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公开(公告)号：CN109521512B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201811251388.7
申请日：2018-10-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G02B6/00
Abstract: 本发明涉及一种柔性光波导及其制备方法，包括：提供基板，并在基板上形成牺牲层；在牺牲层上依次形成第一光限制层、光传输层；在光传输层上形成光刻胶层，对光刻胶层进行曝光、显影、刻蚀，得到光传输单元；在光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；提供柔性衬底，将预制体转印于柔性衬底上，得到柔性光波导。该柔性光波导包括柔性衬底以及依次形成于柔性衬底上的第一光限制层和第二光限制层，第一光限制层和第二光限制层之间包埋有光传输单元。本发明的柔性光波导是一种类皮肤超薄光波导，与人体皮肤贴合度很好，可以实现柔性电子器件的高度集成且微型化，用于柔性可穿戴医疗电子器件时可以提高人体舒适感。
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公开(公告)号：CN109360846B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201811268383.5
申请日：2018-10-29
Applicant: 清华大学 , 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: H01L27/32
Abstract: 本公开涉及一种柔性显示屏的制造方法。该方法包括：在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层，N型半导体层、量子阱层和P型半导体层构成功能层；对功能层进行刻蚀，形成P型电极区域和N型电极区域；在P型电极区域的对应位置生成P型透明电极，在N型电极区域的对应位置生成N型金属电极，形成多个发光器件；将多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件；对多个独立发光器件进行互联；将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底；去除半导体衬底，形成柔性显示屏。本公开的方法所生产的柔性显示屏的厚度薄、柔性高、化学性能稳定、机械性强、分辨率高、出光效率高、适用范围广，能够满足用户的使用需求。
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公开(公告)号：CN110544633A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201810522594.0
申请日：2018-05-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种芯片集成方法及芯片集成结构，涉及半导体制造工艺领域，所述方法包括：提供衬底，在所述衬底的芯片安装位置形成粘接胶；提供芯片，将所述芯片通过所述粘结胶粘接于所述衬底上；在所述芯片的侧面和所述芯片周围的衬底上涂覆绝缘胶；对所述绝缘胶进行固化；制作芯片引线，所述芯片引线自所述芯片沿固化后的所述绝缘胶表面延伸至所述衬底。采用上述技术方案可抑制芯片与衬底之间的连接导线断裂、脱粘失效等问题的发生，降低应力集中现象带来的影响。
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公开(公告)号：CN111048608B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201911377234.7
申请日：2019-12-27
Applicant: 清华大学 , 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: H01L31/0392 , H01L31/0224 , H01L31/05 , H01L31/048 , H01L31/18
Abstract: 本公开涉及一种柔性可延展太阳能电池及其制造方法。电池包括多个电池单元、多个第一电极连接部、多个第二电极连接部、多个第一互连线、多个第二互连线、封装层和可延展衬底，可延展衬底用于承载电池；相邻的第一、第二电极连接部之间通过对应的第二互连线连接在一起；每个电池单元位于对应的第二电极连接部上方，用于将接收到的光能转换为电能；每个电池单元的第二电极连接到位于电池单元下方的第二电极连接部、第一电极通过对应的第一互连线连接到相邻的第一电极连接部；封装层用于封装电池。本公开所提供电池及其制造方法，制造过程简单，且制造出的电池柔性和可延展性好，在受力形变时仍能稳定工作，能量转换效率高，适用范围广。
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公开(公告)号：CN111091830A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN202010036555.7
申请日：2020-01-14
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种语言识别系统，包括：柔性基底，其上设有：柔性电极模块，包括表面电极和导线，表面电极和导线均设置于柔性基底上，导线的一端与表面电极相连，且适于采集并传输喉部肌肉运动产生的肌电信号；柔性电路模块，包括柔性电路板和柔性封装材料、供电部，柔性电路板设置于柔性基底上，柔性封装材料设置于柔性电路板上，柔性电路板包括数据采集电路和无线传输部，数据采集电路与导线的另一端相连，无线传输部与数据采集电路相连，且适于接收、处理并传输肌电信号，供电部为柔性电路板供电；信号识别模块，与无线传输部相连，且适于对经柔性电路模块处理并传输的肌电信号做信号清理、特征提取和语言识别。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109239844A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811251369.4
