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公开(公告)号：CN119565983A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202510000548.4
申请日：2025-01-02
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于外延炉内石英部件清洗的夹持装置及其使用方法，包括：沿水平方向依次由上至下设置的三个储物隔板、分别位于储物隔板两侧的两个垂直支撑板以及位于储物隔板、垂直支撑板后方的固定板，每个所述储物隔板的两侧与垂直支撑板一体成型设置，每个所述储物隔板的后端以及垂直支撑板的后端与固定板一体成型设置，所述储物隔板、垂直支撑板及固定板上均设置有多个均匀分布的孔洞，通过三个储物隔板上的孔洞设有沿水平方向固定待清洗的升降轴、下圆顶及上圆顶石英部件的定位组件，储物隔板、垂直支撑板及固定板上设置的多个均匀分布的孔洞，不仅减轻了装置的重量，还在湿洗过程中极大地促进了清洗槽中的化学清洗液流通，提高清洗效率。
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公开(公告)号：CN117400286A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311479928.8
申请日：2023-11-08
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种8寸面检机机器人的柔性锁紧夹爪结构及操作方法，本发明涉及柔性锁紧夹爪结构技术领域。该8寸面检机机器人的柔性锁紧夹爪结构及操作方法通过设置调节结构以及吹气机构在使用时，能够将两个柔性夹爪相互靠近后，自动对柔性夹爪的夹取部位上进行吹气清理工作，故而在每次使用结束后，保证柔性夹爪的干净整洁，避免对夹取工作造成影响，而由于无需人工进行定期清洁，极大的节省了人力，且能够保证清洁的及时性。
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公开(公告)号：CN117373971A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311391241.9
申请日：2023-10-25
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及一种移栽机装置机构的改装方法，所属硅片加工设备技术领域，包括如下操作步骤：第一步：确认移栽夹取组件的宽度为385mm，两侧导向柱的开度间距达到415mm。第二步：移栽夹取组件夹取硅片盒运行至托盘上方。第三步：由钢带放卷，使得移栽夹取组件沿两侧的侧导向柱向下位移。第四步：当取硅片盒降至托盘上后，移栽夹取组件松开，接着钢带收卷。第五步：基板上的推进器启动，通过托盘前后位移，使得硅片盒进入下一道工序。具有结构简单、运行稳定性好和使用效率高的特点。通过改装移栽机装置的开口后，使得天车能够抓取投放硅片盒，实现移栽机投放硅片盒自动化。
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公开(公告)号：CN118938328B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411418887.6
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: G01V3/02
Abstract: 一种片盒清洗机的插销检测装置及方法，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，包括：安装在机台上的PNP型电容传感器，电容传感器用于检测定位架带动若干装载架旋转过程中，逐一经过其下方的装载架上的插销是否完全插入定位架内；与电容传感器信号线连接的中间继电器，中间继电器用于接收电容传感器信号并在信号被接收时闭合电路，本发明的有益效果是，通过电容传感器与中间继电器的组合，确保所有插销在设备启动前均已正确安装，有效防止因插销松动而导致的片盒及设备损坏。此外，自检程序的自动化执行和定时自检功能，进一步降低了设备的故障率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119056792A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411523558.8
申请日：2024-10-30
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种石英硅多级清洗工艺，涉及石英管清洗技术领域，其步骤包括：将石英管放入纳米气泡清洗槽中，配合喷淋设备组，在纳米气泡清洗槽槽内注满去离子水，启动纳米气泡生成器；立即转入超声波清洗槽，启动超声波清洗槽；酸液清洗后进入喷淋清洗区a；石英管经过喷淋清洗区a后，通过控制臂进入化学清洗槽；化学清洗后的石英管通过控制臂进入喷淋清洗区b；石英管离开喷淋清洗区b后，清洗控制中心对所在石英管表面检测，石英管表面和尺寸均符合要求列为合格品，进入下一步骤，否则返回步骤一或者列入残次品；在表面检测合格后，石英管进入氮气吹干装置，随后通过红外灯干燥；干燥完成后，石英管通过传送带进入真空包装机。
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公开(公告)号：CN118925962A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411418885.7
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，包括中间为废水回收管道以及呈环状环绕在废水回收管道顶部进口处的废水收集面，废水收集面从外周向中心从上至下倾斜，废水收集面上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道，清洗通道的出口方向均朝向废水回收管道中心倾斜，清洗通道的出口上设有凸起于废水收集面用于对清洗通道出口进行遮挡的遮挡部；设有若干个设置在废水收集面上的清洗通道，并且废水收集面呈倾斜设置，进而使得掉落在废水收集面上的清洗材料可以快速的在废水收集面引导下向废水回收管道流动，同时清洗通道的出口方向向废水回收管道中心倾斜设置使得清洗通道内的清洗材料可以定向的向晶圆喷出。
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公开(公告)号：CN117410218A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311479930.5
申请日：2023-11-08
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: H01L21/673 , H01L21/687 , H01L21/67 , B08B13/00 , B08B3/04
Abstract: 本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体涉及CV前处理洗净机的花篮承载晶圆系统及操作方法，包括用于调节承载尺寸以放置不同尺寸的晶圆的调节机构，本发明通过调节机构的第一调节组件从晶圆的外侧对晶圆进行限位，从篮框对角的位置对晶圆进行限位，避免传统通过水平移动限位晶圆的机构满足对不同尺寸的晶圆进行限位时，造成限位不稳的状况，且通过调节机构的第二调节组件对晶圆进行限位，避免传统通过弹簧对晶圆限位时，若晶圆的厚度较大，导致弹簧对晶圆的夹持力度较大，易损伤晶圆的同时不便于清洗液与晶圆接触，避免因此浪费晶圆的同时提高清洗效果，若晶圆的厚度较小，导致弹簧对晶圆限位不稳的状况。
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公开(公告)号：CN118925962B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411418885.7
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
Abstract: 一种用于洗净机上并具有彻底清洁的喷头，包括中间为废水回收管道以及呈环状环绕在废水回收管道顶部进口处的废水收集面，废水收集面从外周向中心从上至下倾斜，废水收集面上间隔分布有若干个用于定向输送清洗材料的清洗通道，清洗通道的出口方向均朝向废水回收管道中心倾斜，清洗通道的出口上设有凸起于废水收集面用于对清洗通道出口进行遮挡的遮挡部；设有若干个设置在废水收集面上的清洗通道，并且废水收集面呈倾斜设置，进而使得掉落在废水收集面上的清洗材料可以快速的在废水收集面引导下向废水回收管道流动，同时清洗通道的出口方向向废水回收管道中心倾斜设置使得清洗通道内的清洗材料可以定向的向晶圆喷出。
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公开(公告)号：CN118938328A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411418887.6
申请日：2024-10-12
Applicant: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC: G01V3/02
Abstract: 一种片盒清洗机的插销检测装置及方法，用于对多个承载片盒的装载架上的插销，是否均完全插入机台内部可旋转的定位架上实现固定进行检测，包括：安装在机台上的PNP型电容传感器，电容传感器用于检测定位架带动若干装载架旋转过程中，逐一经过其下方的装载架上的插销是否完全插入定位架内；与电容传感器信号线连接的中间继电器，中间继电器用于接收电容传感器信号并在信号被接收时闭合电路，本发明的有益效果是，通过电容传感器与中间继电器的组合，确保所有插销在设备启动前均已正确安装，有效防止因插销松动而导致的片盒及设备损坏。此外，自检程序的自动化执行和定时自检功能，进一步降低了设备的故障率。
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