公开(公告)号：CN119804461A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202411974116.5

申请日：2024-12-30

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  刘青函 ,  刘建洋 ,  黄海亭 ,  张华

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种快速检测产品六面外观的方法，采用四检测工位或三检测工位的设计对产品六面外观进行检测，由检测工位一对产品的正面进行检测，检测工位二对产品的四个侧面进行检测或配合检测工位四对四个侧面进行检测，检测工位三对产品的背面进行检测，各检测工位独立设置且可独立使用，可为复杂的光源系统提供布置空间，可提高2D检测的精度，也可增加3D检测，进而提升光学系统的检测能力，其中，四个侧面采用飞拍技术配合第一棱镜、第二棱镜，检测速度快。

公开(公告)号：CN118280858A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410290337.4

申请日：2024-03-14

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  黄海亭 ,  刘青函 ,  李强 ,  张华 ,  冯宇恒 ,  齐广亮

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/95 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明公开的一种晶圆隐裂缺陷检测方法，包括棱镜相机；棱镜相机下方设置有显微成像系统，显微成像系统一侧设置有照明系统，照明系统一侧设置有时间调制照明器；显微成像系统底部设置有物面；时间调制照明器端部设置有光纤头，光纤头端部设置有滤色轮；通过采用特殊定制的时间调制照明器，不同打光方位角的光线进行颜色编码，同时结合成像系统的定制视场光阑，完成因隐裂缺陷所致的晶圆上表面不同倾斜角度的检测，实现对晶圆隐裂缺陷检测。

公开(公告)号：CN117571744A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311686934.0

申请日：2023-12-11

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  刘青函 ,  刘建洋 ,  李岩

IPC: G01N21/958

Abstract: 本发明公开的一种用于盖板玻璃双表面缺陷光学检测方法，包括开启同轴光源，通过相机对下方的盖板玻璃进行拍照，得到玻璃图像；通过分析玻璃图像得到缺陷平面位置；依次调整玻璃盖板不同方向的分区光源，分析缺陷是否有阴影，得到同一缺陷对应的周边缺陷阴影；基于缺陷阴影与缺陷之间投影形状相似性，利用AI算法分析判断缺陷阴影与缺陷之间的从属关系；通过图像获取缺陷阴影与缺陷之间的相对偏移，根据结构光三角原理，计算缺陷所属的高度，进行缺陷分层；利用多方位角的打光技术，实现盖板玻璃上、下表面缺陷分层检测，对于玻璃上表面轻微划伤、灰尘、脏污等缺陷具有较好的检测效果。

公开(公告)号：CN117452594A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311669287.2

申请日：2023-12-07

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  刘青函 ,  黄海亭 ,  李岩

IPC: G02B7/18 ,  G09F9/33

Abstract: 本发明公开的一种立方体三色合光棱镜与微显示器贴合方法及系统，包括通过高倍物镜将LED发光平板和标记平板成像在传感器上，进行三个单色LED发光平板与XCube的贴合，在透光的标记平板表面上，采用被动发光的定制图案，创建三个单色LED发光平板的公共贴合基准；LED发光平板经过微投镜头和锥光镜头再次成像在传感器上，将对微投镜头与XCube对位贴合；通过MTF评价函数对贴合结果进行评价，并动态调整LED发光平板的位置与角度，获取最佳焦面位置进行点胶贴合。

公开(公告)号：CN119780101A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411974114.6

申请日：2024-12-30

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  刘建洋 ,  林泽森 ,  刘青函 ,  李春凯

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种产品多面外观视觉检测系统及检测方法，检测系统包括基座、横向设置在基座上的横梁、可移动设置在横梁上的移动座、设置在移动座上用于吸附夹持产品的夹持装置、设置在基座上用于检测产品背面外观的第一视觉检测装置、与第一视觉检测装置垂直布置位于第一视觉检测装置一侧的第二视觉检测装置和设置在横梁上连接并驱动移动座移动的横向驱动机构，夹持装置吸附夹持产品移动至其底面与第一视觉检测装置相对，其一侧面与第二视觉检测装置相对；检测时，通过旋转电机带动旋转座多次90°旋转，依次对产品的四个侧面进行外观检测，操作简单，无需重新夹持产品更换测试面，整体设备占地空间小，适用于设备空间有效的场景使用。

公开(公告)号：CN119534339A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411662902.1

申请日：2024-11-20

Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司

Inventor： 刘曜轩 ,  冯安伟 ,  刘青函 ,  黄海亭 ,  嵇军

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种用于元件表面液体的光学检测装置及检测方法，光学采集装置包括条纹投射光源、第一远心镜头、中间成像面、检测工位、第二远心镜头、黑白相机，条纹投射光源用于投射高对比度条纹光线，第一远心镜头用于将条纹光线进行聚焦，中间成像面用于将条纹光线经过聚焦后投影出条纹图像；第二远心镜头用于将条纹光线经过待测元件反射后进行聚焦；黑白相机用于将条纹光线经过聚焦后生成条纹图像。本发明通过投射高对比度条纹在中间成像面上，高对比度条纹再经过待测元件反射后经由成像系统成像，然后引入全局光学传递函数实时表征MTF与表面液体的映射关系，可以实现工件表面液体有无及分布区域的非接触式实时监测。