介质涂覆设备
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111432942A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201880079078.3

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明涉及一种介质涂覆设备、尤其是颜料涂覆设备,该介质涂覆设备具有用于将至少一个介质输出到至少一个表面(14a;14b;14c;14d)上的至少一个介质输出单元(12a;12b;12c;12d;12e)和至少用于控制和/或调节所述至少一个介质输出单元(12a;12b;12c;12d;12e)的至少一个电子部件单元(16a;16b;16c;16d;16e)。本发明提出,设有至少一个位置和/或表面传感器单元(18a;18c;18d;18e),该位置和/或表面传感器单元设置成用于,感测所述介质输出单元(12a;12c;12d;12e)相对于所述表面(14a;14b;14c;14d)的至少一个位置和/或定向,所述电子部件单元(16a;16c;16d;16e)根据该位置和/或定向控制和/或调节所述介质输出单元(12a;12b;12c;12d;12e)。

    用于制造具有带有熔化封闭部的腔的微机械设备的方法

    公开(公告)号:CN118458684A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410167606.8

    申请日:2024-02-06

    Abstract: 用于制造具有带有熔化封闭部的腔的微机械设备的方法,其具有以下步骤:提供在内侧具有微机械功能层的MEMS衬底,内侧界定腔;将氧化物层结构化成氧化物掩模,其在MEMS衬底外侧具有第一直径的至少一个第一凹空;将抗蚀剂掩模施加到氧化物掩模和第一凹空上;将具有第二横截面的第二凹空引入到第一凹空的区域中的抗蚀剂掩模中;通过第二凹空将第一沟槽引入到MEMS衬底中直至第一深度;去除抗蚀剂掩模;通过第一凹空将第二沟槽引入到MEMS衬底中直至第二深度,同时将第一沟槽加深成至少穿过微机械衬底直至内侧;在腔中的期望压力下设定期望的气体成分;通过使围绕第一沟槽的MEMS衬底的衬底材料熔化,用熔化塞来封闭第一沟槽。

    工具机
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104582908A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201380044435.X

    申请日:2013-08-12

    Inventor: R·舒勒 T·迪尔

    CPC classification number: B25F5/001 B25F5/02

    Abstract: 本发明涉及一种工具机、特别是便携式工具机,其具有至少一个耦合装置(12a;12b)、至少一个传动单元(20a;20b)和至少一个马达单元(22a;22b),所述用于耦合装置耦合包括至少一个切割链(14a;14b)和至少一个引导单元(16a;16b)的工具机分离装置(18a;18b),所述马达单元用于对工具机分离装置(18a;18b)在布置在耦合装置(12a;12b)上的状态中进行驱动。本发明提出,传动单元(20a;20b)构造为多级的角度传动装置,所述角度传动装置包括至少一个从动轴(24a;24b),所述从动轴具有相对于马达单元(22a;22b)的马达单元纵轴线(26a;26b)成90°布置的从动轴线(28a;28b)。

    介质涂覆设备
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111432942B

    公开(公告)日:2023-03-10

    申请号:CN201880079078.3

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明涉及一种介质涂覆设备、尤其是颜料涂覆设备,该介质涂覆设备具有用于将至少一个介质输出到至少一个表面(14a;14b;14c;14d)上的至少一个介质输出单元(12a;12b;12c;12d;12e)和至少用于控制和/或调节所述至少一个介质输出单元(12a;12b;12c;12d;12e)的至少一个电子部件单元(16a;16b;16c;16d;16e)。本发明提出,设有至少一个位置和/或表面传感器单元(18a;18c;18d;18e),该位置和/或表面传感器单元设置成用于,感测所述介质输出单元(12a;12c;12d;12e)相对于所述表面(14a;14b;14c;14d)的至少一个位置和/或定向,所述电子部件单元(16a;16c;16d;16e)根据该位置和/或定向控制和/或调节所述介质输出单元(12a;12b;12c;12d;12e)。

    介质涂覆设备
    5.
    发明公开
    介质涂覆设备 审中-实审

    公开(公告)号:CN111448002A

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201880079005.4

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明涉及一种介质涂覆设备、尤其是颜料涂覆设备,该介质涂覆设备具有用于将至少一个介质输出到至少一个表面(18a)上的至少一个介质输出单元(12a-12e;12g),该介质输出单元具有带着至少一个喷嘴元件(16a-16e;16g;16h;106c、108c、110c)的至少一个喷嘴单元(14a-14e;14g),并且该介质涂覆设备具有至少用于控制和/或调节所述介质输出单元(12a-12e;12g)的至少一个电子部件单元(20a;20b)。本发明提出,所述喷嘴元件(16a-16e;16g;16h;106c、108c、110c)的至少一个喷嘴参数是能调整和/或能校准的,和/或,所述喷嘴单元(14g)构造为振荡喷嘴单元、尤其构造为压电喷嘴单元。

    工具机
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104582908B

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201380044435.X

    申请日:2013-08-12

    Inventor: R·舒勒 T·迪尔

    CPC classification number: B25F5/001

    Abstract: 本发明涉及一种工具机、特别是便携式工具机,其具有至少一个耦合装置(12a;12b)、至少一个传动单元(20a;20b)和至少一个马达单元(22a;22b),所述用于耦合装置耦合包括至少一个切割链(14a;14b)和至少一个引导单元(16a;16b)的工具机分离装置(18a;18b),所述马达单元用于对工具机分离装置(18a;18b)在布置在耦合装置(12a;12b)上的状态中进行驱动。本发明提出,传动单元(20a;20b)构造为多级的角度传动装置,所述角度传动装置包括至少一个从动轴(24a;24b),所述从动轴具有相对于马达单元(22a;22b)的马达单元纵轴线(26a;26b)成90°布置的从动轴线(28a;28b)。

    介质涂覆设备
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111432941A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201880079120.1

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明基于一种介质涂覆设备,特别是颜料涂覆设备,其具有至少一个介质输出单元(12a;12b;12c),用于输出至少一种介质到至少一个表面(14a;14b;14c)上,具有至少一个电子单元(16a;16b;16c),至少用于控制和/或调节介质输出单元(12a;12b;12c)。在此提出,介质涂覆设备包括至少一个对象传感器单元(18a;18c),其设置用于检测至少一个对象特定的特征参量,电子单元(16a;16c)根据该特征参量控制和/或调节该至少一个介质输出单元(12a;12c)。

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