一种低应力类金刚石薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN110106470B

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN201910348527.6

    申请日:2019-04-28

    Abstract: 本发明涉及一种低应力类金刚石薄膜的制备方法。本发明的目的是要在保证DLC薄膜的光学透过率及硬度的基础上,减小其应力。所提供的技术方案是:一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法,是在DLC及介质薄膜的表面形成具有闭环的磁通路,且使闭环的磁通量具有最大的梯度。所提供的装置包括导磁外框,在外框内设置有一对永磁铁,第一永磁铁和第二永磁铁,第一永磁铁和第二永磁铁的距离可调。利用本发明的方法,对于DLC薄膜可以将损伤阈值从0.57 J/cm2提高到1.23 J/cm2。对于介质薄膜,可以使激光损伤面积减少50%左右。

    一种用于服装中的兼具定位和直流低压加热功能的装置

    公开(公告)号:CN109463816A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201811170374.2

    申请日:2018-10-09

    Abstract: 本发明涉及服装技术领域,具体涉及一种用于服装中的兼具定位和直流低压加热功能的装置。本发明装置包括GPS/北斗双模定位模块;所述的GPS/北斗双模定位模块、数码显示模块、无线收发模块、温度控制模块、温度传感模块分别与嵌入式模块连接,所述的无线收发模块与远程的APP连接,温度控制模块分别控制若干个加热点,温度传感模块与温度传感器连接,所述的GPS/北斗双模定位模块与电源检测及切换模块连接,所述的GPS/北斗双模定位模块、电源检测及切换模块、嵌入式模块分别通过电源模块供电。其在传统服装的基础上,提供加热和定位功能,可以实现智能测温、自动控温、主动获取位置信息等功能,从而为低温危险环境下的作业人员提供更好的恒温环境和安全保障。

    一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置和方法

    公开(公告)号:CN109898069B

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN201910322314.6

    申请日:2019-04-22

    Abstract: 本发明涉及一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置和方法。本发明的目的是要在具有金属微孔结构的产品内进行均匀、高效的类金刚石薄膜的沉积。所提供的技术方案是:一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置,包括真空室、微波源、等离子体源和基座,基座上设置有样品台,样品台上设置有固定座,固定座一侧设置有安装板,安装板上固定有喷嘴装置。沉积方法为:将带有金属微孔的样品放入固定座内,金属微孔与喷嘴装置的金属喷头同轴设置,在金属喷头施加负偏压,样品与电源正极相连通,在给定的工艺参数条件下,采用微波激励的高密度等离子体辅助气相沉积。本发明可在金属微孔内成功沉积DLC薄膜,为提高金属微孔耐磨特性提供了新的方法。

    一种低应力类金刚石薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN110106470A

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201910348527.6

    申请日:2019-04-28

    Abstract: 本发明涉及一种低应力类金刚石薄膜的制备方法。本发明的目的是要在保证DLC薄膜的光学透过率及硬度的基础上,减小其应力。所提供的技术方案是:一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法,是在DLC及介质薄膜的表面形成具有闭环的磁通路,且使闭环的磁通量具有最大的梯度。所提供的装置包括导磁外框,在外框内设置有一对永磁铁,第一永磁铁和第二永磁铁,第一永磁铁和第二永磁铁的距离可调。利用本发明的方法,对于DLC薄膜可以将损伤阈值从0.57 J/cm2提高到1.23 J/cm2。对于介质薄膜,可以使激光损伤面积减少50%左右。

    一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置和方法

    公开(公告)号:CN109898069A

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201910322314.6

    申请日:2019-04-22

    Abstract: 本发明涉及一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置和方法。本发明的目的是要在具有金属微孔结构的产品内进行均匀、高效的类金刚石薄膜的沉积。所提供的技术方案是:一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置,包括真空室、微波源、等离子体源和基座,基座上设置有样品台,样品台上设置有固定座,固定座一侧设置有安装板,安装板上固定有喷嘴装置。沉积方法为:将带有金属微孔的样品放入固定座内,金属微孔与喷嘴装置的金属喷头同轴设置,在金属喷头施加负偏压,样品与电源正极相连通,在给定的工艺参数条件下,采用微波激励的高密度等离子体辅助气相沉积。本发明可在金属微孔内成功沉积DLC薄膜,为提高金属微孔耐磨特性提供了新的方法。

    一种减小光学窗口用四面体非晶碳膜残余应力的方法

    公开(公告)号:CN107841711A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201711067629.8

