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公开(公告)号：CN1079047A
公开(公告)日：1993-12-01
申请号：CN92103740.6
申请日：1992-05-21
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/08
Abstract: 本发明涉及大型工件内外径测量方法及装置。其装置包括激光器；由激光测长器和导轨构成的测长单元；由单模光纤及其分别固定在其两端的光纤耦合器、带有光接收靶的光纤出射头构成的激光准直、自准直单元；由一块镀有半透半反膜的五角棱镜和与之固定在一起的光电接收器构成的测量头；该测量头由导轨支撑并与吸附在被测工件直径两侧的磁性定位块和固定在其上的光电接收器组成的瞄准、定位单元等部分。本发明对大型工件内外径及长度可实时测量，精度高，测量范围大。
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公开(公告)号：CN1021784C
公开(公告)日：1993-08-11
申请号：CN90103139.9
申请日：1990-06-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种运动姿态测量方法及其装置，属于激光多普勒测量技术。本发明采用准共光路，四光束双焦点的光路系统，光电接收器接收两个光点的散射光并对两组信号的频率及相位进行检测。利用该方法设计出运动姿态测量仪可对被测物X方向和Z方向测出大于0.05μm的线位移和2.5″角位移，测出从0.2米/scp到0.1μm/sec的线速度和107角秒/秒～5角秒/秒的角速度，可用于对机械系统的微小振动分析，腐蚀蠕变，焊缝热变形分析等广阔领域。
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公开(公告)号：CN1017090B
公开(公告)日：1992-06-17
申请号：CN89103290.8
申请日：1989-05-18
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种自适应直线度测量方法及其装置，属于直线度的光学测量技术领域。本发明所述方法是在测量现场采集数据利用多元逐步回归方法，建立适合当时当地条件的模型，并以自适应除噪技术以及对测试区温度梯度的监测达到消除测量中由于光束本身的漂移、抖动、弯曲造成的误差，以保证测量基准的稳定性，提高直线测量的精度。本发明所述装置是在准直光束路径上设置两个以上固定的监测靶，一个与被测物相连的测试靶，同时对各靶多次采样取平均值后进行计算机数据处理，并实时输出测试结果。
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公开(公告)号：CN1078703C
公开(公告)日：2002-01-30
申请号：CN99109623.1
申请日：1999-07-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于激光精密测量技术领域，本系统包括由一个以上反射镜组成并固定于被测的运动目标之上的目标反射镜组合，由一个以上跟踪站组成的跟踪站群，激光测距系统，计算机控制与数据采集处理系统及实时反馈控制跟踪系统及软件组成。采用多站纯距离法和单站角度距离法激光跟踪测量系统使得测量的范围扩大(大于120°)，可以实现运动目标空间坐标、速度、加速度以及全姿态的实时测量。
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公开(公告)号：CN1099128A
公开(公告)日：1995-02-22
申请号：CN94101493.2
申请日：1994-03-04
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离的系统，属精密测量技术领域。该测距系统包括产生偏振方向正交的两个波长的激光器，实现双波长外差干涉的外差干涉仪，将外差信号进行光电转换的声光调制器以及外差信号的相位检测电路和数据处理单元。本发明的测距系统具有测量时间短、测量精度高、不易受环境影响、抗干扰能力强以及干涉仪结构简单等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1022528C
公开(公告)日：1993-10-20
申请号：CN89100113.1
申请日：1989-01-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 3.39微米波段的双谱线合成波技术及其氦氖气体激光器，属于激光器件及其应用领域。本发明提出采用3.39微米波段双谱线氦氖气体激光器做为光源的合成波干涉测量的新技术方案，并设计出该激光器的高增益实用新结构。用于合成波干涉测量时，系统调试方便，其波段位于大气窗口，探测器件成熟，频响灵敏度较好，可以在室温条件下工作，测量精度高并降低对被测长度的初估要求。
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公开(公告)号：CN1047385A
公开(公告)日：1990-11-28
申请号：CN89103290.8
申请日：1989-05-18
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种自适应直线度测量方法及其装置，属于直线度的光学测量技术领域。本发明所述方法是在测量现场采集数据利用多元逐步回归方法，建立适合当时当地条件的模型，并以自适应除噪技术以及对测试区温度梯度的监测达到消除测量中由于光束本身的漂移、抖动、弯曲造成的误差，以保证测量基准的稳定性，提高直线测量的精度，本发明所述装置是在准直光束路径上设置两个以上固定的监测靶，一个与被测物相连的测试靶，同时对各靶多次采样取平均值后进行计算机数据处理，并实时输出测试结果。
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公开(公告)号：CN1028383C
公开(公告)日：1995-05-10
申请号：CN92103740.6
申请日：1992-05-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及大型工件内外径测量方法及装置。其装置包括激光器；由激光测长器和导轨构成的测长单元；由单模光纤及其分别固定在其两端的光纤耦合器、带有光接收靶的光纤出射头构成的激光准直、自准直单元；由一块镀有半透半反膜的五角棱镜和与之固定在一起的光电接收器构成的测量头；该测量头由导轨支撑并与吸附在被测工件直径两侧的磁性定位块和固定在其上的光电接收器组成的瞄准、定位单元等部分。本发明对大型工件内外径及长度可实时测量，精度高，测量范围大。
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公开(公告)号：CN1019145B
公开(公告)日：1992-11-18
申请号：CN90110041.2
申请日：1990-12-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪，属于对位移量的精密测量。本发明采用同一光源的光引入光纤网络回路中形成多个光纤干涉仪，经频域滤波分别同时进行检测各个干涉信号。本发明适用于多点(维)远距离同时检测，每一路的测量范围不小于1mm，测量精度不低于0.05μm，并适用于表面粗糙度具有3以上光洁度的物体的测量，具有灵敏度高，抗电磁干扰，非接触式测量等优点，本发明测头体积小、结构紧凑、成本较低，具有广阔的应用领域。
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