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公开(公告)号：CN106853956B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201611101906.8
申请日：2016-12-05
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有基底以及与所述基底连接并且与所述基底包围第一空腔的盖，其中，在第一空腔中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在基底中或者在盖中构造使第一空腔与微机械结构元件的周围环境连接的进口孔，其中，‑在第二方法步骤中，调节第一空腔中的第一压力和/或第一化学成分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热引入到基底或盖的吸收部分中来封闭进口孔，其中，在第四方法步骤中，将用于进一步调节第一压力和/或第一化学成分的反应气体引入到第一空腔中。
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公开(公告)号：CN107032297A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710032518.7
申请日：2017-01-16
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/0315 , B81C1/00285 , B81C1/00293 , B81C2201/0177 , B81C2203/0145 , B81C1/00 , B81C1/00341 , B81C1/0038 , G01P15/08
摘要： 本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，第二方法步骤中，调节第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入衬底或罩的吸收部分来封闭进入开口，其特征在于，第四方法步骤中，第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层在衬底或罩表面上沉积或生长，其中，在第五方法步骤中，将空隙引入到衬底或罩中，用于接收第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层。
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公开(公告)号：CN108367911B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN201680071569.4
申请日：2016-10-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件周围环境的进入开口，其中，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在第四方法步骤中，实施衬底或罩的热处理以减小在衬底或罩中的温度梯度。
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公开(公告)号：CN106946219A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201611114288.0
申请日：2016-12-07
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C1/00293 , B81C2203/0145 , G01P15/0802 , B81B7/02
摘要： 本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，‑第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，‑第二方法步骤中，调节第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，‑第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入衬底或罩的吸收部分来封闭进入开口，其特征在于，‑第四方法步骤中，第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层在衬底或罩表面上沉积或生长，‑第五方法步骤中，提供包括第二晶体层和/或第二无定型层和/或纳米晶体层和/或第二多晶体层的衬底或者罩。
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公开(公告)号：CN106853956A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201611101906.8
申请日：2016-12-05
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5783 , G01P15/0802 , B81C1/00293 , B81B2203/0315 , B81C1/00119 , B81C2203/0145 , B81C2203/019 , G01P3/42 , G01P15/08
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有基底以及与所述基底连接并且与所述基底包围第一空腔的盖，其中，在第一空腔中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在基底中或者在盖中构造使第一空腔与微机械结构元件的周围环境连接的进口孔，其中，‑在第二方法步骤中，调节第一空腔中的第一压力和/或第一化学成分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热引入到基底或盖的吸收部分中来封闭进口孔，其中，在第四方法步骤中，将用于进一步调节第一压力和/或第一化学成分的反应气体引入到第一空腔中。
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公开(公告)号：CN107032297B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201710032518.7
申请日：2017-01-16
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，第二方法步骤中，调节第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入衬底或罩的吸收部分来封闭进入开口，其特征在于，第四方法步骤中，第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层在衬底或罩表面上沉积或生长，其中，在第五方法步骤中，将空隙引入到衬底或罩中，用于接收第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层。
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公开(公告)号：CN107032295A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201611113123.1
申请日：2016-12-07
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81B7/0051 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81C1/00325 , B81C2201/0167 , B81C2203/0145 , B81C1/00293 , B81B7/0041 , B81B2201/0292
摘要： 本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，微机械结构元件具有基底和与基底连接并与基底包围一第一空腔的盖，其中，在第一空腔中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在基底中或者在盖中构造使第一空腔与微机械结构元件的周围环境连接的进口孔，其中，在第二方法步骤中，调节第一空腔中的第一压力和/或第一化学成分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热导入到基底或盖的吸收部分中来封闭进口孔，其中，在第四方法步骤中，在基底的或盖的表面上在进口孔的区域中沉积或生长一个层，用于产生第二机械应力，所述第二机械应力反作用于在进口孔被封闭的情况下产生的第一机械应力。
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公开(公告)号：CN106892398A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201610935772.3
申请日：2016-10-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5733 , G01P15/08
CPC分类号： B81B7/0035 , B81B2201/0235 , B81C1/00182 , B81C1/00277 , B81C1/00293 , B81C1/00325 , B81C1/00666 , B81C2201/0132 , B81C2201/0143 , B81C2203/0109 , B81C2203/0145 , B81B7/02 , G01C19/5733 , G01P15/08
摘要： 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有基底并且具有与基底连接并且与基底一起包围第一空腔的盖，其中，在第一空腔中存在第一压力并且包含有具有第一化学组成的第一混合气体，其中，在第一方法步骤中，在基底中或盖中构造将第一空腔与微机械构件的周围环境连接的进入开口，其中，在第二方法步骤中调整在第一空腔中的第一压力和/或第一化学组成，其中，在第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入到基底或盖的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，在第四方法步骤中，在进入开口区域中在基底的或盖的背离第一空腔的表面中构造槽口，用于降低在进入开口封闭的情况下出现的局部应力。
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公开(公告)号：CN106946219B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201611114288.0
申请日：2016-12-07
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，‑第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，‑第二方法步骤中，调节第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，‑第三方法步骤中，通过借助激光将能量或热量引入衬底或罩的吸收部分来封闭进入开口，其特征在于，‑第四方法步骤中，第一晶体层或第一无定型层或第一纳米晶体层或第一多晶体层在衬底或罩表面上沉积或生长，‑第五方法步骤中，提供包括第二晶体层和/或第二无定型层和/或纳米晶体层和/或第二多晶体层的衬底或者罩。
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