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公开(公告)号：CN119042381B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411523556.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种可更换套筒的进气阀，包括阀体，阀体包括上端为进气口、下端为出气口并形成上下数值贯通的主通道和从阀体侧壁穿入主通道的侧进气道，侧进气道与主通道之间交汇处形成侧进气孔，主通道内设置有上下贯通的套筒，套筒从出气孔穿入并贴合设置在主通道内壁上，套筒侧壁开有与侧进气孔匹配的侧孔。本发明通过安装套筒并通过更换套筒来防止主通道内壁的结晶过厚从而影响对半导体的加工，同时设置在套筒内部的活塞刮刀能够进行旋转，从而进一步提高装置对结晶的清除能力。
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公开(公告)号：CN119565983A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202510000548.4
申请日：2025-01-02
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法，包括：沿水平方向依次由上至下设置的三个储物隔板、分别位于储物隔板两侧的两个垂直支撑板以及位于储物隔板、垂直支撑板后方的固定板，每个所述储物隔板的两侧与垂直支撑板一体成型设置，每个所述储物隔板的后端以及垂直支撑板的后端与固定板一体成型设置，所述储物隔板、垂直支撑板及固定板上均设置有多个均匀分布的孔洞，通过三个储物隔板上的孔洞设有沿水平方向固定待清洗的升降轴、下圆顶及上圆顶石英部件的定位组件，储物隔板、垂直支撑板及固定板上设置的多个均匀分布的孔洞，不仅减轻了装置的重量，还在湿洗过程中极大地促进了清洗槽中的化学清洗液流通，提高清洗效率。
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公开(公告)号：CN118925962A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411418885.7
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，包括中间为废水回收管道以及呈环状环绕在废水回收管道顶部进口处的废水收集面，废水收集面从外周向中心从上至下倾斜，废水收集面上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道，清洗通道的出口方向均朝向废水回收管道中心倾斜，清洗通道的出口上设有凸起于废水收集面用于对清洗通道出口进行遮挡的遮挡部；设有若干个设置在废水收集面上的清洗通道，并且废水收集面呈倾斜设置，进而使得掉落在废水收集面上的清洗材料可以快速的在废水收集面引导下向废水回收管道流动，同时清洗通道的出口方向向废水回收管道中心倾斜设置使得清洗通道内的清洗材料可以定向的向晶圆喷出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118925962B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411418885.7
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，包括中间为废水回收管道以及呈环状环绕在废水回收管道顶部进口处的废水收集面，废水收集面从外周向中心从上至下倾斜，废水收集面上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道，清洗通道的出口方向均朝向废水回收管道中心倾斜，清洗通道的出口上设有凸起于废水收集面用于对清洗通道出口进行遮挡的遮挡部；设有若干个设置在废水收集面上的清洗通道，并且废水收集面呈倾斜设置，进而使得掉落在废水收集面上的清洗材料可以快速的在废水收集面引导下向废水回收管道流动，同时清洗通道的出口方向向废水回收管道中心倾斜设置使得清洗通道内的清洗材料可以定向的向晶圆喷出。
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公开(公告)号：CN118938328A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411418887.6
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: G01V3/02
Abstract: 一种片盒清洗机的插销检测装置及方法，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，包括：安装在机台上的PNP型电容传感器，电容传感器用于检测定位架带动若干装载架旋转过程中，逐一经过其下方的装载架上的插销是否完全插入定位架内；与电容传感器信号线连接的中间继电器，中间继电器用于接收电容传感器信号并在信号被接收时闭合电路，本发明的有益效果是，通过电容传感器与中间继电器的组合，确保所有插销在设备启动前均已正确安装，有效防止因插销松动而导致的片盒及设备损坏。此外，自检程序的自动化执行和定时自检功能，进一步降低了设备的故障率。
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公开(公告)号：CN118938328B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411418887.6
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: G01V3/02
Abstract: 一种片盒清洗机的插销检测装置及方法，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，包括：安装在机台上的PNP型电容传感器，电容传感器用于检测定位架带动若干装载架旋转过程中，逐一经过其下方的装载架上的插销是否完全插入定位架内；与电容传感器信号线连接的中间继电器，中间继电器用于接收电容传感器信号并在信号被接收时闭合电路，本发明的有益效果是，通过电容传感器与中间继电器的组合，确保所有插销在设备启动前均已正确安装，有效防止因插销松动而导致的片盒及设备损坏。此外，自检程序的自动化执行和定时自检功能，进一步降低了设备的故障率。
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公开(公告)号：CN119056792A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411523558.8
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种石英硅多级清洗工艺，涉及石英管清洗技术领域，其步骤包括：将石英管放入纳米气泡清洗槽中，配合喷淋设备组，在纳米气泡清洗槽槽内注满去离子水，启动纳米气泡生成器；立即转入超声波清洗槽，启动超声波清洗槽；酸液清洗后进入喷淋清洗区a；石英管经过喷淋清洗区a后，通过控制臂进入化学清洗槽；化学清洗后的石英管通过控制臂进入喷淋清洗区b；石英管离开喷淋清洗区b后，清洗控制中心对所在石英管表面检测，石英管表面和尺寸均符合要求列为合格品，进入下一步骤，否则返回步骤一或者列入残次品；在表面检测合格后，石英管进入氮气吹干装置，随后通过红外灯干燥；干燥完成后，石英管通过传送带进入真空包装机。
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公开(公告)号：CN119042381A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411523556.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种可更换套筒的进气阀，包括阀体，阀体包括上端为进气口、下端为出气口并形成上下数值贯通的主通道和从阀体侧壁穿入主通道的侧进气道，侧进气道与主通道之间交汇处形成侧进气孔，主通道内设置有上下贯通的套筒，套筒从出气孔穿入并贴合设置在主通道内壁上，套筒侧壁开有与侧进气孔匹配的侧孔。本发明通过安装套筒并通过更换套筒来防止主通道内壁的结晶过厚从而影响对半导体的加工，同时设置在套筒内部的活塞刮刀能够进行旋转，从而进一步提高装置对结晶的清除能力。
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