CN108698073B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201780012441.5
申请日：2017-02-01
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明课题在于使涂布在被涂布部件上的涂膜的厚度成为期望的厚度。涂布装置(5)的涂布器(10)具有蓄积涂布液的蓄积部(13)、喷出涂布液的喷出口(11)以及将蓄积部(13)与喷出口(11)相连的缝状流路(12)，该涂布器(10)从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液。涂布装置(5)具有：移动单元(20)，其使涂布器(10)相对于基板(7)沿与被涂布面(8)平行的方向移动；泵(30)，其对涂布器(10)提供涂布液；和控制装置(50)。控制装置(50)构成为：在进行一边进行涂布器(10)的移动一边从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液的涂布动作时，进行用于使涂布器(10)内的涂布液成为负压并从泵(30)对涂布器(10)提供涂布液的控制。
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公开(公告)号：CN105562299A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510726032.4
申请日：2015-10-30
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B05C11/10
CPC classification number: B05C11/1002
Abstract: 本发明提供一种涂布液泵单元以及涂布装置，即使是在基板上形成薄膜的情况下也能够抑制横向不匀的产生。涂布液泵单元对涂布装置的涂布单元供给涂布液，所述涂布装置使基板和所述涂布单元相对移动而在基板上形成涂布膜，所述涂布液泵单元的特征在于，在所述涂布液泵单元中，供给涂布液的泵主体、对该泵主体传递驱动力的滚珠丝杠驱动部以及产生驱动力的电动机部按上述顺序配置在同一轴上，在所述电动机部与所述滚珠丝杠驱动部之间设置有行星辊减速器。
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公开(公告)号：CN119586357A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202380053955.0
申请日：2023-07-06
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 能够提供钙钛矿膜形成方法和钙钛矿膜形成装置，它们能够获得具有稳定发电效率的钙钛矿型太阳能电池。具体而言，具有：膜形成工序，在基板上形成钙钛矿膜；结晶状态确认工序，通过测定来确认基板上的钙钛矿膜的结晶状态；以及条件调节工序，基于结晶状态确认工序中的测定结果，调节下次以后的对基板的膜形成工序中的实施条件，在结晶状态确认工序中，遍及基板上的钙钛矿膜的整体设置多点测定位置，在各测定位置取得数值数据，由此取得钙钛矿膜整体中的结晶状态的数值数据分布。
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公开(公告)号：CN108701635A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
CPC classification number: B65G49/06 , B05C13/02 , G02F1/13 , H01L21/027 , H01L21/677
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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