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公开(公告)号：CN101522360B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200780036977.7
申请日：2007-09-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/06 , H01L21/301
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/048 , B23K26/0624 , B23K26/0676 , B23K26/0853 , B23K26/0869 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2101/40 , B23K2103/50
Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置，其能够缩短在加工对象物的内部形成改质区域所需的时间。该激光加工装置(100)具备：装载台(107)；射出直线偏光的激光(L)的光源(101)；射出激光(L3)的光源(41)；变更激光(L)的偏光方向的波长板(51)；将激光(L)分支成偏光方向为X轴向的激光(L1)及偏光方向为Y轴向的激光(L2)的偏光板(52)；以分支后的激光(L2)的偏光方向为X轴向的波长板(55)；将激光(L1)、(L3)聚光的透镜(31)；沿着X轴向与透镜(31)并排设置、并且将以X轴向为偏光方向的激光(L2)聚光的透镜(32)；通过检测反射光(L4)使激光(L2)的聚光点以表面(3)为基准对准于预定位置的方式控制元件(29)的控制部(105)；使得X轴向与线(5)基本一致并且使装载台(107)沿着线(5)移动的控制部(115)。
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公开(公告)号：CN1890048A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200480036909.7
申请日：2004-12-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: B23K26/043 , B23K26/04 , B23K26/042 , B23K26/703
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，可校正每个激光头的激光的放射方向的偏差。在激光加工装置(1)中，由于利用冷却套(11)保持并冷却激光头(13)，所以可使激光头(13)稳定动作。而且在激光加工装置(1)中，在因激光头(13)的损伤等而更换激光头(13)时，即使激光(L)的放射方向发生偏差，也可利用调整部(15)调整冷却套(11)相对于光学系本体部(4)的位置和倾斜，由此可使激光(L)的放射方向与光学系本体部(4)的光轴一致。如此，根据激光加工装置(1)，可容易地校正每个激光头(13)的激光的放射方向的偏差。
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公开(公告)号：CN101522360A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200780036977.7
申请日：2007-09-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/06 , H01L21/301
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/048 , B23K26/0624 , B23K26/0676 , B23K26/0853 , B23K26/0869 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2101/40 , B23K2103/50
Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置，其能够缩短在加工对象物的内部形成改质区域所需的时间。该激光加工装置(100)具备：装载台(107)；射出直线偏光的激光(L)的光源(101)；射出激光(L3)的光源(41)；变更激光(L)的偏光方向的波长板(51)；将激光(L)分支成偏光方向为X轴向的激光(L1)及偏光方向为Y轴向的激光(L2)的偏光板(52)；以分支后的激光(L2)的偏光方向为X轴向的波长板(55)；将激光(L1)、(L3)聚光的透镜(31)；沿着X轴向与透镜(31)并排设置、并且将以X轴向为偏光方向的激光(L2)聚光的透镜(32)；通过检测反射光(L4)使激光(L2)的聚光点以表面(3)为基准对准于预定位置的方式控制元件(29)的控制部(105)；使得X轴向与线(5)基本一致并且使装载台(107)沿着线(5)移动的控制部(115)。
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公开(公告)号：CN100432741C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200480032464.5
申请日：2004-11-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B5/005
Abstract: 本发明提供一种能够防止在激光束光程关闭时激光束发生散射，并可实现小型化的快门单元和使用该快门单元的激光加工装置。在快门单元(1)中，在激光束(L)的光程开启时，使旋转部件(57)以轴线(γ)为中心旋转，使开口部(61)位于光轴(α)上，并使激光束通过。另一方面，在激光束的光程关闭时，使旋转部件(57)旋转，并使反射面(62)位于光轴(α)上，反射激光束。此时，由于使反射的激光束由光吸收部(63)吸收，因此，在激光束光程关闭时，可防止激光束发生散射。而且，由于开口部(61)和反射面(62)皆形成在以大致垂直于光轴(α)的轴线γ为中心旋转的旋转部件(57)上，因此，可实现快门单元(1)的小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112567578A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201980052159.9
申请日：2019-05-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/14 , H01S5/0225 , H01S5/02251
Abstract: 外部共振器型半导体激光装置(1A)包括：由一个或多个激光二极管光源(2)和VBG(6)构成的外部共振器(5)；光纤(7)，将来自激光二极管光源(2)的输出光(La)向VBG(6)输出，并且供来自VBG(6)的返回光(Lb)输入；和位移部(8)，使VBG(6)的配置位置相对于光纤(7)的输入输出端面(9)位移。
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公开(公告)号：CN112567578B
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN201980052159.9
申请日：2019-05-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/14 , H01S5/0225 , H01S5/02251
Abstract: 外部共振器型半导体激光装置(1A)包括：由一个或多个激光二极管光源(2)和VBG(6)构成的外部共振器(5)；光纤(7)，将来自激光二极管光源(2)的输出光(La)向VBG(6)输出，并且供来自VBG(6)的返回光(Lb)输入；和位移部(8)，使VBG(6)的配置位置相对于光纤(7)的输入输出端面(9)位移。
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公开(公告)号：CN1890048B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200480036909.7
申请日：2004-12-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: B23K26/043 , B23K26/04 , B23K26/042 , B23K26/703
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，可校正每个激光头的激光的放射方向的偏差。在激光加工装置(1)中，由于利用冷却套(11)保持并冷却激光头(13)，所以可使激光头(13)稳定动作。而且在激光加工装置(1)中，在因激光头(13)的损伤等而更换激光头(13)时，即使激光(L)的放射方向发生偏差，也可利用调整部(15)调整冷却套(11)相对于光学系本体部(4)的位置和倾斜，由此可使激光(L)的放射方向与光学系本体部(4)的光轴一致。如此，根据激光加工装置(1)，可容易地校正每个激光头(13)的激光的放射方向的偏差。
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公开(公告)号：CN1902026B
公开(公告)日：2010-04-28
申请号：CN200480040350.5
申请日：2004-12-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: B23K26/046 , B23K26/048 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/702 , B23K2103/50
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，加工用激光极力地聚光于不离开指定位置的位置处。该激光加工装置包括：物镜单元(5)，其包括，加工用物镜(42)，其使加工用激光以及用于测定加工对象物的主面的变位的测距用激光聚光于同一轴线上；接收测距用激光的主面的反射光的受光部(45)、和根据该接收的反射光而使加工用物镜(42)相对于主面进退自如地保持的致动器(43)；以及筐体(21)，其安装有用于发射加工用激光的激光单元，其中，物镜单元(5)可装卸地安装在筐体(21)上。
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公开(公告)号：CN1902026A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200480040350.5
申请日：2004-12-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: B23K26/046 , B23K26/048 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/702 , B23K2103/50
Abstract: 本发明提供一种激光加工装置，加工用激光极力地聚光于不离开指定位置的位置处。该激光加工装置包括：物镜单元(5)，其包括，加工用物镜(42)，其使加工用激光以及用于测定加工对象物的主面的变位的测距用激光聚光于同一轴线上；接收测距用激光的主面的反射光的受光部(45)、和根据该接收的反射光而使加工用物镜(42)相对于主面进退自如地保持的致动器(43)；以及筐体(21)，其安装有用于发射加工用激光的激光单元，其中，物镜单元(5)可装卸地安装在筐体(21)上。
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