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公开(公告)号：CN110266211B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201910179094.6
申请日：2019-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明提供压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机。压电驱动装置能够提高振动部的振动的检测精度，机器人、电子部件输送装置、打印机及投影仪具备该压电驱动装置。一种压电驱动装置，其特征在于，具有：振动部，包括驱动用压电元件和检测用压电元件，并通过所述驱动用压电元件的驱动而进行振动；驱动电路，生成驱动所述驱动用压电元件的驱动信号；以及检测电路，基于随着所述振动部的振动而从所述检测用压电元件输出的检测信号，检测所述振动部的振动，所述检测用压电元件配置在包括所述振动部的中心的区域。
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公开(公告)号：CN109724635B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201811264212.5
申请日：2018-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小西晃雄
IPC: G01D5/347 , G01D5/32 , H01L21/306 , H01L21/3065
Abstract: 本发明提供能够一面实现低成本化、一面提高检测精度的编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器，另外，提供具备该编码器标尺的编码器、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。编码器标尺其特征在于，具备板状的基材、以及设于所述基材的一面并排列有第一区域和第二区域的光学图案，所述第一区域具有配置于所述基材上并构成为包括感光性树脂的树脂层、以及配置于所述树脂层上并由金属材料构成的金属膜，所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成，所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。
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公开(公告)号：CN107800324A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710729237.7
申请日：2017-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H02N2/00
CPC classification number: H01L41/0475 , B06B1/0603 , B06B1/14 , B25J9/12 , B25J9/126 , B65G27/24 , B65G35/06 , H01L41/042 , H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/0913 , H01L41/29 , H02N2/103 , H02N2/0085 , H02N2/005 , H02N2/22
Abstract: 本申请一种振子及制造方法、压电致动器及电机、机器人及输送装置，其振子能够容易地与外部电连接。该振子具有：振动部，具备一对振动基板以及配置在所述一对振动基板之间的压电体；支承部，具备一对支承基板以及配置在所述一对支承基板之间的基板间部；以及布线，配置于所述振动部和所述支承部，所述布线从所述支承部露出。
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公开(公告)号：CN105375815A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510477540.3
申请日：2015-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0475 , B25J9/12 , B25J17/00 , H01L41/042 , H01L41/0472 , H01L41/09 , H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/0085 , H02N2/103 , H02N2/14 , H02P25/032 , H02P25/16 , H02P25/32 , Y10S901/28
Abstract: 本发明涉及压电驱动装置、机器人以及它们的驱动方法。在压电元件的电极焊接线状的导线的配线结构中需要用于导线的空间，另外，配线作业中容易断线。压电驱动装置具备振动板、以及具有基板和设置在上述基板上的压电元件的压电振动体。压电元件具有第1电极、第2电极和压电体，在基板上，第1电极、压电体、和第2电极按照该顺序被层叠。以基板和振动板夹着压电元件的方式将压电振动体设置在振动板上。在振动板上形成有包括与第1电极对应的第1配线和与第2电极对应的第2配线的配线图案，第1电极和第1配线经由第1层叠导电部经由连接，第2电极和上述第2配线经由第2层叠导电部连接。
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公开(公告)号：CN107546320A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710481252.4
申请日：2017-06-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/277 , B81B7/02 , B81C1/00 , H02N2/10
Abstract: 本发明提供一种电压下降等得到抑制的输出较高的MEMS装置、压电致动器、以及超声波电机。MEMS装置的特征在于，从基板(24)的第一面(39)侧起依次层叠了第一电极层(28)、压电体层(29)、以及第二电极层(30)而构成，在基板(24)的与第一面(39)相反的一侧的第二面(40)上层叠有第一配线层(28)，第一电极层(28)与第一配线层(34)经由贯穿基板(24)的贯穿配线(37)而被连接。
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公开(公告)号：CN110875693B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201910810582.2
申请日：2019-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供通过获得精度较高的检测信号而能够稳定地进行驱动的压电驱动装置、机器人以及打印机。该压电驱动装置的特征在于，具有振动部和控制所述振动部的振动的控制部；所述振动部具备：压电体，具有处于表背关系的第一面和第二面；驱动用电极，具备配置于所述第一面的第一电极和配置于所述第二面的第二电极，并通过将来自所述控制部的驱动信号输入所述第二电极而使所述压电体振动；以及检测用电极，具备配置于所述第一面的第三电极和配置于所述第二面的第四电极，并将与所述压电体的振动对应的检测信号经由所述第四电极输出至所述控制部，在所述第一面上，所述第一电极与所述第三电极分离，并且，在所述第二面上，所述第二电极与所述第四电极分离。
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公开(公告)号：CN109724635A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811264212.5
申请日：2018-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小西晃雄
IPC: G01D5/347 , G01D5/32 , H01L21/306 , H01L21/3065
CPC classification number: G01D5/347 , G01D5/34707 , G01D5/35354 , G01D5/366
Abstract: 本发明提供能够一面实现低成本化、一面提高检测精度的编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器，另外，提供具备该编码器标尺的编码器、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。编码器标尺其特征在于，具备板状的基材、以及设于所述基材的一面并排列有第一区域和第二区域的光学图案，所述第一区域具有配置于所述基材上并构成为包括感光性树脂的树脂层、以及配置于所述树脂层上并由金属材料构成的金属膜，所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成，所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。
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公开(公告)号：CN108801303A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810407213.4
申请日：2018-04-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01D5/34707 , G01D5/3473 , G01D5/34746 , B25J19/00 , B41J2/01 , G02B1/02
Abstract: 本申请提供编码器标尺及其制造方法、编码器、机器人以及打印机，所述编码器标尺及其制造方法能够在实现低成本化的同时提高检测精度。所述编码器、机器人以及打印机具备所述编码器标尺。编码器标尺的特征在于包括：板状的基材；以及光学图案，设置于所述基材的一侧的面，交替排列有第一区域和第二区域。由以所述基材的厚度方向为法线的第一面构成所述第一区域的主体，由相对于所述第一面倾斜的第二面构成所述第二区域的主体。
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公开(公告)号：CN105375816A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510483336.2
申请日：2015-08-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N2/004 , B25J9/12 , H02N2/0075 , H02N2/103 , H02P25/032 , Y10S901/28
Abstract: 本发明提供压电驱动装置、机器人以及它们的驱动方法。若缩小压电体的厚度，则需要较大的驱动电流。该压电驱动装置具备：压电体；电极，其设置于压电体；以及驱动电路，其对电极施加驱动电压。压电体的厚度为0.05μm以上20μm以下。驱动电压是对变动的电压施加了偏置电压的电压。
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