一种Ka频段台阶式射频腔的非气密封装方法

    公开(公告)号:CN117352985A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311258418.8

    申请日:2023-09-26

    Abstract: 本发明公开了一种Ka频段台阶式射频腔的非气密封装方法,包括:S1对微波基板进行预处理;S2将芯片贴装于微波基板的下沉台阶腔中;S3利用键合引线,将芯片的射频和低频输入输出焊盘与下沉台阶腔中的键合焊盘互联;S4将步骤S3所得的芯片与微波基板的组合进行清洗;S5在芯片上方涂覆环氧绝缘胶,对涂覆环氧绝缘胶后的芯片与微波基板的组合进行预热,使预热状态下的环氧绝缘胶对下沉台阶腔中的芯片和键合引线进行包覆;S6使环氧绝缘胶进行固化;S7在固化的环氧绝缘胶上方粘接吸波材料。本发明在微波基板的台阶腔中实现了射频硅芯片组装、保护和电磁屏蔽,工艺操作简单,适合大批量生产。

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