压电元件及其制造方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101322258B

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN200480002472.5

    申请日:2004-01-21

    CPC classification number: H01L41/316

    Abstract: 本发明在石英玻璃基板或不锈钢基板上形成下部电极。在下部电极上用溅射法通过制作薄膜状氮化铝和/或氧化锌,形成压电体薄膜,使其偶极子取向度在55%以上。然后,在压电体薄膜上形成上部电极。压电元件的压电层由氮化铝和/或氧化锌构成。具有晶体结构的氮化铝或氧化锌由于其晶体结构不存在对称性,故原来就具备压电性,并且像铁电体那样不存在居里温度,即使在高温下也不产生磁位错,故直至晶体熔解或升华,都不会失去压电性。

    压电元件及其制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101322258A

    公开(公告)日:2008-12-10

    申请号:CN200480002472.5

    申请日:2004-01-21

    CPC classification number: H01L41/316

    Abstract: 本发明在石英玻璃基板或不锈钢基板上形成下部电极。在下部电极上用溅射法通过制作薄膜状氮化铝和/或氧化锌,形成压电体薄膜,使其偶极子取向度在55%以上。然后,在压电体薄膜上形成上部电极。压电元件的压电层由氮化铝和/或氧化锌构成。具有晶体结构的氮化铝或氧化锌由于其晶体结构不存在对称性,故原来就具备压电性,并且像铁电体那样不存在居里温度,即使在高温下也不产生磁位错,故直至晶体熔解或升华,都不会失去压电性。

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