用于确定传感器值的时间序列中的至少一个变化点的方法

    公开(公告)号:CN119884989A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202411463221.2

    申请日:2024-10-18

    Abstract: 本发明涉及一种用于确定在传感器值的时间序列中的至少一个变化点的方法,其中所述方法(1)包括以下步骤:‑提供传感器值的时间序列并将所述传感器值的时间序列划分到至少一个评估窗中(2);‑对于所述至少一个评估窗中的每个,分别确定在对应的评估窗中包含的传感器值的至少两个不同特征(3);‑对于所述至少一个评估窗中的每个,基于在对应的评估窗中包含的传感器值的至少两个不同特征,分别确定在对应的评估窗中包含的传感器值是否具有至少一个变化点(4);以及‑提供关于所确定的变化点的信息(5)。

    晶圆上的半导体构件的位置重建的不确定性估计

    公开(公告)号:CN118749070A

    公开(公告)日:2024-10-08

    申请号:CN202380023392.0

    申请日:2023-02-06

    Abstract: 本发明涉及一种用于估计分配规则的不确定性的方法,该分配规则将来自第一参量的第一集合中的第一参量分配给来自第二参量的第二集合中的第二参量,该方法包括如下步骤:确定利用该分配规则来训练的机器学习系统的不准确度,其中,借助于通过机器学习系统根据第一参量所预测的第二参量与按照该分配规则被分配给这些第一参量的第二参量之差,确定这些不准确度。根据所确定的不准确度来确定协方差矩阵。确定似然矩阵,并且通过将似然矩阵的值除以相对应的列总和,对该似然矩阵进行归一化。

    确定不同生产过程中的测量值之间的相关性的方法和装置

    公开(公告)号:CN117391486A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202310841635.3

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 用于确定分别在不同生产步骤之后的第一测量值和第二测量值之间的相关性以优化生产步骤的方法,包括以下步骤:多次重复(S12)以下步骤从测量值集合(O)中抽取(S13)随机样本,并计算(S14)随机抽取的样本中所包含的第一和第二测量值之间的相关性矩阵(C_i)。在所述重复(S12)已结束后,通过相关性矩阵(C_i)而确定平均相关性矩阵(C_m)和确定相关性矩阵的标准方差矩阵(C_σ)。然后,借助以逐个元素的方式将所述平均相关性矩阵(C_m)的绝对值除以所述标准方差矩阵(C_σ)的绝对值而确定(S17)显著性值。可以根据这些显著性值而适配生产步骤之一。

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