一种测定低噪放退化功率阈值和损伤功率阈值的方法

    公开(公告)号:CN105137243A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510573741.3

    申请日:2015-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种测定低噪放退化功率阈值和损伤功率阈值的方法,其包括以下步骤:一、构建测试平台;二、构造注入信号:三、测试:(1)测量待测样品的小信号S参数|S21|和噪声系数NF,(2)对待测样品持续注入一定时间,(3)测量本次注入后待测样品的|S21|和NF,(4)增大注入信号平均功率,反复进行(2)和(3)两步,直到|S21|和NF发生剧烈恶化为止;四、绘制|S21|和NF随着注入功率Pin增大而变化的双y轴坐标系曲线图,从中提取退化功率阈值和损伤功率阈值。本发明的有益之处在于:功率注入效果更好,阈值测量结果更能反映出低噪放实际工作条件下的抗功率程度;可得到退化功率阈值,满足了低噪放高可靠性和用于高灵敏度电子设备中低噪声的要求。

    一种测定低噪放退化功率阈值和损伤功率阈值的方法

    公开(公告)号:CN105137243B

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:CN201510573741.3

    申请日:2015-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种测定低噪放退化功率阈值和损伤功率阈值的方法,其包括以下步骤:一、构建测试平台;二、构造注入信号:三、测试:(1)测量待测样品的小信号S参数|S21|和噪声系数NF,(2)对待测样品持续注入一定时间,(3)测量本次注入后待测样品的|S21|和NF,(4)增大注入信号平均功率,反复进行(2)和(3)两步,直到|S21|和NF发生剧烈恶化为止;四、绘制|S21|和NF随着注入功率Pin增大而变化的双y轴坐标系曲线图,从中提取退化功率阈值和损伤功率阈值。本发明的有益之处在于:功率注入效果更好,阈值测量结果更能反映出低噪放实际工作条件下的抗功率程度;可得到退化功率阈值,满足了低噪放高可靠性和用于高灵敏度电子设备中低噪声的要求。

    复合阶梯场板槽栅HEMT高压器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN105448975A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201510873202.1

    申请日:2015-12-03

    CPC classification number: H01L29/778 H01L29/404 H01L29/66462

    Abstract: 一种复合阶梯栅浮空场板槽栅HEMT器件及其制作方法,包括从下至上依次复合的衬底、GaN缓冲层、AlN隔离层、GaN沟道层、AlGaN本征层和AlGaN掺杂层,掺杂层之上的两端分别设有源极和漏极,在栅电极和漏电级中间的AlGaN掺杂层上设有LiF层,在LiF层上设有阶梯浮空阶梯栅场板,阶梯从栅极到漏极方向逐渐升高;在该LiF层与栅电极之间设有有机绝缘介质层,在该有机绝缘介质层的源级一侧设有栅极槽,栅极槽内和有机绝缘介质层的上面设有ITO栅场板;在AlGaN掺杂层上面的裸露区域设有钝化层。本发明利用PTFE层和ITO阶梯栅场板优化了栅极由于曲率效应造成的电场峰,提高了击穿电压,减小了导通电阻。

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