公开(公告)号：CN1013304B

公开(公告)日：1991-07-24

申请号：CN88107425

申请日：1988-11-03

Applicant: 清华大学

Inventor： 田芊 ,  徐左 ,  李达成 ,  谢巍

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种非接触式激光调频光纤位移测量仪，属于机械精密测量领域，特别是属于对位移量、振动的精密测量。本发明采用半导体激光光源，光束经锯齿波调制，由光纤传输，通过参考光与探测光的相位比较得到位移量。本发明体积小、重量轻，线性动态范围大，可抗电磁干扰和抗振动，精度达0.04μm，可用于静态或动态测量，测量结果可数字化处理，便于与计算机联网。

公开(公告)号：CN1042414A

公开(公告)日：1990-05-23

申请号：CN88107425

申请日：1988-11-03

Applicant: 清华大学

Inventor： 田芊 ,  徐左 ,  李达成 ,  谢巍

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种非接触式激光调频光纤位移测量仪，属于机械精密测量领域，特别是属于对位移量、振动的精密测量。本发明采用半导体激光光源，光束经锯齿波调制，由光纤传输，通过参考光与探测光的相位比较得到位移量。本发明体积小、重量轻，线性动态范围大，可抗电磁干扰和抗振动，精度达0.04μm，可用于静态或动态测量。测量结果可数字化处理，便于与计算机联网。