-
公开(公告)号：CN107452711B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN201710556412.7
申请日：2013-12-16
Applicant: 英特尔公司
IPC: H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/768 , H01L23/485
Abstract: 本发明描述了包括钴的金属互连和形成包括钴的金属互连的方法。在实施例中，包括钴的金属互连包括设置在衬底上的电介质层、形成在所述电介质层中以使所述衬底被露出的开口。实施例还包括设置在所述衬底之上的晶种层、以及形成在所述开口内和所述晶种层的表面上的包括钴的填充材料。
-
公开(公告)号：CN104813446B
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201380062154.7
申请日：2013-12-16
Applicant: 英特尔公司
IPC: H01L21/28
CPC classification number: H01L21/76841 , H01L21/288 , H01L21/76843 , H01L21/76847 , H01L21/76871 , H01L21/76877 , H01L21/76879 , H01L21/76883 , H01L23/485 , H01L23/5226 , H01L23/53261 , H01L23/53266 , H01L23/53295 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明描述了包括钴的金属互连和形成包括钴的金属互连的方法。在实施例中，包括钴的金属互连包括设置在衬底上的电介质层、形成在所述电介质层中以使所述衬底被露出的开口。实施例还包括设置在所述衬底之上的晶种层、以及形成在所述开口内和所述晶种层的表面上的包括钴的填充材料。
-
公开(公告)号：CN104813446A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380062154.7
申请日：2013-12-16
Applicant: 英特尔公司
IPC: H01L21/28
CPC classification number: H01L21/76841 , H01L21/288 , H01L21/76843 , H01L21/76847 , H01L21/76871 , H01L21/76877 , H01L21/76879 , H01L21/76883 , H01L23/485 , H01L23/5226 , H01L23/53261 , H01L23/53266 , H01L23/53295 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明描述了包括钴的金属互连和形成包括钴的金属互连的方法。在实施例中，包括钴的金属互连包括设置在衬底上的电介质层、形成在所述电介质层中以使所述衬底被露出的开口。实施例还包括设置在所述衬底之上的晶种层、以及形成在所述开口内和所述晶种层的表面上的包括钴的填充材料。
-
公开(公告)号：CN107452711A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710556412.7
申请日：2013-12-16
Applicant: 英特尔公司
IPC: H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/768 , H01L23/485
CPC classification number: H01L21/76841 , H01L21/288 , H01L21/76843 , H01L21/76847 , H01L21/76871 , H01L21/76877 , H01L21/76879 , H01L21/76883 , H01L23/485 , H01L23/5226 , H01L23/53261 , H01L23/53266 , H01L23/53295 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明描述了包括钴的金属互连和形成包括钴的金属互连的方法。在实施例中，包括钴的金属互连包括设置在衬底上的电介质层、形成在所述电介质层中以使所述衬底被露出的开口。实施例还包括设置在所述衬底之上的晶种层、以及形成在所述开口内和所述晶种层的表面上的包括钴的填充材料。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.029 seconds)
