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公开(公告)号：CN104113300A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410154056.2
申请日：2014-04-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , B81B3/007 , B81B2203/053
Abstract: 本发明提供MEMS振子、电子设备和移动体，可得到期望的振动模式。MEMS振子具有：振动部；电极部，其相对于振动部具有间隙而相对地设置；以及支承部，其从振动部在第1方向上延伸设置，振动部具有从第1方向观察时厚度不同的功能部。
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公开(公告)号：CN104579232A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410524540.X
申请日：2014-10-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/0913 , H03B5/30 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02283
Abstract: 振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)沿与基板的法线相交的方向延伸的多个振动部(24)，设在俯视时所述振动部的从所述基部延伸的方向上的长度为L、所述振动部的与从所述基部延伸的方向相交的方向上的长度为W时，所述振动部的尺寸比(L/W)满足0.2≤(L/W)≤7.0的关系。
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公开(公告)号：CN104579222A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410524754.7
申请日：2014-10-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 木原龙儿
CPC classification number: H02N1/006 , H01L41/053 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/02338 , H03H9/05 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02283
Abstract: 振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)朝彼此不同的方向延伸的多个振动部(24)，在相邻的振动部(24)之间具有曲面(40)。
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公开(公告)号：CN103856184A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310566481.8
申请日：2013-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/2436 , B81B3/0013 , B81B2201/0285 , H03H2009/02385 , H03H2009/02472 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供振子以及电子设备。作为课题，提供了如下这样的振子：其能够进一步小型化，并且振动泄漏少，能够在制造工序中不导致可动电极产生粘连的情况下，稳定地进行制造。MEMS振子（100）具有：基板（1）；固定部（23），其设置在基板（1）的主面上；从固定部（23）延伸出的支撑部（22）；以及上部电极（21）（振动体），其以与基板（1）相离的方式被支撑部（22）支撑，上部电极（21）在由于从上部电极（21）的周缘部朝向上部电极（21）的中央部形成的缺口部（30）而露出的上部电极（21）的侧面部中的、从所述中央部面向所述周缘部的方向的侧面（31）上具有被连接部，被连接部与支撑部（22）相连。
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公开(公告)号：CN103856179A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310567000.5
申请日：2013-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: B81B3/007 , B81B2201/0242 , B81B2201/0271 , G01C19/5712 , H03H9/2405 , H03H9/2431 , H03H9/2436 , H03H2009/02354
Abstract: 本发明提供振子以及电子设备。作为课题，提供如下这样的振子：其能够进一步小型化且振动泄漏少，能够在制造工序中不导致可动电极产生粘连的情况下稳定地进行制造。MEMS振子（100）具有：基板（1）；设置在基板（1）的主面上的固定部（23）；从固定部（23）延伸出的支撑部（支撑梁22和连结梁21）；以及上部电极（20）（振动体），其以与基板（1）相离的方式被支撑部支撑，上部电极（20）在由于缺口部（30）而露出的从上部电极（20）的周缘部朝向上部电极（20）的中央部的上部电极（20）的侧面（31）上具有被连接部，所述缺口部（30）从上部电极（20）的周缘部朝向上部电极（20）的中央部而形成，被连接部与支撑部相连。
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公开(公告)号：CN103716004A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310426060.5
申请日：2013-09-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 木原龙儿
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , B81B2203/019 , H03B5/30 , H03H9/2457 , H03H2009/02251 , H03H2009/02488 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明提供MEMS元件以及振荡器，能够使其它振动模式远离1次振动模式、并能够以期望的频率进行振荡。本发明的MEMS元件（100）包含基板（10）、形成在基板（10）上方的第1电极（20）以及第2电极（30），该第2电极具有形成在基板（10）上方的支承部（32）以及从支承部（32）延伸并以在与第1电极（20）之间具有空隙的状态形成且能够在基板（10）的厚度方向上进行振动的梁部（33），梁部（33）的宽度（W）随着从梁部（33）的根部（38）朝梁部（33）的前端（37）而变小，梁部（33）的中心的长度（L1）大于梁部（33）的端部（35a、36a）的长度（L2、L3），梁部（33）的根部（38）的宽度（W0）大于梁部（33）的中心的长度（L1）。
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公开(公告)号：CN101780941A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN201010003178.3
申请日：2010-01-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 木原龙儿
CPC classification number: B81B3/0078 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , H03H9/02433 , H03H9/2457
Abstract: 本发明提供一种MEMS器件及其制造方法，使MEMS器件的工作精度提高。本发明的MEMS器件具备：基板(10)和形成于该基板(10)上的MEMS结构体(20)；其中，该MEMS结构体(20)具有工作部结构(22)，该工作部结构(22)具备形成于基板(10)上的支撑部(22S)和从该支撑部延伸设置并构成为在基板(10)上可以动作的可动部(22M)；该工作部结构(22)在可动部(22M)上具有剖面极小部(22B)，该剖面极小部其与从工作部结构(22)的前述支撑部朝向前述可动部的方向正交的剖面的面积比前述可动部的剖面面积小，且该剖面极小部由在平面图案(20U)中设置的边界图案形状(22v)形成。
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