制造合并逻辑器件的方法

    公开(公告)号:CN1527380A

    公开(公告)日:2004-09-08

    申请号:CN200410033036.6

    申请日:2004-01-27

    Inventor: 金成旭

    Abstract: 本发明公开了一种制造合并逻辑器件的方法,该方法通过利用逆向阱离子注入工艺形成双扩散漏极(DDD)结构的深结而简化了该工艺。该方法包括步骤:在半导体衬底上形成高压p型阱区;进行用以在逻辑区上形成逻辑p型阱区的离子注入和场终止离子注入;在高压p型阱区中形成逻辑阱区;在整个表面上形成高压栅氧化膜并进行阈值电压离子注入工艺;在逻辑区中形成逻辑栅氧化膜以及同时形成逻辑栅电极和高压栅电极;在逻辑区中形成逻辑LDD区和在栅电极的侧面上形成间隙壁;以及形成逻辑源极/漏极区、高压源极/漏极区和体偏压控制区。

    半导体装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107068661A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201610828758.3

    申请日:2012-03-08

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置,包括扫描电路模块,所述扫描电路模块包括:接收部,所述接收部被配置为响应于第二控制信号而从设置在第一芯片中的另一个电路单元的输出信号和设置在第二芯片中的电路单元的输出信号中的一个来产生输出信号;以及输出部,所述输出部被配置为响应于第一控制信号而将所述接收部的输出信号输出至设置在所述第一芯片中的又一个电路单元和设置在第三芯片中的电路单元中的一个,其中,所述扫描电路模块被设置在所述第一芯片中。

    半导体装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107068661B

    公开(公告)日:2019-08-20

    申请号:CN201610828758.3

    申请日:2012-03-08

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置,包括扫描电路模块,所述扫描电路模块包括:接收部,所述接收部被配置为响应于第二控制信号而从设置在第一芯片中的另一个电路单元的输出信号和设置在第二芯片中的电路单元的输出信号中的一个来产生输出信号;以及输出部,所述输出部被配置为响应于第一控制信号而将所述接收部的输出信号输出至设置在所述第一芯片中的又一个电路单元和设置在第三芯片中的电路单元中的一个,其中,所述扫描电路模块被设置在所述第一芯片中。

    半导体装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103066066B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201210059266.4

    申请日:2012-03-08

    CPC classification number: H01L25/065 H01L23/481 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置,包括第一通孔和第二通孔、第一电路单元、第二电路单元、以及第三电路单元。所述第一通孔和第二通孔将第一芯片和第二芯片彼此电连接。所述第一电路单元被设置在所述第一芯片中,接收测试数据,且与所述第一通孔连接。所述第二电路单元被设置在所述第一芯片中,且与所述第二通孔和所述第一电路单元连接。所述第三电路单元被设置在所述第二芯片中,且与所述第一通孔连接。所述第一电路单元响应于第一控制信号而将其输出信号输出至所述第一通孔和所述第二电路单元中的一个。

    半导体装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103066066A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201210059266.4

    申请日:2012-03-08

    CPC classification number: H01L25/065 H01L23/481 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置,包括第一通孔和第二通孔、第一电路单元、第二电路单元、以及第三电路单元。所述第一通孔和第二通孔将第一芯片和第二芯片彼此电连接。所述第一电路单元被设置在所述第一芯片中,接收测试数据,且与所述第一通孔连接。所述第二电路单元被设置在所述第一芯片中,且与所述第二通孔和所述第一电路单元连接。所述第三电路单元被设置在所述第二芯片中,且与所述第一通孔连接。所述第一电路单元响应于第一控制信号而将其输出信号输出至所述第一通孔和所述第二电路单元中的一个。

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