-
公开(公告)号：CN115342795B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210508551.3
申请日：2022-05-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明提供一种惯性传感器以及惯性测量装置，防止针对过度冲击的可动体的贴附。一种惯性传感器(1)，在将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，检测基于Z轴的位移的物理量，其中，所述惯性传感器具备：基板(10)；可动体(21)，固定于基板(10)，并绕沿着X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(21a、21b)和将它们之间连接的侧面(21c、21d)；以及限制部(19)，固定于基板(10)，并与可动体(21)的侧面(21c、21d)对置，可动体(21)在与限制部(19)对置的部分具备弹性部(25)。
-
公开(公告)号：CN111735990A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010075194.7
申请日：2020-01-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 一种惯性传感器、电子设备以及移动体。在将相互正交的三轴作为X轴、Y轴以及Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿着所述Y轴的摇动轴而摇动；固定部，固定于所述基板，用于支承所述可动体；以及止动件，固定于所述基板，通过与所述可动体接触来限制所述可动体的绕所述Z轴的旋转位移，在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述止动件与所述基板相接合的止动件接合区域位于将所述可动体在沿所述Y轴的方向上延长而得第一区域内，所述止动件的位于所述第一区域外的部分从所述基板分离。
-
公开(公告)号：CN116203281A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211499133.9
申请日：2022-11-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
Abstract: 物理量传感器及惯性测量装置。能够避免由过度的冲击引起的不良情况。物理量传感器1检测第1方向(DR1)以及第2方向(DR2)中的至少一个方向的物理量。包括：固定电极部(20)，其设置于基板(2)；可动体(60)，其具有可动电极部(20)，可动电极部(20)设置成可动电极(26)与固定电极部(10)的固定电极(16)相对；固定部(40)，其固定于基板(2)；支承梁(42)，其一端与固定部(40)连接，另一端与可动体(60)连接；以及限制部(50)，其限制可动体(60)的移位。限制部(50)包括：第1部分(51)，其一端与可动体(60)连接，沿第1方向(DR1)延伸；和第2部分(52)，其一端与第1部分(51)的另一端连接，沿第2方向(DR2)延伸。
-
公开(公告)号：CN112747740A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011180398.3
申请日：2020-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明涉及物理量传感器、电子设备及移动体。通过检测静电电容的物理量传感器的感测区域，来降低存在于两块板的间隙的气体所产生的阻尼电阻。物理量传感器(1)具有：第一板(20)；以及隔着间隙(2)与第一板相对的第二板(10)，通过静电电容的变化来检测根据物理量而变化的第一板与第二板的间隙的感测区域(1A)设置于俯视观察时第一板与第二板重叠的区域内，第一板在感测区域设置有贯通孔(25)，第二板在俯视观察时第二板与第一板的贯通孔重叠的部分(10A)处，虚拟平面(P)至第二板的距离(H1)大于间隙的距离(H2)，该虚拟平面(P)在第一板的隔着间隙与第二板相对的面的同一平面内扩展。
-
公开(公告)号：CN116893282A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310344809.5
申请日：2023-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01P15/125
Abstract: 惯性传感器以及惯性测量模块。能够降低和抑制无用振动。惯性传感器包含：基板；相对于所述基板移位的可动体；以及衰减部，其使所述可动体相对于所述基板的移位衰减；所述衰减部具有：梳齿状的第1结构体，其包含基端与所述可动体连接的多个可动梳齿指；以及梳齿状的第2结构体，其包含基端与所述基板连接并与所述多个可动梳齿指交叉的多个固定梳齿指，所述可动梳齿指以及所述固定梳齿指各自的基端的宽度大于末端的宽度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113358900B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202110187850.7
申请日：2021-02-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。该惯性传感器具备：基板；固定部，设置于基板；第一可动体，与基板相对，并能够以第一支承梁为第一旋转轴进行位移；第一支承梁，连接在第一方向上排列的第一可动体和固定部；第二可动体，能够因第二支承梁的变形而进行位移；第二支承梁，连接在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一可动体和第二可动体；以及突起，设置于基板或第二可动体，在从第三方向俯视观察时，该突起与第二可动体重叠，并且朝向第二可动体或基板突出。
-
公开(公告)号：CN113533783A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110418163.1
申请日：2021-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 永田和幸
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体，惯性传感器(1)具备基板(20)；固定电极(24、25)，配置于基板；元件部(30)，包括可动体(31)，该可动体能够相对于固定电极位移，并在第一部分(42)和与固定电极相对的第二部分(43)上具有电极；突起(23)，限制可动体的位移量，并在与可动体的第一部分对置的部分上具有检测电极(27)；驱动电路(68)，向元件部输出驱动信号；接触检测电路(80)，通过可动体的第一部分的电极与突起的检测电极接触而输出检测信号；自诊断电路，当从接触检测电路接收到检测信号时，向元件部输出测试信号；以及判定电路，判定元件部接收到测试信号后输出的信号的电平是否超过了阈值。
-
公开(公告)号：CN104579232A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410524540.X
申请日：2014-10-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/0913 , H03B5/30 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02283
Abstract: 振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)沿与基板的法线相交的方向延伸的多个振动部(24)，设在俯视时所述振动部的从所述基部延伸的方向上的长度为L、所述振动部的与从所述基部延伸的方向相交的方向上的长度为W时，所述振动部的尺寸比(L/W)满足0.2≤(L/W)≤7.0的关系。
-
公开(公告)号：CN119727660A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411350893.2
申请日：2024-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件，能够实现功耗降低。振动元件具有：振动基板，其具有处于正反关系的第一面和第二面，并形成有基部和从基部延伸出来的振动臂；以及压电元件，其配置于振动臂的第一面，压电元件具有：第一电极，其配置于振动臂的第一面；压电体层，其配置于第一电极的与振动臂相反侧的面；以及第二电极，其配置于压电体层的与第一电极相反侧的面，在俯视振动基板时，在将与振动臂延伸的第一方向垂直的方向设为第二方向时，振动臂的从基部到第二电极的末端之间的区域的第二方向的长度是振动臂的基端处的第二方向的长度以上，在第二电极的末端部，第二电极的第二方向的长度靠向末端侧而减小。
-
公开(公告)号：CN113899354B
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202110764282.2
申请日：2021-07-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.034 seconds)
