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公开(公告)号：CN117452594A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311669287.2
申请日：2023-12-07
Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开的一种立方体三色合光棱镜与微显示器贴合方法及系统，包括通过高倍物镜将LED发光平板和标记平板成像在传感器上，进行三个单色LED发光平板与XCube的贴合，在透光的标记平板表面上，采用被动发光的定制图案，创建三个单色LED发光平板的公共贴合基准；LED发光平板经过微投镜头和锥光镜头再次成像在传感器上，将对微投镜头与XCube对位贴合；通过MTF评价函数对贴合结果进行评价，并动态调整LED发光平板的位置与角度，获取最佳焦面位置进行点胶贴合。
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公开(公告)号：CN118280858A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410290337.4
申请日：2024-03-14
Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开的一种晶圆隐裂缺陷检测方法，包括棱镜相机；棱镜相机下方设置有显微成像系统，显微成像系统一侧设置有照明系统，照明系统一侧设置有时间调制照明器；显微成像系统底部设置有物面；时间调制照明器端部设置有光纤头，光纤头端部设置有滤色轮；通过采用特殊定制的时间调制照明器，不同打光方位角的光线进行颜色编码，同时结合成像系统的定制视场光阑，完成因隐裂缺陷所致的晶圆上表面不同倾斜角度的检测，实现对晶圆隐裂缺陷检测。
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公开(公告)号：CN119804461A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411974116.5
申请日：2024-12-30
Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种快速检测产品六面外观的方法，采用四检测工位或三检测工位的设计对产品六面外观进行检测，由检测工位一对产品的正面进行检测，检测工位二对产品的四个侧面进行检测或配合检测工位四对四个侧面进行检测，检测工位三对产品的背面进行检测，各检测工位独立设置且可独立使用，可为复杂的光源系统提供布置空间，可提高2D检测的精度，也可增加3D检测，进而提升光学系统的检测能力，其中，四个侧面采用飞拍技术配合第一棱镜、第二棱镜，检测速度快。
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公开(公告)号：CN119534339A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411662902.1
申请日：2024-11-20
Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于元件表面液体的光学检测装置及检测方法，光学采集装置包括条纹投射光源、第一远心镜头、中间成像面、检测工位、第二远心镜头、黑白相机，条纹投射光源用于投射高对比度条纹光线，第一远心镜头用于将条纹光线进行聚焦，中间成像面用于将条纹光线经过聚焦后投影出条纹图像；第二远心镜头用于将条纹光线经过待测元件反射后进行聚焦；黑白相机用于将条纹光线经过聚焦后生成条纹图像。本发明通过投射高对比度条纹在中间成像面上，高对比度条纹再经过待测元件反射后经由成像系统成像，然后引入全局光学传递函数实时表征MTF与表面液体的映射关系，可以实现工件表面液体有无及分布区域的非接触式实时监测。
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