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公开(公告)号：CN105405811A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510795423.1
申请日：2015-11-18
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
IPC: H01L21/86 , H01L21/02 , H01L21/311
CPC classification number: H01L21/86 , H01L21/02041 , H01L21/31127
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底制作工艺，所述制作工艺包括一次清洗、匀胶、烘烤、冷却、制作图形化衬底、人工目检、刻蚀、二次清洗和自动检测等步骤，清洗过程中用水作为冲洗液进行冲洗，在冲洗时，控制冲洗液的PH值在6.5～7.5之间，冲洗液温度在20±1℃，冲洗持续8～12min。本发明的优点在于：通过在进行蓝宝石衬底的图形化处理前对采用的平片衬底进行预清洗，以及图形化刻蚀过程中的二次清洗，严格控制清洗温度和PH值，确保经过清洗后的衬底不会影响后续的上胶处理，降低掉胶率，以便在人工目检过程中尽量发现问题，避免漏检流入下道工序后影响合格率，采用本发明的方法可将良品率提高5%左右，大大降低了资源的浪费和生产成本。
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公开(公告)号：CN103871844A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410123463.7
申请日：2014-03-31
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02019
Abstract: 本发明公开了一种用于改善图形化蓝宝石衬底的底部刻蚀异常的方法，包括如下步骤：提供F基等离子体；针对F基等离子体施加预定方向的动能；使F基等离子体自上而下地轰击图形化蓝宝石衬底的底部刻蚀异常区域表面达到预定时间，以使至少部分被刻蚀表面生成AlF3。由于本发明的F基等离子体易与蓝宝石中的Al元素发生化学反应，生成易挥发的AlF3，保证了刻蚀表面的清洁。另外由于F基的原子质量相比于BCl2+低，轰击能量较低，不易对表面造成物理创伤和辐射损伤，从而即保证了良好的形貌修饰作用，又保证了尺寸在修饰过程中的相对稳定。
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公开(公告)号：CN103117343A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310045284.1
申请日：2013-02-05
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有反射镜结构的LED发光器件，包括具有缓冲层的半导体衬底外延片，半导体衬底上预定区域内形成有透明导电层，缓冲层、透明导电层上方具有金属反射镜结构与电极，缓冲层、透明导电层上方自下而上形成有第一钝化层、第一氧化层、金属反射镜结构、第二氧化层、第二钝化层的层状结构，第一氧化层用于增加第一钝化层、金属反射镜结构之间粘附性，第二氧化层用于增加金属反射镜结构与第二钝化层之间粘附性。本发明在LED表面镀一层相应金属氧化层作为增加金属反射镜在LED表面的附着性的覆层,同时由于这层金属氧化物覆层与后续的钝化层的粘附力更好,从而增加了钝化层与金属反射镜之间的粘附性，与现有技术相比提高了LED芯片的整体稳定性。
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公开(公告)号：CN105405811B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201510795423.1
申请日：2015-11-18
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
IPC: H01L21/86 , H01L21/02 , H01L21/311
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底制作工艺，所述制作工艺包括一次清洗、匀胶、烘烤、冷却、制作图形化衬底、人工目检、刻蚀、二次清洗和自动检测等步骤，清洗过程中用水作为冲洗液进行冲洗，在冲洗时，控制冲洗液的PH值在6.5～7.5之间，冲洗液温度在20±1℃，冲洗持续8～12min。本发明的优点在于：通过在进行蓝宝石衬底的图形化处理前对采用的平片衬底进行预清洗，以及图形化刻蚀过程中的二次清洗，严格控制清洗温度和PH值，确保经过清洗后的衬底不会影响后续的上胶处理，降低掉胶率，以便在人工目检过程中尽量发现问题，避免漏检流入下道工序后影响合格率，采用本发明的方法可将良品率提高5%左右，大大降低了资源的浪费和生产成本。
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公开(公告)号：CN104979251A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510417149.4
申请日：2015-07-16
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/673
