公开(公告)号：CN106068554B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201580012173.8

申请日：2015-01-09

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 村田正直 ,  山路孝

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67393 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67775

Abstract: 不使用致动器就能够避免喷嘴妨碍容器的定位。在喷嘴先于定位部件而与容器接触时，利用喷嘴的引导面引导容器，并且通过来自容器的载荷使喷嘴下降，使定位部件与容器接触，利用定位部件将容器定位，并从喷嘴朝容器注入净化气体。

公开(公告)号：CN104167382B

公开(公告)日：2018-08-07

申请号：CN201410030705.8

申请日：2014-01-22

Applicant: 昕芙旎雅有限公司

Inventor： 船户学 ,  夏目光夫 ,  落合光敏

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 本发明提供种装载端口装置,该装载端口装置在对前开式晶圆传送盒的门进行开闭时能够抑制两个轴的连结部位的颗粒的产生,并且能够抑制装置自身的振动。装载端口装置具备:连杆机构,其具有端以能够转动的方式连结于门保持构件的主动连杆;引导件,其从水平方向朝向铅垂方向弯曲而延伸,用于对主动连杆的端进行引导;驱动组件,其供主动连杆的另端以能够转动的方式连结;以及门升降轴,其在铅垂方向上延伸,使驱动组件在该门升降轴的延伸方向上移动,连杆机构构成为:在主动连杆的另端在铅垂方向上移动的状态下,允许主动连杆的端沿着引导件从水平方向朝向铅垂方向移动或者从铅垂方向朝向水平方向移动。

公开(公告)号：CN105683064B

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201480052704.1

申请日：2014-07-17

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 小合玄己 ,  伊藤靖久

IPC: B65G1/14 ,  B65G1/00 ,  H01L21/673

CPC classification number: F16M13/02 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供能够一并定位并载置大小不同的两种物品的支承装置。在支承装置的载置面载置第一物品(20)、以及底部比第一物品(20)大的第二物品(30)。设置有从载置面突出对第一物品(20)的底部进行定位的第一定位部件(10)、以及从载置面突出对第二物品(30)进行定位的第二定位部件(12)。第一定位部件(10)配置于在利用第二定位部件(12)将第二物品(30)定位于载置面上时不与第二物品(30)发生干涉的位置，第二定位部件(12)配置于在利用第一定位部件(10)将第一物品(20)定位于载置面上时不与第一物品(20)发生干涉的位置。

公开(公告)号：CN103946967B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201280043130.2

申请日：2012-09-04

Applicant: 动力微系统公司

Inventor： 卢茨·莱伯斯托克

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67769 ,  B65G1/0407 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明涉及一种用于存储和传输物品的设备和方法，更具体地涉及工件储料器结构，例如用于半导体晶片、刻线或载体盒的储料器。

公开(公告)号：CN105683064A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480052704.1

申请日：2014-07-17

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 小合玄己 ,  伊藤靖久

IPC: B65G1/14 ,  B65G1/00 ,  H01L21/673

CPC classification number: F16M13/02 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供能够一并定位并载置大小不同的两种物品的支承装置。在支承装置的载置面载置第一物品(20)、以及底部比第一物品(20)大的第二物品(30)。设置有从载置面突出对第一物品(20)的底部进行定位的第一定位部件(10)、以及从载置面突出对第二物品(30)进行定位的第二定位部件(12)。第一定位部件(10)配置于在利用第二定位部件(12)将第二物品(30)定位于载置面上时不与第二物品(30)发生干涉的位置，第二定位部件(12)配置于在利用第一定位部件(10)将第一物品(20)定位于载置面上时不与第一物品(20)发生干涉的位置。

公开(公告)号：CN103165499B

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201210265938.7

申请日：2012-07-26

Applicant: 家登精密工业股份有限公司

Inventor： 王建峰 ,  邱铭隆 ,  吕绍玮 ,  徐子正

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67369 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67393 ,  Y10T292/0834 ,  Y10T292/0964

