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公开(公告)号：CN119534339A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411662902.1
申请日：2024-11-20
Applicant: 苏州威达智科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于元件表面液体的光学检测装置及检测方法，光学采集装置包括条纹投射光源、第一远心镜头、中间成像面、检测工位、第二远心镜头、黑白相机，条纹投射光源用于投射高对比度条纹光线，第一远心镜头用于将条纹光线进行聚焦，中间成像面用于将条纹光线经过聚焦后投影出条纹图像；第二远心镜头用于将条纹光线经过待测元件反射后进行聚焦；黑白相机用于将条纹光线经过聚焦后生成条纹图像。本发明通过投射高对比度条纹在中间成像面上，高对比度条纹再经过待测元件反射后经由成像系统成像，然后引入全局光学传递函数实时表征MTF与表面液体的映射关系，可以实现工件表面液体有无及分布区域的非接触式实时监测。
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