公开(公告)号：CN106483440A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610726317.2

申请日：2016-08-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己 ,  下岛聪兴 ,  中村敏

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供电子部件搬运装置以及电子部件检查装置，能够在冷却部件上对电子部件进行均匀冷却。电子部件检查装置(1)具有作为冷却电子部件的冷却部件的温度调整部(12)。温度调整部(12)具有供制冷剂(RF)流入的第一流路的第二流路(38)。而且，在俯视温度调整部(12)的情况下，第一流路(37)以包围第二流路(38)的一部分的方式配置。(37)、与第一流路(37)连通并供制冷剂(RF)流出

公开(公告)号：CN106199376A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610353204.2

申请日：2016-05-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 清水博之 ,  下岛聪兴 ,  清水惣太

IPC: G01R31/28

Abstract: 本发明提供能够对各动作部进行操作的电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。电子部件搬运装置(10)具有：多个动作部；以及能够对各动作部中的至少一个动作部进行操作的操作部。该操作部由显示于显示装置(40)的按钮构成。另外，通过操作鼠标(51)在显示装置(40)使光标对准按钮并点击，由此能够使动作部动作。

公开(公告)号：CN102950114B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201210265172.2

申请日：2012-07-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 下岛聪兴

IPC: B07C5/00 ,  B65G47/91

Abstract: 本发明涉及分选机以及部件检查装置，该部件检查装置具备：基台，该基台具有被按压了电子部件的检查用插座；输送单元，该输送单元安装于基台上，并将电子部件输送到检查用插座；以及垂直移动臂，该垂直移动臂设置于输送单元上，并在检查用插座按压电子部件。具备连结在基台上的受压臂机构，该受压臂机构与按压电子部件的按压气缸卡合，卡止按压气缸相对于基台的移位。

公开(公告)号：CN103245848A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310049498.6

申请日：2013-02-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 前田政己 ,  下岛聪兴

IPC: G01R31/00 ,  F25D3/10

CPC classification number: F17C9/02 ,  G01R31/2867 ,  G01R31/2877

Abstract: 本发明提供一种处理器，该处理器具备：贮藏罐，其贮藏液氮；供给路，其从贮藏罐向第一梭的内部通路供给制冷剂；阀，其开闭供给路；以及热交换器，其具有比供给路大的流路截面积的气化室，液氮在该气化室发生气化。由此，由于各气化室被预先气化的氮气充满，所以能够缓和与后续的液氮的气化相伴随的压力变动。另外，因为向各内部通路供给氮气，所以还能够抑制收容卡格的过度冷却。

公开(公告)号：CN108093649A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201680015725.5

申请日：2016-02-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己 ,  下岛聪兴 ,  山崎孝

IPC: G01R31/26

CPC classification number: G01R31/2893 ,  G01R31/2891 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67356 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67389

Abstract: 本申请提供了电子部件输送装置及电子部件检查装置，在对装置内部实施作业时，能够尽可能地抑制外气的流入。该电子部件输送装置具备：第一开闭部(4)，能够开闭；第一转动支承部(42)，以能够转动的方式支承第一开闭部(4)；第二开闭部(5)，在第一开闭部(4)中以能够开闭的方式设置；第二转动支承部(52)，以能够转动的方式支承第二开闭部(5)。第一开闭部(4)的面积大于第二开闭部(5)的面积。

公开(公告)号：CN108012563A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201680050202.4

申请日：2016-09-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己 ,  下岛聪兴 ,  夏井坂康敏

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  G01R31/26 ,  H05F3/04

CPC classification number: G01R31/26 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677 ,  H05F3/04

Abstract: 本申请提供一种电子元器件输送装置及电子元器件检查装置，其可以向目标局部喷射进行了离子化的干燥空气。电子元器件输送装置具备：能够供给干燥空气(DA)的干燥空气供给部(3A)；能够对干燥空气进行离子化的离子产生部；能够喷射利用离子产生部进行了离子化的干燥空气(离子化空气(IA))的喷射部(5A)；作为能够配置作为电子元器件的IC器件(90)且能够冷却的电子元器件配置部的温度调整部(12)；以及收容部(8A)，能够收容温度调整部(12)，并且具有IC器件(90)能够通过的开口(841)，喷射部(5A)具有能够向收容部(8A)的内部喷射离子化空气(IA)的至少一个喷出口(511)。

公开(公告)号：CN103245848B

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：CN201310049498.6

申请日：2013-02-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 前田政己 ,  下岛聪兴

IPC: G01R31/00 ,  F25D3/10

CPC classification number: F17C9/02 ,  G01R31/2867 ,  G01R31/2877

Abstract: 本发明提供一种处理器，该处理器具备：贮藏罐，其贮藏液氮；供给路，其从贮藏罐向第一梭的内部通路供给制冷剂；阀，其开闭供给路；以及热交换器，其具有比供给路大的流路截面积的气化室，液氮在该气化室发生气化。由此，由于各气化室被预先气化的氮气充满，所以能够缓和与后续的液氮的气化相伴随的压力变动。另外，因为向各内部通路供给氮气，所以还能够抑制收容卡格的过度冷却。

公开(公告)号：CN106483399A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610685326.1

申请日：2016-08-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 桐原大辅 ,  前田政己 ,  下岛聪兴

IPC: G01R31/00

CPC classification number: G01R31/00

Abstract: 本发明提供一种电子部件输送装置以及电子部件检查装置，其能够分别将电子部件设定为第一温度和第二温度。电子部件输送装置具有：第一输送部，其能够输送电子部件并使所述电子部件成为第一温度；以及第二输送部，其能够输送所述电子部件并使所述电子部件成为与所述第一温度不同的第二温度。

公开(公告)号：CN103894347A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201410112653.9

申请日：2012-07-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 下岛聪兴

IPC: B07C5/00 ,  B65G47/91

Abstract: 本发明涉及分选机以及部件检查装置，该部件检查装置具备：基台，该基台具有被按压了电子部件的检查用插座；输送单元，该输送单元安装于基台上，并将电子部件输送到检查用插座；以及垂直移动臂，该垂直移动臂设置于输送单元上，并在检查用插座按压电子部件。具备连结在基台上的受压臂机构，该受压臂机构与按压电子部件的按压气缸卡合，卡止按压气缸相对于基台的移位。

公开(公告)号：CN102950114A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210265172.2

申请日：2012-07-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 下岛聪兴

IPC: B07C5/00 ,  B65G47/91

Abstract: 本发明涉及分选机以及部件检查装置，该部件检查装置具备：基台，该基台具有被按压了电子部件的检查用插座；输送单元，该输送单元安装于基台上，并将电子部件输送到检查用插座；以及垂直移动臂，该垂直移动臂设置于输送单元上，并在检查用插座按压电子部件。具备连结在基台上的受压臂机构，该受压臂机构与按压电子部件的按压气缸卡合，卡止按压气缸相对于基台的移位。