Abstract: 本发明公开了一种整体式PSS刻蚀托盘治具，包括整体式托盘与由金属材料制成的压环，所述的整体式托盘上排列设置有多个片槽，每个所述的片槽内设置用于放置晶圆片的搭阶，所述的片槽内位于搭阶的下方设置有冷却腔，所述的冷却腔设置多个冷却孔，所述的冷却孔通有冷却气体，每个所述的片槽内的晶圆片上方设置压环，所述的压环呈环形并覆盖于晶圆片的周向边缘。由于采用了以上技术方案，本发明将石英件的优点与金属件的优点结合了起来，对边缘效应有较好的改善效果，不需要使用如定位盘等额外工具，且不需要使用真空脂等密封材料，操作简便，可以提高工效，节省人工成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103871844B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410123463.7
申请日：2014-03-31
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种用于改善图形化蓝宝石衬底的底部刻蚀异常的方法，包括如下步骤：提供F基等离子体；针对F基等离子体施加预定方向的动能；使F基等离子体自上而下地轰击图形化蓝宝石衬底的底部刻蚀异常区域表面达到预定时间，以使至少部分被刻蚀表面生成AlF3。由于本发明的F基等离子体易与蓝宝石中的Al元素发生化学反应，生成易挥发的AlF3，保证了刻蚀表面的清洁。另外由于F基的原子质量相比于BCl2+低，轰击能量较低，不易对表面造成物理创伤和辐射损伤，从而即保证了良好的形貌修饰作用，又保证了尺寸在修饰过程中的相对稳定。
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公开(公告)号：CN103117343B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201310045284.1
申请日：2013-02-05
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有反射镜结构的LED发光器件，包括具有缓冲层的半导体衬底外延片，半导体衬底上预定区域内形成有透明导电层，缓冲层、透明导电层上方具有金属反射镜结构与电极，缓冲层、透明导电层上方自下而上形成有第一钝化层、第一氧化层、金属反射镜结构、第二氧化层、第二钝化层的层状结构，第一氧化层用于增加第一钝化层、金属反射镜结构之间粘附性，第二氧化层用于增加金属反射镜结构与第二钝化层之间粘附性。本发明在LED表面镀一层相应金属氧化层作为增加金属反射镜在LED表面的附着性的覆层,同时由于这层金属氧化物覆层与后续的钝化层的粘附力更好，从而增加了钝化层与金属反射镜之间的粘附性，与现有技术相比提高了LED芯片的整体稳定性。
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公开(公告)号：CN203071125U
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201320065455.2
申请日：2013-02-05
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种具有反射镜结构的LED发光器件，包括具有缓冲层的半导体衬底外延片，半导体衬底上预定区域内形成有透明导电层，缓冲层、透明导电层上方具有金属反射镜结构与电极，缓冲层、透明导电层上方自下而上形成有第一钝化层、第一氧化层、金属反射镜结构、第二氧化层、第二钝化层的层状结构，第一氧化层用于增加第一钝化层、金属反射镜结构之间粘附性，第二氧化层用于增加金属反射镜结构与第二钝化层之间粘附性。本方案在LED表面镀一层相应金属氧化层作为增加金属反射镜在LED表面的附着性的覆层,同时由于这层金属氧化物覆层与后续的钝化层的粘附力更好,从而增加了钝化层与金属反射镜之间的粘附性，与现有技术相比提高了LED芯片的整体稳定性。
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公开(公告)号：CN203746822U
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201420148565.X
申请日：2014-03-31
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
IPC: H01L23/13
Abstract: 本实用新型公开了一种带有双周期图形的蓝宝石衬底，该蓝宝石衬底表面相互嵌套地设置有用于生长初级缓冲层的第一图形、用于优化缓冲层的第二图形，所述的第一图形的外形尺寸小于第二图形的外形尺寸，所述的第一图形具有第一分布周期，所述的第二图形具有第二分布周期。双周期是指尺寸不同的2种周期性图形进行嵌套，其中的一个周期用小圆形进行周期排布，目的在于生长出初级缓冲层；而另一个周期则使用大圆形进行周期排布，目的在于进一步优化缓冲层质量，减少缺陷密度。通过双周期的图形化蓝宝石衬底，形成了缓冲层的叠加优化，从而使后续外延生长质量得到提高。
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公开(公告)号：CN204905227U
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201520515294.1
申请日：2015-07-16
Applicant: 海迪科(南通)光电科技有限公司
IPC: H01L21/673
Abstract: 本实用新型公开了一种分体式PSS刻蚀托盘治具，包括托盘、由石英材料制成的盖板以及复数个由金属材料制成的压环，所述的托盘上排列放置多个晶圆片，所述的盖板上设置有多个开孔，每个所述的开孔的位置与托盘上的晶圆片的位置相对应以使晶圆片从开孔处露出，每个所述的开孔的边缘嵌套有压环，所述的压环呈环形并压在晶圆片的周向边缘。由于采用了以上技术方案，本实用新型将石英件的优点与金属件的优点结合了起来，对边缘效应有较好的改善效果，特别地，对于现有技术中的治具可以起到良好的替代与改造作用，可以既保证边缘图形得到有效优化，而成分比例又相对稳定，从而节省了设备整体改造带来的成本与人工损耗。
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