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公开(公告)号：CN107326360A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710572249.3
申请日：2017-07-13
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: C23C28/34 , C23C8/36 , C23C14/0617 , C23C14/185 , C23C14/35 , C23C14/48 , C23C28/322
Abstract: 本发明公开了一种纳米多层梯度复合的抗冲蚀涂层结构，从基体到涂层表面，所述涂层结构依次含有渗氮层、“嵌入式结合层”以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层和TiN/Ti纳米多层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述涂层结构的制备方法：通过表面渗氮，使基体表面及亚表面的材料属性与涂层材料相似，以缓解膜基交界处的应力集中现象；采用金属真空蒸汽离子源注入方法，对渗氮后的基体表面进行离子注入，形成“嵌入式结合层”；在结合层之上，采用磁过滤真空阴极弧沉积方法，通过连续控制输入的N2流量，沉积由Ti金属层、Ti→TiN梯度层以及TiN/Ti纳米多层依次组成的周期性循环结构。所述纳米梯度多层复合涂层结构兼具了高硬度、高韧性以及优良的膜基结合力，从而具有很好的抗冲蚀性能。
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公开(公告)号：CN107326361A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710572256.3
申请日：2017-07-13
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: C23C28/322 , C23C14/0617 , C23C14/14 , C23C14/325 , C23C14/35 , C23C14/48 , C23C14/54 , C23C28/34
Abstract: 本发明公开了具有高抗砂尘冲蚀性能的梯度多层复合涂层结构，所述涂层结构集离子注入结构、梯度结构和多层结构于一体，从基体到涂层表面依次含有离子注入结合层以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层和TiN→Ti梯度层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述复合涂层结构的制备方法：采用金属真空蒸汽离子源注入方法在基体表面进行离子注入，形成离子注入结合层；在结合层之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法，通过连续控制输入的N2流量，依次循环地沉积由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层以及TiN→Ti梯度层组成的结构。该梯度多层复合涂层结构兼具有较高的硬度和良好的膜基结合强度，适用于航空发动机压气机叶片的砂尘防护。
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公开(公告)号：CN107326360B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201710572249.3
申请日：2017-07-13
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米多层梯度复合的抗冲蚀涂层结构，从基体到涂层表面，所述涂层结构依次含有渗氮层、“嵌入式结合层”以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层和TiN/Ti纳米多层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述涂层结构的制备方法：通过表面渗氮，使基体表面及亚表面的材料属性与涂层材料相似，以缓解膜基交界处的应力集中现象；采用金属真空蒸汽离子源注入方法，对渗氮后的基体表面进行离子注入，形成“嵌入式结合层”；在结合层之上，采用磁过滤真空阴极弧沉积方法，通过连续控制输入的N2流量，沉积由Ti金属层、Ti→TiN梯度层以及TiN/Ti纳米多层依次组成的周期性循环结构。所述纳米梯度多层复合涂层结构兼具了高硬度、高韧性以及优良的膜基结合力，从而具有很好的抗冲蚀性能。
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公开(公告)号：CN107326361B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201710572256.3
申请日：2017-07-13
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了具有高抗砂尘冲蚀性能的梯度多层复合涂层结构，所述涂层结构集离子注入结构、梯度结构和多层结构于一体，从基体到涂层表面依次含有离子注入结合层以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层和TiN→Ti梯度层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述复合涂层结构的制备方法：采用金属真空蒸汽离子源注入方法在基体表面进行离子注入，形成离子注入结合层；在结合层之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法，通过连续控制输入的N2流量，依次循环地沉积由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层以及TiN→Ti梯度层组成的结构。该梯度多层复合涂层结构兼具有较高的硬度和良好的膜基结合强度，适用于航空发动机压气机叶片的砂尘防护。
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