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公开(公告)号：CN117410218A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311479930.5
申请日：2023-11-08
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: H01L21/673 , H01L21/687 , H01L21/67 , B08B13/00 , B08B3/04
Abstract: 本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体涉及CV前处理洗净机的花篮承载晶圆系统及操作方法，包括用于调节承载尺寸以放置不同尺寸的晶圆的调节机构，本发明通过调节机构的第一调节组件从晶圆的外侧对晶圆进行限位，从篮框对角的位置对晶圆进行限位，避免传统通过水平移动限位晶圆的机构满足对不同尺寸的晶圆进行限位时，造成限位不稳的状况，且通过调节机构的第二调节组件对晶圆进行限位，避免传统通过弹簧对晶圆限位时，若晶圆的厚度较大，导致弹簧对晶圆的夹持力度较大，易损伤晶圆的同时不便于清洗液与晶圆接触，避免因此浪费晶圆的同时提高清洗效果，若晶圆的厚度较小，导致弹簧对晶圆限位不稳的状况。
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公开(公告)号：CN117448953A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311391238.7
申请日：2023-10-25
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种外延设备内部尾气管路的设计方法，所属硅片外延装置技术领域，外延设备内部尾气管路包括尾气收集连接管，尾气收集连接管上端设有连接支架，连接支架与尾气收集连接管间设有尾气过渡输送管，尾气过渡输送管与尾气收集连接管间设有管道加热器，尾气过渡输送管侧边设有尾气排放管道。第一步：通过连接支架将内部尾气管路固定在外延设备上。第二步：由尾气收集连接管连接外延设备使得外延设备排放的尾气经过管道加热器加热。第三步：加热后的尾气采用尾气过渡输送管上的尾气排放管道输送至尾气处理设备。具有结构紧凑、效果好、运行稳定性好和安全可靠性强的特点。不容易液化产生结晶附着在管壁内部，降低管路堵塞造成的安全隐患。
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公开(公告)号：CN117400286A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311479928.8
申请日：2023-11-08
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种8寸面检机机器人的柔性锁紧夹爪结构及操作方法，本发明涉及柔性锁紧夹爪结构技术领域。该8寸面检机机器人的柔性锁紧夹爪结构及操作方法通过设置调节结构以及吹气机构在使用时，能够将两个柔性夹爪相互靠近后，自动对柔性夹爪的夹取部位上进行吹气清理工作，故而在每次使用结束后，保证柔性夹爪的干净整洁，避免对夹取工作造成影响，而由于无需人工进行定期清洁，极大的节省了人力，且能够保证清洁的及时性。
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公开(公告)号：CN117373971A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311391241.9
申请日：2023-10-25
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及一种移栽机装置机构的改装方法，所属硅片加工设备技术领域，包括如下操作步骤：第一步：确认移栽夹取组件的宽度为385mm，两侧导向柱的开度间距达到415mm。第二步：移栽夹取组件夹取硅片盒运行至托盘上方。第三步：由钢带放卷，使得移栽夹取组件沿两侧的侧导向柱向下位移。第四步：当取硅片盒降至托盘上后，移栽夹取组件松开，接着钢带收卷。第五步：基板上的推进器启动，通过托盘前后位移，使得硅片盒进入下一道工序。具有结构简单、运行稳定性好和使用效率高的特点。通过改装移栽机装置的开口后，使得天车能够抓取投放硅片盒，实现移栽机投放硅片盒自动化。
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