公开(公告)号：CN118280858A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410290337.4

申请日：2024-03-14

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  黄海亭 ,  刘青函 ,  李强 ,  张华 ,  冯宇恒 ,  齐广亮

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/95 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明公开的一种晶圆隐裂缺陷检测方法，包括棱镜相机；棱镜相机下方设置有显微成像系统，显微成像系统一侧设置有照明系统，照明系统一侧设置有时间调制照明器；显微成像系统底部设置有物面；时间调制照明器端部设置有光纤头，光纤头端部设置有滤色轮；通过采用特殊定制的时间调制照明器，不同打光方位角的光线进行颜色编码，同时结合成像系统的定制视场光阑，完成因隐裂缺陷所致的晶圆上表面不同倾斜角度的检测，实现对晶圆隐裂缺陷检测。

公开(公告)号：CN220419198U

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202322109925.7

申请日：2023-08-07

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  马纪飞 ,  齐广亮 ,  张华 ,  黄辉

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/01 ,  G01B11/00

Abstract: 本实用新型公开的一种光伏顶齿外观检测设备，包括检测机台以及设置在检测机台顶部的导向架；检测机台顶部且位于导向架内侧并列设置有第一移动平台与第二移动平台；第一移动平台与第二移动平台上设置有若干个顶齿；第一移动平台一侧设置有第一单侧检测组件，第二移动平台一侧设置有第二单侧检测组件；第一移动平台与第二移动平台之间设置有双侧检测组件；通过设置两个单侧检测相机与一个双侧检测相机，并能够灵活调整相机位置，能够精准高效的对顶齿进行外观检测，进而避免因顶齿碎裂，导致的太阳能晶片无法摆放或晶片滑落。