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公开(公告)号：CN105895555A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610082140.7
申请日：2016-02-05
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , B81C1/00 , H01L21/268 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/6719 , B23K26/1224 , B23K37/047 , B81C1/00 , H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/786 , H01L21/67011 , B81C1/00277 , B81C2201/0111 , B81C2900/00 , H01L21/67098
摘要： 一种用于加工衬底的设备(100)，所述设备具有：-至少一个真空腔室(10)，在所述至少一个真空腔室中能够调节限定的气压；-用于加热所述衬底的加热装置；以及-布置在所述真空腔室(10)之外的激光器装置(20)，其中，所述激光器装置(20)相对于所述衬底可运动，其中，借助所述激光器装置(20)能够通过熔化衬底材料封闭布置在所述真空腔室(10)中的衬底的至少一个空腔。
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公开(公告)号：CN106946220A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201611114277.2
申请日：2016-12-07
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81C1/00293 , B81B7/0077 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0315 , B81C2203/0136 , B81C2203/0145 , B81C2203/019 , B81B7/0041 , B81B2201/0292
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有衬底和与衬底连接的并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，‑在第四方法步骤中中，为了与衬底或罩的在第三方法步骤中转变到液态聚集态的材料区域混合，在进入开口区域中在衬底或罩的表面上沉积或者生长一个层。
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公开(公告)号：CN105895555B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201610082140.7
申请日：2016-02-05
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , B81C1/00 , H01L21/268 , H01L21/324
摘要： 一种用于加工衬底的设备(100)，所述设备具有：‑至少一个真空腔室(10)，在所述至少一个真空腔室中能够调节限定的气压；‑用于加热所述衬底的加热装置；以及‑布置在所述真空腔室(10)之外的激光器装置(20)，其中，所述激光器装置(20)相对于所述衬底可运动，其中，借助所述激光器装置(20)能够通过熔化衬底材料封闭布置在所述真空腔室(10)中的衬底的至少一个空腔。
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公开(公告)号：CN106946217A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201611107858.3
申请日：2016-12-06
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0127 , B81C1/00285 , B81C1/00293 , B81C2203/0109 , B81C2203/0145 , B81C2203/0172 , B81C1/00 , G01P3/00 , G01P15/00
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在基本上平行于衬底的主延伸平面走向并且布置在进入开口的基本上垂直于主延伸平面构造的区域的背离第一空穴的一侧上的第一平面和基本上平行于衬底的主延伸平面走向并且布置在进入开口的基本上垂直于主延伸平面构造的区域的面向第一空穴的一侧上的第二平面之间，进入开口通过衬底或罩的在第三方法步骤中过渡到液态聚集态的材料区域基本上完全被填充。
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公开(公告)号：CN106904569B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201611108181.5
申请日：2016-12-06
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00 , G01P15/08 , G01C19/5769 , B81B7/02 , B23K26/18
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，通过调节吸收部分的延伸尺度并且通过调节在吸收部分中的吸收强度以使在衬底或罩中出现的应力最小化，来进行能量或热量的引入。
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公开(公告)号：CN106904569A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201611108181.5
申请日：2016-12-06
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00 , G01P15/08 , G01C19/5769 , B81B7/02 , B23K26/18
CPC分类号： B81C1/00325 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C2203/0109 , B81C2203/0145 , B81C2203/0181 , B81C1/00015 , B23K26/18 , G01C19/5769 , G01P15/08
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，通过调节吸收部分的延伸尺度并且通过调节在吸收部分中的吸收强度以使在衬底或罩中出现的应力最小化，来进行能量或热量的引入。
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公开(公告)号：CN106892398A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201610935772.3
申请日：2016-10-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5733 , G01P15/08
CPC分类号： B81B7/0035 , B81B2201/0235 , B81C1/00182 , B81C1/00277 , B81C1/00293 , B81C1/00325 , B81C1/00666 , B81C2201/0132 , B81C2201/0143 , B81C2203/0109 , B81C2203/0145 , B81B7/02 , G01C19/5733 , G01P15/08
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有基底并且具有与基底连接并且与基底一起包围第一空腔的盖，其中，在第一空腔中存在第一压力并且包含有具有第一化学组成的第一混合气体，其中，在第一方法步骤中，在基底中或盖中构造将第一空腔与微机械构件的周围环境连接的进入开口，其中，在第二方法步骤中调整在第一空腔中的第一压力和/或第一化学组成，其中，在第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入到基底或盖的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，在第四方法步骤中，在进入开口区域中在基底的或盖的背离第一空腔的表面中构造槽口，用于降低在进入开口封闭的情况下出现的局部应力。
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