    申请日:2017-11-03

    CPC classification number: C23C14/0605 C23C14/345 C23C14/3492

    Abstract: 本发明涉及一种减小光学窗口用四面体非晶碳膜残余应力的方法,将准备好的基片迅速放入真空室的基底夹具上,工作气体为氩气其纯度99.999%;所述真空室通过机械泵和分子泵抽到真空度为5.0×10-4Pa;打开氩气阀门,流量为15sccm,控制真空度为5.0×10-2Pa;设置基底偏压-150V,使用微波辅助激励源产生等离子体,对基片进行溅射清洗;清洗过程控制时间2分钟;然后静置5分钟冷却基底,循环5次,实际溅射清洗时间10分钟,全部清洗工艺费时35分钟;清洗完毕后,通过靶材对基片进行薄膜沉积,同时通过调节基底偏压、磁路偏压和氩气流量完成对薄膜沉积形成的四面体非晶碳膜的应力调控。

    一种提高玻璃基底发热涂层工作稳定性的方法

    公开(公告)号:CN110028252B

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN201910430409.X

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明涉及一种提高玻璃基底发热涂层工作稳定性的方法。本发明的目的是要在保证石英玻璃良好的辐射效率基础上,提高它的热稳定性。所提供的技术方案是:首先使用等离子体预辐照石英玻璃基底,在石英基底表面形成微孔,然后在其表面涂覆发热涂层浆料,在含氮气氛围内低温烘烤半小时,最后,均匀涂覆一层或多层正常浓度的发热涂层浆料,烘干处理半小时。本发明增大了浆料与基底的接触面积,处理后的基底材料,不会改变石英玻璃的宏观光学特性,而且热辐射效率提升30%,制备方法操作简单、可靠、易于工业化大规模实现。

    一种减小光学窗口用四面体非晶碳膜残余应力的方法

    公开(公告)号:CN107841711B

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201711067629.8

    申请日:2017-11-03

    Abstract: 本发明涉及一种减小光学窗口用四面体非晶碳膜残余应力的方法,将准备好的基片迅速放入真空室的基底夹具上,工作气体为氩气其纯度99.999%;所述真空室通过机械泵和分子泵抽到真空度为5.0×10‑4Pa;打开氩气阀门,流量为15sccm,控制真空度为5.0×10‑2Pa;设置基底偏压‑150V,使用微波辅助激励源产生等离子体,对基片进行溅射清洗;清洗过程控制时间2分钟;然后静置5分钟冷却基底,循环5次,实际溅射清洗时间10分钟,全部清洗工艺费时35分钟;清洗完毕后,通过靶材对基片进行薄膜沉积,同时通过调节基底偏压、磁路偏压和氩气流量完成对薄膜沉积形成的四面体非晶碳膜的应力调控。

    一种提高玻璃基底发热涂层工作稳定性的方法

    公开(公告)号:CN110028252A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201910430409.X

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明涉及一种提高玻璃基底发热涂层工作稳定性的方法。本发明的目的是要在保证石英玻璃良好的辐射效率基础上,提高它的热稳定性。所提供的技术方案是:首先使用等离子体预辐照石英玻璃基底,在石英基底表面形成微孔,然后在其表面涂覆发热涂层浆料,在含氮气氛围内低温烘烤半小时,最后,均匀涂覆一层或多层正常浓度的发热涂层浆料,烘干处理半小时。本发明增大了浆料与基底的接触面积,处理后的基底材料,不会改变石英玻璃的宏观光学特性,而且热辐射效率提升30%,制备方法操作简单、可靠、易于工业化大规模实现。

    一种家用的便携式多功能智能药盒

    公开(公告)号:CN207871141U

    公开(公告)日:2018-09-18

    申请号:CN201720329816.8

    申请日:2017-03-31

    Abstract: 本实用新型涉及医药技术领域,具体涉及一种家用的便携式多功能智能药盒。其能自动监控老人的身体状况和服药情况,并在第一时间发送给子女。本实用新型的技术方案包括药盒本体,所述的药盒本体上设置有药盒主机,所述的药盒主机内设置有药盒主机微控制器,以及分别与药盒主机微控制器相连的GSM模块、人体红外感应模块、红外测温模块、血压心率测量模块、存储模块、语音模块和按键模块;所述药盒本体内设置有药盒本体微控制器,以及与药盒本体微控制器相连的灯光控制模块和电源模块,药盒本体内设置有药格以及可滑动的盖子,每一个药格的下面设置有称重传感器,所述的药盒主机微控制器与药盒本体微控制器之间通过无线模块连接。

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