Abstract: 本发明公开了一种具有门闩结构的前开式晶圆盒，在晶圆盒的门体内配置一对门闩结构，门闩结构利用圆形转盘带动滑动装置，使门闩结构能稳固的开锁及上锁，避免开锁及上锁时不必要的震动及碰撞，并利用滚轮的移动，防止尘埃的产生。

公开(公告)号：CN104973391A

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201510153659.5

申请日：2015-04-02

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 和田吉成

IPC: B65G35/00 ,  B61B3/02

CPC classification number: H01L21/67379 ,  B66C1/425 ,  B66C13/06 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种在能够防止盖体从由把持部把持的容器的落下的同时、能够抑制装置的大型化的物品输送车。设有：落下防止体（32），向在盖体（Bt）的外表面侧接近于盖体（Bt）而防止盖体（Bt）的落下的接近位置、和从盖体（Bt）远离而容许盖体（Bt）的拆装的远离位置切换自如；连动机构（R），随着一对把持部（31）被把持驱动部（30m）从把持位置切换为把持解除位置，将盖落下防止体（32）从接近位置向远离位置切换，并且随着一对把持部（31）被把持驱动部（30m）从把持解除位置切换为把持位置，将盖落下防止体（32）从远离位置向接近位置切换。

公开(公告)号：CN103021913B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201110305366.6

申请日：2011-09-30

Applicant: 家登精密工业股份有限公司

Inventor： 盛剑平 ,  徐子正 ,  吕绍玮 ,  邱铭隆

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67386 ,  H01L21/67379

Abstract: 一种前开式圆片盒，由可校正的支撑件的位置，使圆片盒内部的支撑件可相互对称，使放置的圆片片可水平放置。另外由配置一个OHT垫(OHT；Overhead Hoist Transport head)，可使OHT头平均分散前开式圆片盒及圆片的重量，使OHT头在搬运前开式圆片盒及圆片时能更稳固，并可负荷较重的重量，以达到制备过程的需求。

公开(公告)号：CN102625772B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201080048637.8

申请日：2010-04-15

Applicant: 德建先进产品有限公司

Inventor： J·D·彼兰特 ,  A·L·韦伯

IPC: B65D85/86 ,  H01L21/673 ,  B65D85/38 ,  B65D85/48

CPC classification number: H01L21/67386 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67366 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379

Abstract: 半导体晶片容器的改进包括对于晶片侧边保护的改进、使旋转最小化的盖子的改良设计、简化的顶盖定向机构和用于自动化的改进的底部保持机构。晶片侧向保护具有多个交错的内壁和外壁。盖子的改良设计改进顶部外壳与底部外壳的对齐程度，并使得外壳在运输或移动时的旋转最小化。外壳具有双向锁定的凹进耳片斜面部件，这也在两个外壳进行组装时增加保护装置的刚度。用于自动化的改进的底部保持机构具有模制到底部外壳而不是在辅助操作中进行组装的整体部件。模制的整体性减小了在组装多个部分和连接多个部分时出现的公差。

公开(公告)号：CN102939254A

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN201180010091.1

申请日：2011-02-14

Applicant: 信越聚合物株式会社

Inventor： 藤森义昭 ,  小川统

IPC: B65D85/86 ,  B65D85/00 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67772 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67396

Abstract: 提供一种基板收纳容器，其能够抑制容器主体和盖体等带电而吸附颗粒，从而防止颗粒对基板的污染。该基板收纳容器具备：容器主体（1），其收纳半导体晶片（W）并利用左右成对的支承片（2）支承半导体晶片（W）；拆装自如的盖体（10），其开闭容器主体（1）的开口的正面；以及接口部（40），其配设于容器主体（1）和盖体（10），并与加工装置的装载端口装置（31）连接，在盖体（10）开闭容器主体（1）的开口的正面的情况下，盖体（10）定位连接于装载端口装置（31），容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）分别由导电性材料形成，使其表面电阻值为103～1012Ω的范围内，以抑制颗粒随着容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）带静电而附着于容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）。