-
公开(公告)号：CN112325870B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010737300.3
申请日：2020-07-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽照夫
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了陀螺仪传感器、电子设备及移动体，陀螺仪传感器具有：基板(2)；固定部(48)，固定在基板(2)上；驱动部(40)，沿与基板(2)的主面(23)平行的X轴进行驱动；质量部(41)，与驱动部(40)连接，沿第一轴位移；检测部(45)，与质量部(41)连接，能够绕与X轴交叉的Z轴转动，并且能够通过作用于与基板(2)水平的转动运动的科里奥利力而沿Z轴位移；以及弹性部(47)，连接检测部(45)与固定部(48)，固定部(48)在俯视观察时配置在检测部(45)的重心(G)与质量部(41)之间。
-
公开(公告)号：CN107990885B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201710906663.3
申请日：2017-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5747 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于，具有：基板；固定部，其被固定在所述基板上；驱动部，其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动；质量部，其与所述驱动部连接，并沿着所述第一方向进行位移；检测部，其被包含在所述质量部中，且通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移；以及弹性部，其对所述质量部和所述固定部进行连接，所述弹性部的外周面具有主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面，所述连接面具有曲面状的曲面部。
-
公开(公告)号：CN113899354A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202110764282.2
申请日：2021-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。
-
公开(公告)号：CN107063225A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201610936407.4
申请日：2016-10-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽照夫
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5769 , B81B7/00
Abstract: 本发明提供一种端子与线状配线的连接强度优异的电子装置、电子装置的制造方法、电子设备以及移动体。电子装置(1)具有：基板(4)；功能元件片(6)，其被配置在基板(4)上；端子(7)，其被配置在基板(4)上，且与功能元件片(6)电连接；接合引线(BW1)，其与端子(7)连接，其中，端子(7)在与接合引线(BW1)连接的连接部上具有与接合引线(BW1)进行合金化的合金部(70)，端子(7)的厚度(T1)与合金部(70)的厚度(T2)相比而较厚。此外，端子(7)由与功能元件片(6)相同的材料(硅)构成。
-
公开(公告)号：CN104931033A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510126085.2
申请日：2015-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽照夫
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 本发明提供一种振动元件、电子设备、以及移动体，所述振动元件提高了物理量的检测精度。在将互相正交的两个轴设为第一轴以及第二轴、将与包括所述第一轴与所述第二轴的平面正交的轴设为第三轴时，振动元件(1)具备质量体，所述质量体包括支承部(130)；第一位移部(110)以及第二位移部(120)，其经由梁部(115、125)而以能够以所述第一轴为中心而旋转的方式被连接在支承部(130)上，并沿着所述第二轴的方向而延伸，第一位移部(110)以及第二位移部(120)被设置于所述质量体的一方与另一方上，并且互相对置的自由端(112、122)通过连结部(140)而被连接。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104655875A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410676315.8
申请日：2014-11-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽照夫
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/097 , G01C19/5733
Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备、以及移动体。功能元件具备：驱动部；第一质量部，其能够在第一方向上进行移动；第一连结部，其与第一质量部相连接，并能够在第一方向上进行伸缩；第二连结部，其与第一连结部相连接，并被形成在与第一方向交叉的第二方向上；第二质量部，其与第二连结部相连接，第二质量部能够以第二连结部的轴心为旋转轴而进行旋转。
-
公开(公告)号：CN103359679A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310113162.1
申请日：2013-04-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽照夫
CPC classification number: H05K5/069 , B81B7/0041 , B81B7/02 , B81C2203/0145 , G01C19/5719 , G01C19/5747 , G01P15/097 , G01P15/125 , H05K13/00 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及一种电子装置及其制造方法、电子设备以及移动体。本发明所涉及的电子装置包括：基体；盖体，其被载置于所述基体上；第一功能元件，其被设置于由所述基体和所述盖体包围而成的第一空腔内；第二功能元件，其被设置于由所述基体和所述盖体包围而成的第二空腔内，所述第一空腔内以第一气压气氛被密封，所述第二空腔内以与所述第一气压气氛存在气压差的第二气压气氛被密封，在所述基体和所述盖体中的至少一方上设置有第一贯穿孔，该第一贯穿孔与所述第一空腔连通，并被密封部件封堵，所述第一空腔以及所述第二空腔通过与所述盖体或所述基体一体地设置的隔壁部而被隔离。
-
公开(公告)号：CN101005085A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710001721.4
申请日：2007-01-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽照夫
IPC: H01L27/12 , H01L21/762 , H01L21/84
CPC classification number: H01L21/84 , H01L21/76283 , H01L27/1203 , H01L27/1207
Abstract: 以覆盖第一半导体层(13)的方式在半导体基板(11)上形成第二半导体层(14)，以覆盖第三半导体层(15)的方式在第二半导体层(14)上形成第四半导体层(17)，以覆盖第五半导体层(18)的方式在第四半导体层(17)上形成第六半导体层(20)之后，蚀刻去除第一半导体层(13)、第三半导体层(15)及第五半导体层(18)，在半导体基板(11)和第二半导体层(14)之间的空洞部(30a)形成埋入绝缘层(31a)，在第二半导体层(14)和第四半导体层(17)之间的空洞部(30b)形成埋入绝缘层(31b)，在第四半导体层(17)和第六半导体层(20)之间的空洞部(30c)形成埋入绝缘层(31c)。
-
公开(公告)号：CN111623760B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202010125887.2
申请日：2020-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 泷泽照夫
IPC: G01C19/56
Abstract: 本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；第一惯性传感器元件，设置于上述基板；盖，以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合；第一驱动信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及第一检测信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一检测信号端子是上述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，在俯视观察上述基板时，上述第一驱动信号端子与上述第一检测信号端子设置成之间隔着上述盖。
-
公开(公告)号：CN116621111A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310139332.7
申请日：2023-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法，能够避免伴随着可动体的质量不均匀性的不良情况。物理量传感器检测第三方向上的物理量，包括固定于基板的固定部、一端与固定部连接的支承梁以及可动体。可动体具有可动电极部以及框架部。在固定电极部设置有第一固定电极组和第二固定电极组。在可动电极部设置有第一可动电极组和第二可动电极组。而且，在第一可动电极组设置有向第三方向凹陷的第一凹部，在第二固定电极组设置有向第三方向凹陷的第二凹部，在框架部的第二可动电极组侧的区域设置有向第三方向凹陷的第三凹部。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
50
records
(took 0.031 seconds)
