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公开(公告)号：CN118938328B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411418887.6
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: G01V3/02
Abstract: 一种片盒清洗机的插销检测装置及方法，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，包括：安装在机台上的PNP型电容传感器，电容传感器用于检测定位架带动若干装载架旋转过程中，逐一经过其下方的装载架上的插销是否完全插入定位架内；与电容传感器信号线连接的中间继电器，中间继电器用于接收电容传感器信号并在信号被接收时闭合电路，本发明的有益效果是，通过电容传感器与中间继电器的组合，确保所有插销在设备启动前均已正确安装，有效防止因插销松动而导致的片盒及设备损坏。此外，自检程序的自动化执行和定时自检功能，进一步降低了设备的故障率。
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公开(公告)号：CN117373971A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311391241.9
申请日：2023-10-25
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及一种移栽机装置机构的改装方法，所属硅片加工设备技术领域，包括如下操作步骤：第一步：确认移栽夹取组件的宽度为385mm，两侧导向柱的开度间距达到415mm。第二步：移栽夹取组件夹取硅片盒运行至托盘上方。第三步：由钢带放卷，使得移栽夹取组件沿两侧的侧导向柱向下位移。第四步：当取硅片盒降至托盘上后，移栽夹取组件松开，接着钢带收卷。第五步：基板上的推进器启动，通过托盘前后位移，使得硅片盒进入下一道工序。具有结构简单、运行稳定性好和使用效率高的特点。通过改装移栽机装置的开口后，使得天车能够抓取投放硅片盒，实现移栽机投放硅片盒自动化。
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公开(公告)号：CN118925962A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411418885.7
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，包括中间为废水回收管道以及呈环状环绕在废水回收管道顶部进口处的废水收集面，废水收集面从外周向中心从上至下倾斜，废水收集面上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道，清洗通道的出口方向均朝向废水回收管道中心倾斜，清洗通道的出口上设有凸起于废水收集面用于对清洗通道出口进行遮挡的遮挡部；设有若干个设置在废水收集面上的清洗通道，并且废水收集面呈倾斜设置，进而使得掉落在废水收集面上的清洗材料可以快速的在废水收集面引导下向废水回收管道流动，同时清洗通道的出口方向向废水回收管道中心倾斜设置使得清洗通道内的清洗材料可以定向的向晶圆喷出。
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公开(公告)号：CN118925962B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411418885.7
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，包括中间为废水回收管道以及呈环状环绕在废水回收管道顶部进口处的废水收集面，废水收集面从外周向中心从上至下倾斜，废水收集面上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道，清洗通道的出口方向均朝向废水回收管道中心倾斜，清洗通道的出口上设有凸起于废水收集面用于对清洗通道出口进行遮挡的遮挡部；设有若干个设置在废水收集面上的清洗通道，并且废水收集面呈倾斜设置，进而使得掉落在废水收集面上的清洗材料可以快速的在废水收集面引导下向废水回收管道流动，同时清洗通道的出口方向向废水回收管道中心倾斜设置使得清洗通道内的清洗材料可以定向的向晶圆喷出。
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公开(公告)号：CN118938328A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411418887.6
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: G01V3/02
Abstract: 一种片盒清洗机的插销检测装置及方法，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，包括：安装在机台上的PNP型电容传感器，电容传感器用于检测定位架带动若干装载架旋转过程中，逐一经过其下方的装载架上的插销是否完全插入定位架内；与电容传感器信号线连接的中间继电器，中间继电器用于接收电容传感器信号并在信号被接收时闭合电路，本发明的有益效果是，通过电容传感器与中间继电器的组合，确保所有插销在设备启动前均已正确安装，有效防止因插销松动而导致的片盒及设备损坏。此外，自检程序的自动化执行和定时自检功能，进一步降低了设备的故障率。
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