-
公开(公告)号：CN102692725B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201210192001.1
申请日：2012-06-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种利用光学相位共轭原理提高激光准直精度的系统，包括激光器，沿激光器的发射光束依次布置有起偏器、扩束准直系统、第一分束镜、第一偏振分光镜和反射器，第一分束镜的分光方向上设置位置探测器，反射器的反射光与激光器的发射光束平行，在反射器的反射光线上依次设置第二偏振分光镜、法拉第旋光器、第二分束镜和空间光相位调制器，第二分束镜的分光方向上设置波前探测器，空间光相位调制器和波前探测器都连接至计算机，本发明还提供了一种利用该系统提高激光准直精度的方法，本发明的系统结构简单，可有效补偿大气不均匀对激光准直的影响；采用空间光相位调制器作为相位共轭镜，具有体积小、易于控制等优点。
-
公开(公告)号：CN102692725A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210192001.1
申请日：2012-06-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种利用光学相位共轭原理提高激光准直精度的系统，包括激光器，沿激光器的发射光束依次布置有起偏器、扩束准直系统、第一分束镜、第一偏振分光镜和反射器，第一分束镜的分光方向上设置位置探测器，反射器的反射光与激光器的发射光束平行，在反射器的反射光线上依次设置第二偏振分光镜、法拉第旋光器、第二分束镜和空间光相位调制器，第二分束镜的分光方向上设置波前探测器，空间光相位调制器和波前探测器都连接至计算机，本发明还提供了一种利用该系统提高激光准直精度的方法，本发明的系统结构简单，可有效补偿大气不均匀对激光准直的影响；采用空间光相位调制器作为相位共轭镜，具有体积小、易于控制等优点。
-
-
公开(公告)号：CN1052369A
公开(公告)日：1991-06-19
申请号：CN90110041.2
申请日：1990-12-29
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪，属于对位移量的精密测量。本发明采用同一光源的光引入光纤网络回路中形成多个光纤干涉仪，经频域滤波分别同时进行检测各个干涉信号。本发明适用于多点(维)远距离同时检测，每一路的测量范围不小于1mm，测量精度不低于0.05μm，并适用于表面粗糙度具有3以上光洁度的物体的测量，具有灵敏度高，抗电磁干扰，非接触式测量等优点，本发明测头体积小、结构紧凑、成本较低、具有广阔的应用领域。
-
公开(公告)号：CN1019145B
公开(公告)日：1992-11-18
申请号：CN90110041.2
申请日：1990-12-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪，属于对位移量的精密测量。本发明采用同一光源的光引入光纤网络回路中形成多个光纤干涉仪，经频域滤波分别同时进行检测各个干涉信号。本发明适用于多点(维)远距离同时检测，每一路的测量范围不小于1mm，测量精度不低于0.05μm，并适用于表面粗糙度具有3以上光洁度的物体的测量，具有灵敏度高，抗电磁干扰，非接触式测量等优点，本发明测头体积小、结构紧凑、成本较低，具有广阔的应用领域。
-
Patent Agency Ranking
-
-
公开(公告)号：CN1117963C
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：CN00109499.8
申请日：2000-07-07
Applicant: 清华大学
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02028 , G01B9/02007 , G01B2290/70
Abstract: 本发明涉及一种利用合成波长法实现纳米测量的方法，选择能够获得两个波长λ1和λ2的激光光源，并设计一个参考干涉仪，在参考干涉仪的偏振分光元件外侧放置一个测量镜，使测量干涉仪中测量镜的纳米位移Δl2代表被测位移，上述两个干涉仪的公共参考镜在合成波长量级的范围移动，则测量镜与参考镜之间的位移存在线性关系，即可完成了本发明的测量。本发明的方法具有纳米量级的位移测量精度，并且具有较强的环境抗干扰能力，低成本、易于实用化。
-
公开(公告)号：CN1278057A
公开(公告)日：2000-12-27
申请号：CN00109499.8
申请日：2000-07-07
Applicant: 清华大学
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02028 , G01B9/02007 , G01B2290/70
Abstract: 本发明涉及一种利用合成波长法实现纳米测量的方法,选择能够获得两个波长λ1和λ2的激光光源,并设计一个参考干涉仪,在参考干涉仪的偏振分光元件外侧放置一个测量镜,使测量干涉仪中测量镜的纳米位移△ι2代表被测位移,上述两个干涉仪的公共参考镜在合成波长量级的范围移动,则测量镜与参考镜之间的位移存在线性关系,即可完成了本发明的测量。本发明的方法具有纳米量级的位移测量精度,并且具有较强的环境抗干扰能力,低成本、易于实用化。
-
公开(公告)号：CN1059031C
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN96107099.4
申请日：1996-07-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于激光精密测量技术领域，特别涉及大型工件内外径测量。内外径激光瞄准测量系统，包括导轨、定位块、测量车及驱动机构，测量车上装有定位，瞄准用的角隅棱镜、五角棱镜和光电接收器，固定在导轨一端的激光瞄准测距仪。测量车还包括准直接收该激光瞄准测距仪发出的准直激光束的光电探测器，角隅棱镜与五角棱镜均为半透半返的改进角隅棱镜。改进五角棱镜， 五角棱镜、光电接收器、光电探测器均安装在一测量平台上。定位块上装有反射面与定位块底面垂直的平面反射镜。入射角隅棱镜的光束返回光电接收器。仪器结构简单，重量轻，测量精度高，适于加工现场使用，并能进行多直径多方向测量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.017 seconds)