申请日：2018-10-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种柔性光波导及其制备方法，包括：提供基板，并在基板上依次形成牺牲层和第一光限制层；在第一光限制层上形成光刻胶层，再对光刻胶层进行曝光、显影，以曝露第一部分的第一光限制层；在剩余的光刻胶层上覆盖光传输层，得到至少一个光传输单元；在光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；提供柔性衬底，将预制体转印于柔性衬底上，得到柔性光波导。该柔性光波导包括柔性衬底以及依次形成于柔性衬底上的第一光限制层和第二光限制层，第一光限制层和第二光限制层之间包埋有至少一个光传输单元。本发明柔性光波导是一种类皮肤超薄光波导，可以实现柔性电子器件的高度集成且微型化，用于柔性可穿戴医疗电子器件时可以提高人体舒适感。
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公开(公告)号：CN115881525A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211567331.4
申请日：2022-12-07
Applicant: 清华大学 , 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: H01L21/302 , H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/3065 , H01L21/78 , H01L21/50
Abstract: 本公开涉及一种超薄晶圆及柔性芯片制备方法及柔性芯片，所述方法包括：对所述晶圆的晶圆背面进行机械研磨，其中，所述晶圆的晶圆正面设置有保护膜；在所述晶圆的晶圆厚度降低到目标研磨厚度的情况下，将晶圆置入化学腐蚀溶液，以对所述晶圆背面进行化学腐蚀；在化学腐蚀的时长达到预设时长的情况下，对晶圆进行划片，得到多颗芯片，并将各颗芯片转移到临时衬底上；对所述芯片进行反应离子刻蚀，以将所述芯片的芯片厚度降低到目标厚度；将所述芯片转印到柔性衬底，得到柔性芯片。本公开实施例实现最大限度地降低芯片厚度，不削弱器件的正常性能，并且能够有效消除前序机械磨削在材料内引入的损伤，削弱超薄芯片的残余应力，减小芯片的翘曲变形。
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公开(公告)号：CN111110233A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911350764.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: A61B5/0492 , H01R13/66
Abstract: 一种多接口的柔性电极，包括接线模块和至少一个信号采集模块，接线模块包括第一柔性基底和设置在第一柔性基底上的多个第一导电部及多根分别与各第一导电部连接的第一导线，信号采集模块包括第二柔性基底和设置在第二柔性基底上的第二导电部、电极片和第二导线，第二导线的两端分别连接于第二导电部与电极片，第二柔性基底可拆装地设置在第一柔性基底上，第二导电部与第一导电部接触。本发明的多接口的柔性电极的信号采集模块的第二导电部可与接线模块上的任意第一导电部接触，提高了电极布置的灵活性，降低了电极制备成本。
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公开(公告)号：CN110823968A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911184104.1
申请日：2019-11-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种汗液传感器，包括多孔疏水层、电极层与多孔亲水层，多孔疏水层、电极层及多孔亲水层依次层叠设置，多孔疏水层用于接触体表，使得汗液透过多孔疏水层向多孔亲水层定向输送以经过电极层进行检测。本申请利用多孔疏水层与多孔亲水层之间形成的润湿性梯度，使得汗液可以在传感器内部定向传输，有效解决汗液难收集、难传输、易混合污染的问题。
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公开(公告)号：CN109521512A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811251388.7
申请日：2018-10-25
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: G02B6/00
CPC classification number: G02B6/00
Abstract: 本发明涉及一种柔性光波导及其制备方法，包括：提供基板，并在基板上形成牺牲层；在牺牲层上依次形成第一光限制层、光传输层；在光传输层上形成光刻胶层，对光刻胶层进行曝光、显影、刻蚀，得到光传输单元；在光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；提供柔性衬底，将预制体转印于柔性衬底上，得到柔性光波导。该柔性光波导包括柔性衬底以及依次形成于柔性衬底上的第一光限制层和第二光限制层，第一光限制层和第二光限制层之间包埋有光传输单元。本发明的柔性光波导是一种类皮肤超薄光波导，与人体皮肤贴合度很好，可以实现柔性电子器件的高度集成且微型化，用于柔性可穿戴医疗电子器件时可以提高人体舒适感。
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