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公开(公告)号:CN117083699A
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202180096471.5
申请日:2021-12-15
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/52
Abstract: 提供夹头更换机构,能够以简单的结构在短时间内进行使用夹头拾取芯片部件的拾取工具的夹头更换。具体而言,提供一种夹头更换机构,该夹头更换机构包括:附件,其保持夹头;附件保持件,其配置于拾取工具的下部,保持上述附件的上部;以及附件收纳部,其能够收纳多个上述附件,能够使上述附件沿着引导件滑动,上述附件保持件具有利用磁力保持上述附件的功能,上述附件具有限制附件相对于上述附件收纳部的上述引导件向沿着上述引导件的方向以外的方向移动的形状。